スピンコータとは？スピンコーターの種類（卓上・大型セミオート・全自動）と、回転数・基板サイズ・価格の選び方

この記事の答え

スピンコータは、基板を回して液を薄く均一に塗る装置です。スピンコーター、スピンナーとも呼びます。種類は卓上型・大型セミオート型・全自動型の3つで、基板の大きさと処理の枚数で決めます。

スピンコータとは

基板の中央に液を落とし、高速で回して広げ、薄い膜を付けます。膜厚は主に回転数で決まり、速いほど薄くなります。レジストや樹脂を、ウエハやガラス基板の片面に塗るときに使います。

選ぶときは「基板の大きさ」「回転数」「滴下のしかた」の3つを先に決めます。

扱う基板のうち大きいものが載る機種を選びます。角基板は丸基板より小さいサイズまでです。

塗る液と狙う膜厚で決めます。重い基板では上限が下がることがあります。

試作なら手動で足ります。手順を揃えたいなら滴下装置を足します。

公式に値段を出しているのはアクティブです。ほかの会社は見積もりです。

処理の枚数で選びます。