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プラズマ処理装置真空式（平行平板・バレル）

プラズマクリーニング装置 POEM

神港精機株式会社

基板の大きさで2機種から選ぶ平行平板型RIE方式の装置です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
真空式（平行平板・バレル）
向いている所
大きな基板の実装前処理
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比較表での位置

プラズマクリーニング装置 POEMは、プラズマ処理装置のメーカー9社比較⁠の方式が真空式（平行平板・バレル）の9製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 9製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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プラズマクリーニング装置 POEM​の強みと方式

450×450mmの大型基板まで処理できる機種があります。処理効率の良いハードモードと、基板へのダメージを抑えるソフトモードを選べます。樹脂基板の表面処理にも使えます。

向いている所大きな基板の実装前処理

方式：真空式（平行平板・バレル）

室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。分布が良く、清浄度も高く出ます。ポンプと室があるので導入と運転の費用は高めで、処理は室に入る大きさまでです。

プラズマクリーニング装置 POEM​の仕様

方式
真空式（平行平板・バレル）
方式の中身
平行平板型RIE方式
処理範囲・速さ
450×450mm、250×250mmの2機種
高周波の出力
—公式資料で確認できず
ガス
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
主な使い道
実装前の親水処理、有機物と酸化膜の除去

同じ種類の他社製品との違い

プラズマ処理装置の価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社2,739,000円税抜
  2. プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社10,408,000円税抜

製品の特徴ごとの分類

プラズマクリーニング装置 POEM神港精機株式会社卓上型真空プラズマ処理装置 SL-0600ストレックス株式会社プラズマクリーナー PSX307パナソニック コネクト株式会社
方式真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）
方式の中身平行平板型RIE方式真空式、タイマー5〜180秒高周波平行平板逆スパッタ方式
処理範囲・速さ450×450mm、250×250mmの2機種—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
高周波の出力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ガス—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずアルゴン（オプションで酸素）
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず単相AC200V、2.00kVA（ピーク時5.00kVA）
外形寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず幅932mm×奥行1 100mm×高さ1 450mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず555kg
主な使い道実装前の親水処理、有機物と酸化膜の除去細胞培養、PDMSマイクロ流体、材料表面処理、電顕試料反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板の処理

プラズマ処理装置の15製品を比較表で見る

プラズマクリーニング装置 POEM​のよくある質問

Q.プラズマクリーニング装置 POEMはどんな人に向いている？
プラズマクリーニング装置 POEMは、大きな基板の実装前処理に使う人向けです。プラズマクリーニング装置 POEMは、450×450mmの大型基板まで処理できる機種があります。
Q.プラズマクリーニング装置 POEMの強みは？
プラズマクリーニング装置 POEMは、処理効率の良いハードモードと、基板へのダメージを抑えるソフトモードを選べます。樹脂基板の表面処理にも使えます。
Q.プラズマクリーニング装置 POEMはどんな方式？
プラズマクリーニング装置 POEMの方式は真空式（平行平板・バレル）⁠で⁠す⁠。室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。
Q.プラズマクリーニング装置 POEMの主な仕様は？
プラズマクリーニング装置 POEMの方式の中身は平行平板型RIE方式、処理範囲・速さは450×450mm、250×250mmの2機種です。主な使い道は実装前の親水処理、有機物と酸化膜の除去です。
Q.プラズマクリーニング装置 POEMと卓上型真空プラズマ処理装置 SL-0600はどっちがいい？
大きな基板の実装前処理ならプラズマクリーニング装置 POEM、細胞培養とPDMSの親水化ならストレックスの卓上型真空プラズマ処理装置 SL-0600です。プラズマクリーニング装置 POEMの方式の中身は平行平板型RIE方式、処理範囲・速さは450×450mm、250×250mmの2機種です。ストレックスの卓上型真空プラズマ処理装置 SL-0600の方式の中身は真空式、タイマー5〜180秒、主な使い道は細胞培養、PDMSマイクロ流体、材料表面処理、電顕試料です。
Q.プラズマクリーニング装置 POEMとプラズマクリーナー PSX307はどっちがいい？
大きな基板の実装前処理ならプラズマクリーニング装置 POEM、生産ラインの基板を処理するならパナソニック コネクトのプラズマクリーナー PSX307です。プラズマクリーニング装置 POEMの方式の中身は平行平板型RIE方式、処理範囲・速さは450×450mm、250×250mmの2機種です。パナソニック コネクトのプラズマクリーナー PSX307の方式の中身は高周波平行平板逆スパッタ方式、ガスはアルゴン（オプションで酸素）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.プラズマクリーニング装置 POEMのほかに神港精機のプラズマ処理装置はある？
あります。神港精機のプラズマ処理装置には、プラズマクリーニング装置 POEMのほかに大気圧プラズマ装置 SSC-APシリーズ（方式の中身はダイレクト方式、ベルト搬送）があります。
Q.プラズマクリーニング装置 POEMはどこのメーカー？
プラズマクリーニング装置 POEMは神港精機株式会社の製品です。登記上の本店は〒651-2271 兵庫県神戸市西区高塚台3丁目1番35号。神港精機の主な製品分野はプラズマ処理装置・スパッタ装置です。

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    出典
    1. 神港精機株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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