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プラズマ処理装置真空式（平行平板・バレル）

卓上真空プラズマ装置 YHS-R

株式会社魁半導体

AC100Vで動く卓上の真空プラズマ装置です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
真空式（平行平板・バレル）
向いている所
机に載せて手軽に真空処理
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比較表での位置

卓上真空プラズマ装置 YHS-Rは、プラズマ処理装置のメーカー9社比較⁠の方式が真空式（平行平板・バレル）の9製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 9製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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卓上真空プラズマ装置 YHS-R​の強みと方式

重さ6.8kgと軽く、机の上に置いてAC100Vのコンセントで動かせる真空プラズマ装置です。ガス導入・圧力調整・出力調整はオプションで足せます。薄膜形成や陽極接合、塗装の前処理に使えます。

向いている所机に載せて手軽に真空処理

方式：真空式（平行平板・バレル）

室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。分布が良く、清浄度も高く出ます。ポンプと室があるので導入と運転の費用は高めで、処理は室に入る大きさまでです。

卓上真空プラズマ装置 YHS-R​の仕様

方式
真空式（平行平板・バレル）
方式の中身
卓上の真空式、放電タイマー付き
処理範囲・速さ
ステージ直径100mm
高周波の出力
—公式資料で確認できず
ガス
ガス導入はオプション
電源
単相100V、5.0A
外形寸法
幅220mm×奥行250mm×高さ300mm
価格
—公式資料で確認できず
質量
6.8kg
主な使い道
表面処理、薄膜形成・陽極接合・塗装の前処理

同じ種類の他社製品との違い

プラズマ処理装置の価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社2,739,000円税抜
  2. プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社10,408,000円税抜

製品の特徴ごとの分類

卓上真空プラズマ装置 YHS-R株式会社魁半導体プラズマクリーナー PC-300サムコ株式会社プラズマクリーナー PCU-40株式会社真空デバイス
方式真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）
方式の中身卓上の真空式、放電タイマー付き平行平板型、RIE・PEの切り替え低出力RFプラズマ、ターボポンプ排気
処理範囲・速さステージ直径100mm直径8インチウエハまで（アッシング）SEM試料用ステージ直径40mm、TEMホルダー導入口1つ
高周波の出力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず13.56MHz、0〜50W
ガスガス導入はオプション—公式資料で確認できずアルゴン、アルゴン酸素など
電源単相100V、5.0A—公式資料で確認できずAC100V、15A
外形寸法幅220mm×奥行250mm×高さ300mm—公式資料で確認できず幅428mm×奥行407mm×高さ592mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量6.8kg—公式資料で確認できず30kg
主な使い道表面処理、薄膜形成・陽極接合・塗装の前処理半導体実装基板・光学部品・バイオ医療製品の洗浄と表面改質TEM・SEM・FIB試料と試料ホルダーのコンタミ除去

プラズマ処理装置の15製品を比較表で見る

卓上真空プラズマ装置 YHS-R​のよくある質問

Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rはどんな人に向いている？
卓上真空プラズマ装置 YHS-Rは、机に載せて手軽に真空処理に使う人向けです。卓上真空プラズマ装置 YHS-Rは、重さ6.8kgと軽く、机の上に置いてAC100Vのコンセントで動かせる真空プラズマ装置です。
Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの強みは？
卓上真空プラズマ装置 YHS-Rは、ガス導入・圧力調整・出力調整はオプションで足せます。薄膜形成や陽極接合、塗装の前処理に使えます。
Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rはどんな方式？
卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの方式は真空式（平行平板・バレル）⁠で⁠す⁠。室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。
Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの主な仕様は？
卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの方式の中身は卓上の真空式、放電タイマー付き、処理範囲・速さはステージ直径100mmです。ガスはガス導入はオプション、電源は単相100V、5.0Aです。
Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rとプラズマクリーナー PC-300はどっちがいい？
机に載せて手軽に真空処理なら卓上真空プラズマ装置 YHS-R、基板・金型・シャーレの洗浄と親水化ならサムコのプラズマクリーナー PC-300です。卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの方式の中身は卓上の真空式、放電タイマー付き、処理範囲・速さはステージ直径100mmです。サムコのプラズマクリーナー PC-300の方式の中身は平行平板型、RIE・PEの切り替え、処理範囲・速さは直径8インチウエハまで（アッシング）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの質量は？
卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの質量は6.8kgです。真空デバイスのプラズマクリーナー PCU-40の質量は30kgです。
Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの外形寸法は？
卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの外形寸法は幅220mm×奥行250mm×高さ300mmです。真空デバイスのプラズマクリーナー PCU-40の外形寸法は幅428mm×奥行407mm×高さ592mmです。
Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rとプラズマクリーナー PCU-40はどっちがいい？
机に載せて手軽に真空処理なら卓上真空プラズマ装置 YHS-R、電子顕微鏡の試料とホルダーの清浄なら真空デバイスのプラズマクリーナー PCU-40です。卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの方式の中身は卓上の真空式、放電タイマー付き、処理範囲・速さはステージ直径100mmです。真空デバイスのプラズマクリーナー PCU-40の方式の中身は低出力RFプラズマ、ターボポンプ排気、処理範囲・速さはSEM試料用ステージ直径40mm、TEMホルダー導入口1つ。
Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rのほかに魁半導体のプラズマ処理装置はある？
あります。魁半導体のプラズマ処理装置には、卓上真空プラズマ装置 YHS-Rのほかにダイレクト型大気圧プラズマ装置 D300-TB（方式の中身はダイレクト型、スリット照射）があります。
Q.卓上真空プラズマ装置 YHS-Rはどこのメーカー？
卓上真空プラズマ装置 YHS-Rは株式会社魁半導体の製品です。プラズマを使う半導体製造装置と表面改質装置を、開発から製造販売まで手がける京都の会社です。

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    出典
    1. 株式会社魁半導体 公式
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