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プラズマ処理装置水蒸気プラズマ

Aqua Plasma クリーナー AQ-500

サムコ株式会社

水蒸気でプラズマを立てる、還元と接合前処理向けの装置です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
水蒸気プラズマ
向いている所
銀・銅の還元と接着剤なしの接合
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比較表での位置

Aqua Plasma クリーナー AQ-500は、プラズマ処理装置のメーカー9社比較⁠の方式「水蒸気プラズマ」の1製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 1製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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Aqua Plasma クリーナー AQ-500​の強みと方式

水蒸気でプラズマを立てるので、酸化した銀や銅を水素プラズマの2倍以上の速さで還元できます。アッシングは水素プラズマの4倍以上の速さです。樹脂とガラスを接着剤なしで貼る前の処理に使えます。

向いている所銀・銅の還元と接着剤なしの接合

方式：水蒸気プラズマ

真空の室に水蒸気を入れてプラズマを立てる型です。サムコのAqua Plasmaがこの型で、酸化した銀や銅の還元や、樹脂とガラスの接合前処理に使います。

Aqua Plasma クリーナー AQ-500​の仕様

方式
水蒸気プラズマ
方式の中身
水蒸気プラズマ
処理範囲・速さ
—公式資料で確認できず
高周波の出力
—公式資料で確認できず
ガス
水蒸気（酸素・アルゴンは一部オプション）
電源
—公式資料で確認できず
外形寸法
幅540mm×奥行650mm（設置面積）
価格
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
主な使い道
銀・銅の還元、アッシング、接合前処理、超親水化

同じ種類の他社製品との違い

プラズマ処理装置の価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社2,739,000円税抜
  2. プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社10,408,000円税抜

製品の特徴ごとの分類

Aqua Plasma クリーナー AQ-500サムコ株式会社ダイレクト型大気圧プラズマ装置 D300-⁠TB株式会社魁半導体大気圧プラズマ装置 SSC-APシリーズ神港精機株式会社
方式水蒸気プラズマ大気圧ダイレクト型大気圧ダイレクト型
方式の中身水蒸気プラズマダイレクト型、スリット照射ダイレクト方式、ベルト搬送
処理範囲・速さ—公式資料で確認できず照射幅300mm放電幅100mm、ベルト幅100mm
高周波の出力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず常用最大160〜180W
ガス水蒸気（酸素・アルゴンは一部オプション）導入不要（空気）アルゴン・酸素、1〜4L/min
電源—公式資料で確認できず100V、5A—公式資料で確認できず
外形寸法幅540mm×奥行650mm（設置面積）制御部 幅320mm×奥行430mm×高さ177mm—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
主な使い道銀・銅の還元、アッシング、接合前処理、超親水化FPDガラス基板の洗浄、塗布・接着前の濡れ性改善ベルトで流す基板の表面処理

プラズマ処理装置の15製品を比較表で見る

Aqua Plasma クリーナー AQ-500​のよくある質問

Q.Aqua Plasma クリーナー AQ-500はどんな人に向いている？
Aqua Plasma クリーナー AQ-500は、銀・銅の還元と接着剤なしの接合に使う人向けです。Aqua Plasma クリーナー AQ-500は、水蒸気でプラズマを立てるので、酸化した銀や銅を水素プラズマの2倍以上の速さで還元できます。
Q.Aqua Plasma クリーナー AQ-500の強みは？
Aqua Plasma クリーナー AQ-500のアッシングは水素プラズマの4倍以上の速さです。樹脂とガラスを接着剤なしで貼る前の処理に使えます。
Q.Aqua Plasma クリーナー AQ-500はどんな方式？
Aqua Plasma クリーナー AQ-500の方式は水蒸気プラズマです。真空の室に水蒸気を入れてプラズマを立てる型です。
Q.Aqua Plasma クリーナー AQ-500の主な仕様は？
Aqua Plasma クリーナー AQ-500の方式の中身は水蒸気プラズマ、ガスは水蒸気（酸素・アルゴンは一部オプション）⁠で⁠す⁠。外形寸法は幅540mm×奥行650mm（設置面積）、主な使い道は銀・銅の還元、アッシング、接合前処理、超親水化です。
Q.Aqua Plasma クリーナー AQ-500とダイレクト型大気圧プラズマ装置 D300-TBはどっちがいい？
銀・銅の還元と接着剤なしの接合ならAqua Plasma クリーナー AQ-500、ガスなしで幅広く処理したいなら魁半導体のダイレクト型大気圧プラズマ装置 D300-TBです。Aqua Plasma クリーナー AQ-500の方式の中身は水蒸気プラズマ、ガスは水蒸気（酸素・アルゴンは一部オプション）⁠で⁠す⁠。魁半導体のダイレクト型大気圧プラズマ装置 D300-TBの方式の中身はダイレクト型、スリット照射、処理範囲・速さは照射幅300mmです。
Q.Aqua Plasma クリーナー AQ-500と大気圧プラズマ装置 SSC-APシリーズはどっちがいい？
銀・銅の還元と接着剤なしの接合ならAqua Plasma クリーナー AQ-500、真空なしで基板を強く処理したいなら神港精機の大気圧プラズマ装置 SSC-APシリーズです。Aqua Plasma クリーナー AQ-500の方式の中身は水蒸気プラズマ、ガスは水蒸気（酸素・アルゴンは一部オプション）⁠で⁠す⁠。神港精機の大気圧プラズマ装置 SSC-APシリーズの方式の中身はダイレクト方式、ベルト搬送、処理範囲・速さは放電幅100mm、ベルト幅100mmです。
Q.Aqua Plasma クリーナー AQ-500のほかにサムコのプラズマ処理装置はある？
あります。サムコのプラズマ処理装置には、Aqua Plasma クリーナー AQ-500のほかにプラズマクリーナー PC-300（方式の中身は平行平板型、RIE・PEの切り替え）があります。
Q.Aqua Plasma クリーナー AQ-500はどこのメーカー？
Aqua Plasma クリーナー AQ-500はサムコ株式会社の製品です。登記上の本店は〒612-8443 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地。サムコの主な製品分野はプラズマ処理装置・CVD装置・半導体製造装置です。

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    1. サムコ株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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