プラズマ処理装置のメーカー9社比較【2026年】

重さ6.8kgと軽く、机の上に置いてAC100Vのコンセントで動かせる真空プラズマ装置です。ガス導入・圧力調整・出力調整はオプションで足せます。薄膜形成や陽極接合、塗装の前処理に使えます。

電極棚を裏返すだけでRIEとPEを切り替えられます。基板の種類や形、目的に合わせて、1台で処理を変えられます。タッチパネルで自動運転でき、レシピも保存できます。

電子顕微鏡の試料とホルダーのコンタミを落とすための卓上機です。出力を50W以下に抑えているので、高周波電源の届出が不要です。ターボポンプとスクロールポンプのオイルフリー排気で、手持ちのTEMホルダーに合わせたアタッチメントも作れます。

試料台をフローティング方式にして、イオンや熱に弱い試料でも親水処理できます。直径130mmの平らなステージに大きめの試料をそのまま載せられます。ロータリーポンプと真空ホースまでセットで届きます。

450×450mmの大型基板まで処理できる機種があります。処理効率の良いハードモードと、基板へのダメージを抑えるソフトモードを選べます。樹脂基板の表面処理にも使えます。

クリーンベンチに置けて、STARTボタンを押すだけで動く実験用の卓上機です。タイマーは5〜180秒で設定でき、処理のばらつきを抑えられます。金属など導電体には使えず、セラミック・プラスチック・PDMSなどの非導電性材料が対象です。

プラズマモニター機能で異常放電を避ける、生産ライン向けの基板用プラズマクリーナーです。独自の昇降ユニットで、反った薄い基板や裏面に部品のある基板も処理できます。オンラインでつないでトレーサビリティも取れます。

アルゴンと酸素の2系統をマスフローコントローラで制御する、研究開発向けの小型機です。平行平板の電極で均一に処理でき、最大500Wまで出せます。電源は三相AC200Vを用意します。

試料を筒形の反応槽に入れて処理するバレル式の卓上機です。電源はAC100Vで、オートマッチングなので操作が簡単です。ガスは酸素の1系統です。

水蒸気でプラズマを立てるので、酸化した銀や銅を水素プラズマの2倍以上の速さで還元できます。アッシングは水素プラズマの4倍以上の速さです。樹脂とガラスを接着剤なしで貼る前の処理に使えます。

ガスを引かなくても空気だけで表面を改質できる、スリット照射のダイレクト型です。照射幅は300mmで、幅広のスリットは1000mmまであります。サンプルへの負担はリモート型より大きくなります。

韓国APP社と提携したダイレクト式のヘッドで、大気圧でも真空のCCP処理に近い表面処理を狙う装置です。デモ機Ar-P100Cは放電幅100mmで、放電間隔を変えられます。大型基板や長尺基板に合わせて設計を変えやすい方式です。

プラズマトリートの基本モデルで、ストレートか回転のノズルを最大2本つなげられます。パッド印刷装置などの生産設備に組み込んで使います。実機の評価テストやレンタルで効果を確かめてから決められます。

シールドガスでプラズマの状態を保ったまま照射でき、最大1,500mm/sの速さで処理できます。ガスの流れや電流の異常を見張り、異常があれば止めるので、処理不足品を流しません。外部I/Oとロボットケーブルで生産ラインに組み込めます。

機能を絞ったFPF20-GMの量産向けで、処理能力はFPF20-GMの6割ほどです。ガスの流れや電流の監視はそのまま備えていて、異常があれば止まります。機能を絞った分、量産で使いやすくした機種です。