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プラズマCVD装置 PD-220NLは、
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プラズマCVD装置 PD-220NLの強みと方式
反応室を
向いている
方式：プラズマCVD
原料の
プラズマCVD装置 PD-220NLの仕様
- 方式
- プラズマCVD
- 方式
- ロードロック
式のプラズマCVD - 基板サイズ
- 2インチ・
3インチ・ 4インチ （トレイ搬送） - 処理枚数
- 2インチ
9枚、 3インチ 5枚、 4インチ3枚 - 膜の種類
- SiO2、
SiNx - 温度
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - プラズマの
周波数 - 13.56MHz、
400kHz 重畳の 2周波 - 成膜の速さ
- —公式資料で
確認できず - 特長
- 四方
向排気で ガスの 流れを そろえる
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| プラズマCVD装置 PD-220NLサムコ | プラズマCVD装置 CC-200株式会社 | プラズマCVD装置 PlasmaPro 100 | |
|---|---|---|---|
| 方式 | プラズマCVD | プラズマCVD | プラズマCVD |
| 方式 | ロードロック | PE-CVD | PECVD |
| 基板サイズ | 2インチ・ | トレー搬送で | 最大200mm |
| 処理枚数 | 2インチ | —公式資料で | —公式資料で |
| 膜の種類 | SiO2、 | SiO2、 | 窒化ケイ素、 |
| 温度 | —公式資料で | —公式資料で | 最大400℃ |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| プラズマの | 13.56MHz、 | 27.12MHz | —公式資料で |
| 成膜の速さ | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 特長 | 四方 | CF4＋O2プラズマで | その場で |
プラズマCVD装置 PD-220NLのよくある質問
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLはどんな人に向いている？
プラズマCVD装置 PD-220NLは、小径ウエハの絶縁膜の研究開発に使う人向けです。プラズマCVD装置 PD-220NLは、反応室を大気に開けないロードロック式で、研究開発でも毎回同じ条件で成膜できます。
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLの強みは？
プラズマCVD装置 PD-220NLは、2インチなら9枚を1回で処理できます。13.56MHzに400kHzを重ねる2周波で、膜の応力を調整できます。
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLはどんな方式？
プラズマCVD装置 PD-220NLの方式はプラズマCVDです。原料のガスをプラズマにして、低い温度のまま膜をつける方式です。
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLの主な仕様は？
プラズマCVD装置 PD-220NLの方式はロードロック式のプラズマCVD、基板サイズは2インチ・3インチ・4インチ（トレイ搬送）です。処理枚数は2インチ9枚、3インチ5枚、4インチ3枚、膜の種類はSiO2、SiNxです。
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLとプラズマCVD装置 CC-200はどっちがいい？
小径ウエハの絶縁膜の研究開発ならプラズマCVD装置 PD-220NL、研究開発から少量生産までの絶縁膜ならアルバックのプラズマCVD装置 CC-200です。プラズマCVD装置 PD-220NLの方式はロードロック式のプラズマCVD、基板サイズは2インチ・3インチ・4インチ（トレイ搬送）です。アルバックのプラズマCVD装置 CC-200の方式はPE-CVD、基板サイズはトレー搬送で多様な基板サイズです。
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLのプラズマの周波数は？
プラズマCVD装置 PD-220NLのプラズマの周波数は13.56MHz、400kHz重畳の2周波です。アルバックのプラズマCVD装置 CC-200のプラズマの周波数は27.12MHzです。
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLの特長は？
プラズマCVD装置 PD-220NLの特長は四方向排気でガスの流れをそろえる。アルバックのプラズマCVD装置 CC-200の特長はCF4＋O2プラズマでチャンバーを洗える。
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLとプラズマCVD装置 PlasmaPro 100 PECVDはどっちがいい？
小径ウエハの絶縁膜の研究開発ならプラズマCVD装置 PD-220NL、200mmまでの窒化膜・酸化膜ならオックスフォード・インストゥルメンツのプラズマCVD装置 PlasmaPro 100 PECVDです。プラズマCVD装置 PD-220NLの方式はロードロック式のプラズマCVD、基板サイズは2インチ・3インチ・4インチ（トレイ搬送）です。オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマCVD装置 PlasmaPro 100 PECVDの方式はPECVD（高濃度プラズマ・低圧）、基板サイズは最大200mmです。
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLのほかにサムコのCVD装置はある？
あります。サムコのCVD装置には、プラズマCVD装置 PD-220NLのほかに液体ソースCVD装置 PD-330STC（方式は液体ソースCVD）があります。
Q.プラズマCVD装置 PD-220NLはどこのメーカー？
プラズマCVD装置 PD-220NLはサムコ株式会社の製品です。登記上の本店は〒612-8443 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地。サムコの主な製品分野はプラズマ処理装置・CVD装置・半導体製造装置です。
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