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プラズマ処理装置真空式（平行平板・バレル）

小型プラズマ装置 PR200

ヤマト科学株式会社

酸素1系統で動く卓上のバレル式装置です。

価格
2,739,000円（税抜）
方式
真空式（平行平板・バレル）
向いている所
試料の表面を酸素で改質・洗浄
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比較表での位置

小型プラズマ装置 PR200は、プラズマ処理装置のメーカー9社比較⁠の方式が真空式（平行平板・バレル）の9製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 9製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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小型プラズマ装置 PR200​の強みと方式

試料を筒形の反応槽に入れて処理するバレル式の卓上機です。電源はAC100Vで、オートマッチングなので操作が簡単です。ガスは酸素の1系統です。

向いている所試料の表面を酸素で改質・洗浄

方式：真空式（平行平板・バレル）

室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。分布が良く、清浄度も高く出ます。ポンプと室があるので導入と運転の費用は高めで、処理は室に入る大きさまでです。

小型プラズマ装置 PR200​の仕様

方式
真空式（平行平板・バレル）
方式の中身
DP方式バレル型
処理範囲・速さ
反応槽 直径100mm×長さ160mm
高周波の出力
13.56MHz、最大200W
ガス
酸素の1系統
電源
AC100V、14A
外形寸法
幅350mm×奥行400mm×高さ500mm
価格
2,739,000円（税抜）
質量
25kg
主な使い道
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

プラズマ処理装置の価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社2,739,000円税抜
  2. プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社10,408,000円税抜

製品の特徴ごとの分類

小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社卓上真空プラズマ装置 YHS-R株式会社魁半導体プラズマクリーナー PC-300サムコ株式会社
方式真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）
方式の中身DP方式バレル型卓上の真空式、放電タイマー付き平行平板型、RIE・PEの切り替え
処理範囲・速さ反応槽 直径100mm×長さ160mmステージ直径100mm直径8インチウエハまで（アッシング）
高周波の出力13.56MHz、最大200W—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ガス酸素の1系統ガス導入はオプション—公式資料で確認できず
電源AC100V、14A単相100V、5.0A—公式資料で確認できず
外形寸法幅350mm×奥行400mm×高さ500mm幅220mm×奥行250mm×高さ300mm—公式資料で確認できず
価格2,739,000円（税抜）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量25kg6.8kg—公式資料で確認できず
主な使い道—公式資料で確認できず表面処理、薄膜形成・陽極接合・塗装の前処理半導体実装基板・光学部品・バイオ医療製品の洗浄と表面改質

プラズマ処理装置の15製品を比較表で見る

小型プラズマ装置 PR200​のよくある質問

Q.小型プラズマ装置 PR200の値段はいくら？
小型プラズマ装置 PR200の価格は2,739,000円（税抜）⁠で⁠す⁠。プラズマ処理装置で公開価格のある2製品のうち、いちばん安い製品です。
Q.小型プラズマ装置 PR200はどんな人に向いている？
小型プラズマ装置 PR200は、試料の表面を酸素で改質・洗浄に使う人向けです。小型プラズマ装置 PR200は、試料を筒形の反応槽に入れて処理するバレル式の卓上機です。
Q.小型プラズマ装置 PR200の強みは？
小型プラズマ装置 PR200の電源はAC100Vで、オートマッチングなので操作が簡単です。ガスは酸素の1系統です。
Q.小型プラズマ装置 PR200はどんな方式？
小型プラズマ装置 PR200の方式は真空式（平行平板・バレル）⁠で⁠す⁠。室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。
Q.小型プラズマ装置 PR200の主な仕様は？
小型プラズマ装置 PR200の方式の中身はDP方式バレル型、処理範囲・速さは反応槽 直径100mm×長さ160mmです。高周波の出力は13.56MHz、最大200W、ガスは酸素の1系統です。
Q.小型プラズマ装置 PR200と卓上真空プラズマ装置 YHS-Rはどっちがいい？
試料の表面を酸素で改質・洗浄なら小型プラズマ装置 PR200、机に載せて手軽に真空処理なら魁半導体の卓上真空プラズマ装置 YHS-Rです。小型プラズマ装置 PR200の価格は2,739,000円（税抜）、方式の中身はDP方式バレル型です。魁半導体の卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの方式の中身は卓上の真空式、放電タイマー付き、処理範囲・速さはステージ直径100mmです。
Q.小型プラズマ装置 PR200の質量は？
小型プラズマ装置 PR200の質量は25kgです。魁半導体の卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの質量は6.8kgです。
Q.小型プラズマ装置 PR200とプラズマクリーナー PC-300はどっちがいい？
試料の表面を酸素で改質・洗浄なら小型プラズマ装置 PR200、基板・金型・シャーレの洗浄と親水化ならサムコのプラズマクリーナー PC-300です。小型プラズマ装置 PR200の価格は2,739,000円（税抜）、方式の中身はDP方式バレル型です。サムコのプラズマクリーナー PC-300の方式の中身は平行平板型、RIE・PEの切り替え、処理範囲・速さは直径8インチウエハまで（アッシング）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.小型プラズマ装置 PR200のほかにヤマト科学のプラズマ処理装置はある？
あります。ヤマト科学のプラズマ処理装置には、小型プラズマ装置 PR200のほかにプラズマドライクリーナー PDC210（価格は10,408,000円）があります。
Q.小型プラズマ装置 PR200はどこのメーカー？
小型プラズマ装置 PR200はヤマト科学株式会社の製品です。登記上の本店は〒103-0023 東京都中央区日本橋本町2丁目2番2号。ヤマト科学の主な製品分野はスプレードライヤ・クリーンブース・電気乾燥機・定温乾燥器・電気炉です。

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    出典
    1. ヤマト科学株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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