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スピンコータ卓上型(手動滴下)

卓上型マニュアルスピンコーター

ジャパンクリエイト株式会社

卓上の大きさのまま300mmガラス基板を塗れます。

価格
公開価格なし(見積もり)
方式
卓上型(手動滴下)
向いている所
300mmガラス基板を卓上で塗る

比較表での位置

卓上型マニュアルスピンコーターは、スピンコータのメーカー7社比較⁠の方式「卓上型(手動滴下)」の4製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 13製品比較表の製品
  • 4製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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卓上型マニュアルスピンコーターの強みと方式

卓上の大きさのまま300mmガラス基板を塗れます。回転は標準で3,000rpmまでで、5,000rpmはオプションです。真空ポンプもオプションなので、見積もりで揃えます。

向いている所300mmガラス基板を卓上で塗る

方式:卓上型(手動滴下)

実験台に置いて、基板を1枚ずつ手で載せて滴下する型です。回転数と時間をプログラムに入れて、膜厚の条件を探します。研究開発や少量の試作でよく使います。

卓上型マニュアルスピンコーターの仕様

方式
卓上型(手動滴下)
対応基板
300mmガラス基板
回転数
0〜3,000rpm、5,000rpmはオプション
回転精度
±1rpm
滴下
—公式資料で確認できず
処理量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
カップの大きさ
インナー直径270mm、外カップ直径360mm
電源
200V、100Vは15Aトランスがオプション
外形寸法
W420×D500×H335
質量
—公式資料で確認できず
プログラム
10プログラム・50ステップ
基板の固定
真空吸着、-50kPa
プロセスユニット
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

スピンコータの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. スピンコーター ACT-300AⅡ株式会社アクティブ本体900,000円
  2. スピンコーター ACT-600AⅡ株式会社アクティブ3,500,000円〜

製品の特徴ごとの分類

卓上型マニュアルスピンコータージャパンクリエイト株式会社スピンコーター MS-B100ミカサ株式会社マニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cリソテックジャパン株式会社
方式卓上型(手動滴下)卓上型(手動滴下)卓上型(手動滴下)
対応基板300mmガラス基板直径4インチ、75×75mmまで2インチ〜200mmウェーハ
回転数0〜3,000rpm、5,000rpmはオプション20〜8,000rpm—公式資料で確認できず
回転精度±1rpm±1rpm—公式資料で確認できず
滴下—公式資料で確認できず手動、滴下装置は付けられない手動、自動ディスペンサ1系統はオプション
処理量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
カップの大きさインナー直径270mm、外カップ直径360mm内径220mm—公式資料で確認できず
電源200V、100Vは15AトランスがオプションAC100〜240V、5A—公式資料で確認できず
外形寸法W420×D500×H335W259×H246×D330mm—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず約10kg—公式資料で確認できず
プログラム10プログラム・50ステップ100ステップ・10パターン30ステップ・50プログラム
基板の固定真空吸着、-50kPa真空吸着、-0.08〜-0.1MPa手置き、センタリングガイド付き
プロセスユニット—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

スピンコータの13製品を比較表で見る

卓上型マニュアルスピンコーターのよくある質問

Q.卓上型マニュアルスピンコーターはどんな人に向いている?
卓上型マニュアルスピンコーターは、300mmガラス基板を卓上で塗る人向けです。卓上型マニュアルスピンコーターは、卓上の大きさのまま300mmガラス基板を塗れます。
Q.卓上型マニュアルスピンコーターの強みは?
卓上型マニュアルスピンコーターの回転は標準で3,000rpmまでで、5,000rpmはオプションです。真空ポンプもオプションなので、見積もりで揃えます。
Q.卓上型マニュアルスピンコーターはどんな方式?
卓上型マニュアルスピンコーターの方式は卓上型(手動滴下)⁠で⁠す⁠。実験台に置いて、基板を1枚ずつ手で載せて滴下する型です。
Q.卓上型マニュアルスピンコーターの主な仕様は?
卓上型マニュアルスピンコーターの対応基板は300mmガラス基板、回転数は0〜3,000rpm、5,000rpmはオプションです。回転精度は±1rpm、カップの大きさはインナー直径270mm、外カップ直径360mmです。
Q.卓上型マニュアルスピンコーターとスピンコーター MS-B100はどっちがいい?
300mmガラス基板を卓上で塗るなら卓上型マニュアルスピンコーター、小さい基板を8,000rpmまで回す小型機ならミカサのスピンコーター MS-B100です。卓上型マニュアルスピンコーターの対応基板は300mmガラス基板、回転数は0〜3,000rpm、5,000rpmはオプションです。ミカサのスピンコーター MS-B100の対応基板は直径4インチ、75×75mmまで、回転数は20〜8,000rpmです。
Q.卓上型マニュアルスピンコーターの電源は?
卓上型マニュアルスピンコーターの電源は200V、100Vは15Aトランスがオプションです。ミカサのスピンコーター MS-B100の電源はAC100〜240V、5Aです。
Q.卓上型マニュアルスピンコーターの外形寸法は?
卓上型マニュアルスピンコーターの外形寸法はW420×D500×H335です。ミカサのスピンコーター MS-B100の外形寸法はW259×H246×D330mmです。
Q.卓上型マニュアルスピンコーターとマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cはどっちがいい?
300mmガラス基板を卓上で塗るなら卓上型マニュアルスピンコーター、手で滴下もできる200mmまでのマニュアル機ならリソテックジャパンのマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cです。卓上型マニュアルスピンコーターの対応基板は300mmガラス基板、回転数は0〜3,000rpm、5,000rpmはオプションです。リソテックジャパンのマニュアル塗布装置 Litho Spin Cup 200Cの対応基板は2インチ〜200mmウェーハ、滴下は手動、自動ディスペンサ1系統はオプションです。
Q.卓上型マニュアルスピンコーターのほかにジャパンクリエイトのスピンコータはある?
あります。ジャパンクリエイトのスピンコータには、卓上型マニュアルスピンコーターのほかに自動レジスト塗布装置(対応基板は直径300mmまでのウエハ⁠)⁠があります。
Q.卓上型マニュアルスピンコーターはどこのメーカー?
卓上型マニュアルスピンコーターはジャパンクリエイト株式会社の製品です。埼玉県所沢市に本社と工場を置き、ウエハ洗浄機・エッチング装置・スピンドライヤーを自社で作る会社です。

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