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プラズマ処理装置真空式（平行平板・バレル）

プラズマクリーナー PC-300

サムコ株式会社

RIEとPEを切り替えられる平行平板型のプラズマクリーナーです。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
真空式（平行平板・バレル）
向いている所
基板・金型・シャーレの洗浄と親水化
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比較表での位置

プラズマクリーナー PC-300は、プラズマ処理装置のメーカー9社比較⁠の方式が真空式（平行平板・バレル）の9製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 9製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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プラズマクリーナー PC-300​の強みと方式

電極棚を裏返すだけでRIEとPEを切り替えられます。基板の種類や形、目的に合わせて、1台で処理を変えられます。タッチパネルで自動運転でき、レシピも保存できます。

向いている所基板・金型・シャーレの洗浄と親水化

方式：真空式（平行平板・バレル）

室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。分布が良く、清浄度も高く出ます。ポンプと室があるので導入と運転の費用は高めで、処理は室に入る大きさまでです。

プラズマクリーナー PC-300​の仕様

方式
真空式（平行平板・バレル）
方式の中身
平行平板型、RIE・PEの切り替え
処理範囲・速さ
直径8インチウエハまで（アッシング）
高周波の出力
—公式資料で確認できず
ガス
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
主な使い道
半導体実装基板・光学部品・バイオ医療製品の洗浄と表面改質

同じ種類の他社製品との違い

プラズマ処理装置の価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社2,739,000円税抜
  2. プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社10,408,000円税抜

製品の特徴ごとの分類

プラズマクリーナー PC-300サムコ株式会社プラズマクリーナー PCU-40株式会社真空デバイスプラズマ処理装置 PIB-20株式会社真空デバイス
方式真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）
方式の中身平行平板型、RIE・PEの切り替え低出力RFプラズマ、ターボポンプ排気フローティング方式の試料台、ガラス製の試料室
処理範囲・速さ直径8インチウエハまで（アッシング）SEM試料用ステージ直径40mm、TEMホルダー導入口1つ直径130mm、高さ25mm程度以内
高周波の出力—公式資料で確認できず13.56MHz、0〜50W—公式資料で確認できず
ガス—公式資料で確認できずアルゴン、アルゴン酸素など空気、アルゴン酸素など
電源—公式資料で確認できずAC100V、15AAC100V、15A
外形寸法—公式資料で確認できず幅428mm×奥行407mm×高さ592mm幅354mm×奥行368mm×高さ350mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず30kg18kg
主な使い道半導体実装基板・光学部品・バイオ医療製品の洗浄と表面改質TEM・SEM・FIB試料と試料ホルダーのコンタミ除去電子顕微鏡試料の支持膜の親水化、PDMSの貼り付け

プラズマ処理装置の15製品を比較表で見る

プラズマクリーナー PC-300​のよくある質問

Q.プラズマクリーナー PC-300はどんな人に向いている？
プラズマクリーナー PC-300は、基板・金型・シャーレの洗浄と親水化に使う人向けです。プラズマクリーナー PC-300は、電極棚を裏返すだけでRIEとPEを切り替えられます。
Q.プラズマクリーナー PC-300の強みは？
プラズマクリーナー PC-300は、基板の種類や形、目的に合わせて、1台で処理を変えられます。タッチパネルで自動運転でき、レシピも保存できます。
Q.プラズマクリーナー PC-300はどんな方式？
プラズマクリーナー PC-300の方式は真空式（平行平板・バレル）⁠で⁠す⁠。室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。
Q.プラズマクリーナー PC-300の主な仕様は？
プラズマクリーナー PC-300の方式の中身は平行平板型、RIE・PEの切り替え、処理範囲・速さは直径8インチウエハまで（アッシング）⁠で⁠す⁠。主な使い道は半導体実装基板・光学部品・バイオ医療製品の洗浄と表面改質です。
Q.プラズマクリーナー PC-300とプラズマクリーナー PCU-40はどっちがいい？
基板・金型・シャーレの洗浄と親水化ならプラズマクリーナー PC-300、電子顕微鏡の試料とホルダーの清浄なら真空デバイスのプラズマクリーナー PCU-40です。プラズマクリーナー PC-300の方式の中身は平行平板型、RIE・PEの切り替え、処理範囲・速さは直径8インチウエハまで（アッシング）⁠で⁠す⁠。真空デバイスのプラズマクリーナー PCU-40の方式の中身は低出力RFプラズマ、ターボポンプ排気、処理範囲・速さはSEM試料用ステージ直径40mm、TEMホルダー導入口1つ。
Q.プラズマクリーナー PC-300とプラズマ処理装置 PIB-20はどっちがいい？
基板・金型・シャーレの洗浄と親水化ならプラズマクリーナー PC-300、電顕の支持膜とPDMSの親水化なら真空デバイスのプラズマ処理装置 PIB-20です。プラズマクリーナー PC-300の方式の中身は平行平板型、RIE・PEの切り替え、処理範囲・速さは直径8インチウエハまで（アッシング）⁠で⁠す⁠。真空デバイスのプラズマ処理装置 PIB-20の方式の中身はフローティング方式の試料台、ガラス製の試料室、処理範囲・速さは直径130mm、高さ25mm程度以内です。
Q.プラズマクリーナー PC-300のほかにサムコのプラズマ処理装置はある？
あります。サムコのプラズマ処理装置には、プラズマクリーナー PC-300のほかにAqua Plasma クリーナー AQ-500（方式の中身は水蒸気プラズマ）があります。
Q.プラズマクリーナー PC-300はどこのメーカー？
プラズマクリーナー PC-300はサムコ株式会社の製品です。登記上の本店は〒612-8443 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地。サムコの主な製品分野はプラズマ処理装置・CVD装置・半導体製造装置です。

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    出典
    1. サムコ株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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