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プラズマ処理装置真空式（平行平板・バレル）

プラズマクリーナー PSX307

パナソニック コネクト株式会社

生産ライン向けの基板用プラズマクリーナーです。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
真空式（平行平板・バレル）
向いている所
生産ラインの基板を処理する
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比較表での位置

プラズマクリーナー PSX307は、プラズマ処理装置のメーカー9社比較⁠の方式が真空式（平行平板・バレル）の9製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 9製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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プラズマクリーナー PSX307​の強みと方式

プラズマモニター機能で異常放電を避ける、生産ライン向けの基板用プラズマクリーナーです。独自の昇降ユニットで、反った薄い基板や裏面に部品のある基板も処理できます。オンラインでつないでトレーサビリティも取れます。

向いている所生産ラインの基板を処理する

方式：真空式（平行平板・バレル）

室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。分布が良く、清浄度も高く出ます。ポンプと室があるので導入と運転の費用は高めで、処理は室に入る大きさまでです。

プラズマクリーナー PSX307​の仕様

方式
真空式（平行平板・バレル）
方式の中身
高周波平行平板逆スパッタ方式
処理範囲・速さ
—公式資料で確認できず
高周波の出力
—公式資料で確認できず
ガス
アルゴン（オプションで酸素）
電源
単相AC200V、2.00kVA（ピーク時5.00kVA）
外形寸法
幅932mm×奥行1 100mm×高さ1 450mm
価格
—公式資料で確認できず
質量
555kg
主な使い道
反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板の処理

同じ種類の他社製品との違い

プラズマ処理装置の価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社2,739,000円税抜
  2. プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社10,408,000円税抜

製品の特徴ごとの分類

プラズマクリーナー PSX307パナソニック コネクト株式会社プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社
方式真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）
方式の中身高周波平行平板逆スパッタ方式平行平板、RIEモード（DPモードはオプション）DP方式バレル型
処理範囲・速さ—公式資料で確認できずステージ幅250mm×奥行170mm反応槽 直径100mm×長さ160mm
高周波の出力—公式資料で確認できず13.56MHz、最大500W13.56MHz、最大200W
ガスアルゴン（オプションで酸素）アルゴン・酸素の2系統酸素の1系統
電源単相AC200V、2.00kVA（ピーク時5.00kVA）三相AC200V、6AAC100V、14A
外形寸法幅932mm×奥行1 100mm×高さ1 450mm幅540mm×奥行600mm×高さ600mm幅350mm×奥行400mm×高さ500mm
価格—公式資料で確認できず10,408,000円（税抜）2,739,000円（税抜）
質量555kg105kg25kg
主な使い道反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板の処理—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

プラズマ処理装置の15製品を比較表で見る

プラズマクリーナー PSX307​のよくある質問

Q.プラズマクリーナー PSX307はどんな人に向いている？
プラズマクリーナー PSX307は、生産ラインの基板を処理する人向けです。プラズマクリーナー PSX307は、プラズマモニター機能で異常放電を避ける、生産ライン向けの基板用プラズマクリーナーです。
Q.プラズマクリーナー PSX307の強みは？
プラズマクリーナー PSX307は、独自の昇降ユニットで、反った薄い基板や裏面に部品のある基板も処理できます。オンラインでつないでトレーサビリティも取れます。
Q.プラズマクリーナー PSX307はどんな方式？
プラズマクリーナー PSX307の方式は真空式（平行平板・バレル）⁠で⁠す⁠。室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。
Q.プラズマクリーナー PSX307の主な仕様は？
プラズマクリーナー PSX307の方式の中身は高周波平行平板逆スパッタ方式、ガスはアルゴン（オプションで酸素）⁠で⁠す⁠。電源は単相AC200V、2.00kVA（ピーク時5.00kVA）、外形寸法は幅932mm×奥行1 100mm×高さ1 450mmです。
Q.プラズマクリーナー PSX307とプラズマドライクリーナー PDC210はどっちがいい？
生産ラインの基板を処理するならプラズマクリーナー PSX307、研究開発で条件を細かく振るならヤマト科学のプラズマドライクリーナー PDC210です。プラズマクリーナー PSX307の方式の中身は高周波平行平板逆スパッタ方式、ガスはアルゴン（オプションで酸素）⁠で⁠す⁠。ヤマト科学のプラズマドライクリーナー PDC210の価格は10,408,000円（税抜）、方式の中身は平行平板、RIEモード（DPモードはオプション）で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.プラズマクリーナー PSX307の質量は？
プラズマクリーナー PSX307の質量は555kgです。ヤマト科学のプラズマドライクリーナー PDC210の質量は105kgです。
Q.プラズマクリーナー PSX307の主な使い道は？
プラズマクリーナー PSX307の主な使い道は反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板の処理です。魁半導体の卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの主な使い道は表面処理、薄膜形成・陽極接合・塗装の前処理です。
Q.プラズマクリーナー PSX307と小型プラズマ装置 PR200はどっちがいい？
生産ラインの基板を処理するならプラズマクリーナー PSX307、試料の表面を酸素で改質・洗浄ならヤマト科学の小型プラズマ装置 PR200です。プラズマクリーナー PSX307の方式の中身は高周波平行平板逆スパッタ方式、ガスはアルゴン（オプションで酸素）⁠で⁠す⁠。ヤマト科学の小型プラズマ装置 PR200の価格は2,739,000円（税抜）、方式の中身はDP方式バレル型です。
Q.プラズマクリーナー PSX307はどこのメーカー？
プラズマクリーナー PSX307はパナソニック コネクト株式会社の製品です。パナソニック コネクトの主な製品分野は部品挿入機・PTZカメラ・業務用タブレットPC・ガウジング棒です。

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    1. パナソニック コネクト株式会社 公式
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