口コミを書く
イメージ

プラズマ処理装置真空式（平行平板・バレル）

プラズマドライクリーナー PDC210

ヤマト科学株式会社

研究開発向けの平行平板型プラズマドライクリーナーです。

価格
10,408,000円（税抜）
方式
真空式（平行平板・バレル）
向いている所
研究開発で条件を細かく振る
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

プラズマドライクリーナー PDC210は、プラズマ処理装置のメーカー9社比較⁠の方式が真空式（平行平板・バレル）の9製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 9製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
比較表を見る

プラズマドライクリーナー PDC210​の強みと方式

アルゴンと酸素の2系統をマスフローコントローラで制御する、研究開発向けの小型機です。平行平板の電極で均一に処理でき、最大500Wまで出せます。電源は三相AC200Vを用意します。

向いている所研究開発で条件を細かく振る

方式：真空式（平行平板・バレル）

室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。分布が良く、清浄度も高く出ます。ポンプと室があるので導入と運転の費用は高めで、処理は室に入る大きさまでです。

プラズマドライクリーナー PDC210​の仕様

方式
真空式（平行平板・バレル）
方式の中身
平行平板、RIEモード（DPモードはオプション）
処理範囲・速さ
ステージ幅250mm×奥行170mm
高周波の出力
13.56MHz、最大500W
ガス
アルゴン・酸素の2系統
電源
三相AC200V、6A
外形寸法
幅540mm×奥行600mm×高さ600mm
価格
10,408,000円（税抜）
質量
105kg
主な使い道
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

プラズマ処理装置の価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社2,739,000円税抜
  2. プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社10,408,000円税抜

製品の特徴ごとの分類

プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社卓上真空プラズマ装置 YHS-R株式会社魁半導体プラズマクリーナー PC-300サムコ株式会社
方式真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）
方式の中身平行平板、RIEモード（DPモードはオプション）卓上の真空式、放電タイマー付き平行平板型、RIE・PEの切り替え
処理範囲・速さステージ幅250mm×奥行170mmステージ直径100mm直径8インチウエハまで（アッシング）
高周波の出力13.56MHz、最大500W—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ガスアルゴン・酸素の2系統ガス導入はオプション—公式資料で確認できず
電源三相AC200V、6A単相100V、5.0A—公式資料で確認できず
外形寸法幅540mm×奥行600mm×高さ600mm幅220mm×奥行250mm×高さ300mm—公式資料で確認できず
価格10,408,000円（税抜）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量105kg6.8kg—公式資料で確認できず
主な使い道—公式資料で確認できず表面処理、薄膜形成・陽極接合・塗装の前処理半導体実装基板・光学部品・バイオ医療製品の洗浄と表面改質

プラズマ処理装置の15製品を比較表で見る

プラズマドライクリーナー PDC210​のよくある質問

Q.プラズマドライクリーナー PDC210の値段はいくら？
プラズマドライクリーナー PDC210の価格は10,408,000円（税抜）⁠で⁠す⁠。プラズマ処理装置で公開価格のある2製品のうち、安いほうから2番目です。
Q.プラズマドライクリーナー PDC210はどんな人に向いている？
プラズマドライクリーナー PDC210は、研究開発で条件を細かく振る人向けです。プラズマドライクリーナー PDC210は、アルゴンと酸素の2系統をマスフローコントローラで制御する、研究開発向けの小型機です。
Q.プラズマドライクリーナー PDC210の強みは？
プラズマドライクリーナー PDC210は、平行平板の電極で均一に処理でき、最大500Wまで出せます。電源は三相AC200Vを用意します。
Q.プラズマドライクリーナー PDC210はどんな方式？
プラズマドライクリーナー PDC210の方式は真空式（平行平板・バレル）⁠で⁠す⁠。室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。
Q.プラズマドライクリーナー PDC210の主な仕様は？
プラズマドライクリーナー PDC210の方式の中身は平行平板、RIEモード（DPモードはオプション）、処理範囲・速さはステージ幅250mm×奥行170mmです。高周波の出力は13.56MHz、最大500W、ガスはアルゴン・酸素の2系統です。
Q.プラズマドライクリーナー PDC210と卓上真空プラズマ装置 YHS-Rはどっちがいい？
研究開発で条件を細かく振るならプラズマドライクリーナー PDC210、机に載せて手軽に真空処理なら魁半導体の卓上真空プラズマ装置 YHS-Rです。プラズマドライクリーナー PDC210の価格は10,408,000円（税抜）、方式の中身は平行平板、RIEモード（DPモードはオプション）で⁠す⁠。魁半導体の卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの方式の中身は卓上の真空式、放電タイマー付き、処理範囲・速さはステージ直径100mmです。
Q.プラズマドライクリーナー PDC210の質量は？
プラズマドライクリーナー PDC210の質量は105kgです。魁半導体の卓上真空プラズマ装置 YHS-Rの質量は6.8kgです。
Q.プラズマドライクリーナー PDC210とプラズマクリーナー PC-300はどっちがいい？
研究開発で条件を細かく振るならプラズマドライクリーナー PDC210、基板・金型・シャーレの洗浄と親水化ならサムコのプラズマクリーナー PC-300です。プラズマドライクリーナー PDC210の価格は10,408,000円（税抜）、方式の中身は平行平板、RIEモード（DPモードはオプション）で⁠す⁠。サムコのプラズマクリーナー PC-300の方式の中身は平行平板型、RIE・PEの切り替え、処理範囲・速さは直径8インチウエハまで（アッシング）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.プラズマドライクリーナー PDC210のほかにヤマト科学のプラズマ処理装置はある？
あります。ヤマト科学のプラズマ処理装置には、プラズマドライクリーナー PDC210のほかに小型プラズマ装置 PR200（価格は2,739,000円）があります。
Q.プラズマドライクリーナー PDC210はどこのメーカー？
プラズマドライクリーナー PDC210はヤマト科学株式会社の製品です。登記上の本店は〒103-0023 東京都中央区日本橋本町2丁目2番2号。ヤマト科学の主な製品分野はスプレードライヤ・クリーンブース・電気乾燥機・定温乾燥器・電気炉です。

口コミ

プラズマドライクリーナー PDC210の口コミは、まだありません。
使ったことがある方は、満足度・コスト・納期などを☆で教えてください。製品を選ぶ人の参考になります。

    最初の口コミを書く

    口コミの掲載基準・削除のご依頼

    同じ分類のほかの型番

    同じメーカーのほかの製品ヤマト科学株式会社

    イメージ
    電気乾燥機・定温乾燥器

    定温乾燥器 DX402

    ファンを使わない自然対流式で、粉体が舞い上がりにくい乾燥器です。

    価格179,000円

    比較表で見る

    ヤマト科学の製品20点を見る

    出典
    1. ヤマト科学株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
    比較記事にしてほしい製品の依頼はこちら👉