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プラズマ処理装置真空式（平行平板・バレル）

プラズマクリーナー PCU-40

株式会社真空デバイス

電子顕微鏡の前処理に使うオイルフリー排気の卓上機です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
真空式（平行平板・バレル）
向いている所
電子顕微鏡の試料とホルダーの清浄
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比較表での位置

プラズマクリーナー PCU-40は、プラズマ処理装置のメーカー9社比較⁠の方式が真空式（平行平板・バレル）の9製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 15製品比較表の製品
  • 9製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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プラズマクリーナー PCU-40​の強みと方式

電子顕微鏡の試料とホルダーのコンタミを落とすための卓上機です。出力を50W以下に抑えているので、高周波電源の届出が不要です。ターボポンプとスクロールポンプのオイルフリー排気で、手持ちのTEMホルダーに合わせたアタッチメントも作れます。

向いている所電子顕微鏡の試料とホルダーの清浄

方式：真空式（平行平板・バレル）

室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。分布が良く、清浄度も高く出ます。ポンプと室があるので導入と運転の費用は高めで、処理は室に入る大きさまでです。

プラズマクリーナー PCU-40​の仕様

方式
真空式（平行平板・バレル）
方式の中身
低出力RFプラズマ、ターボポンプ排気
処理範囲・速さ
SEM試料用ステージ直径40mm、TEMホルダー導入口1つ
高周波の出力
13.56MHz、0〜50W
ガス
アルゴン、アルゴン酸素など
電源
AC100V、15A
外形寸法
幅428mm×奥行407mm×高さ592mm
価格
—公式資料で確認できず
質量
30kg
主な使い道
TEM・SEM・FIB試料と試料ホルダーのコンタミ除去

同じ種類の他社製品との違い

プラズマ処理装置の価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 小型プラズマ装置 PR200ヤマト科学株式会社2,739,000円税抜
  2. プラズマドライクリーナー PDC210ヤマト科学株式会社10,408,000円税抜

製品の特徴ごとの分類

プラズマクリーナー PCU-40株式会社真空デバイスプラズマクリーニング装置 POEM神港精機株式会社卓上型真空プラズマ処理装置 SL-0600ストレックス株式会社
方式真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）真空式（平行平板・バレル）
方式の中身低出力RFプラズマ、ターボポンプ排気平行平板型RIE方式真空式、タイマー5〜180秒
処理範囲・速さSEM試料用ステージ直径40mm、TEMホルダー導入口1つ450×450mm、250×250mmの2機種—公式資料で確認できず
高周波の出力13.56MHz、0〜50W—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ガスアルゴン、アルゴン酸素など—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
電源AC100V、15A—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法幅428mm×奥行407mm×高さ592mm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量30kg—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
主な使い道TEM・SEM・FIB試料と試料ホルダーのコンタミ除去実装前の親水処理、有機物と酸化膜の除去細胞培養、PDMSマイクロ流体、材料表面処理、電顕試料

プラズマ処理装置の15製品を比較表で見る

プラズマクリーナー PCU-40​のよくある質問

Q.プラズマクリーナー PCU-40はどんな人に向いている？
プラズマクリーナー PCU-40は、電子顕微鏡の試料とホルダーの清浄に使う人向けです。プラズマクリーナー PCU-40は、電子顕微鏡の試料とホルダーのコンタミを落とすための卓上機です。
Q.プラズマクリーナー PCU-40の強みは？
プラズマクリーナー PCU-40は、出力を50W以下に抑えているので、高周波電源の届出が不要です。ターボポンプとスクロールポンプのオイルフリー排気で、手持ちのTEMホルダーに合わせたアタッチメントも作れます。
Q.プラズマクリーナー PCU-40はどんな方式？
プラズマクリーナー PCU-40の方式は真空式（平行平板・バレル）⁠で⁠す⁠。室の空気を真空ポンプで抜き、ガスを入れてプラズマを立てる型です。
Q.プラズマクリーナー PCU-40の主な仕様は？
プラズマクリーナー PCU-40の方式の中身は低出力RFプラズマ、ターボポンプ排気、処理範囲・速さはSEM試料用ステージ直径40mm、TEMホルダー導入口1つ。高周波の出力は13.56MHz、0〜50W、ガスはアルゴン、アルゴン酸素などです。
Q.プラズマクリーナー PCU-40とプラズマクリーニング装置 POEMはどっちがいい？
電子顕微鏡の試料とホルダーの清浄ならプラズマクリーナー PCU-40、大きな基板の実装前処理なら神港精機のプラズマクリーニング装置 POEMです。プラズマクリーナー PCU-40の方式の中身は低出力RFプラズマ、ターボポンプ排気、処理範囲・速さはSEM試料用ステージ直径40mm、TEMホルダー導入口1つ。神港精機のプラズマクリーニング装置 POEMの方式の中身は平行平板型RIE方式、処理範囲・速さは450×450mm、250×250mmの2機種です。
Q.プラズマクリーナー PCU-40の質量は？
プラズマクリーナー PCU-40の質量は30kgです。パナソニック コネクトのプラズマクリーナー PSX307の質量は555kgです。
Q.プラズマクリーナー PCU-40の電源は？
プラズマクリーナー PCU-40の電源はAC100V、15Aです。パナソニック コネクトのプラズマクリーナー PSX307の電源は単相AC200V、2.00kVA（ピーク時5.00kVA）で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.プラズマクリーナー PCU-40と卓上型真空プラズマ処理装置 SL-0600はどっちがいい？
電子顕微鏡の試料とホルダーの清浄ならプラズマクリーナー PCU-40、細胞培養とPDMSの親水化ならストレックスの卓上型真空プラズマ処理装置 SL-0600です。プラズマクリーナー PCU-40の方式の中身は低出力RFプラズマ、ターボポンプ排気、処理範囲・速さはSEM試料用ステージ直径40mm、TEMホルダー導入口1つ。ストレックスの卓上型真空プラズマ処理装置 SL-0600の方式の中身は真空式、タイマー5〜180秒、主な使い道は細胞培養、PDMSマイクロ流体、材料表面処理、電顕試料です。
Q.プラズマクリーナー PCU-40のほかに真空デバイスのプラズマ処理装置はある？
あります。真空デバイスのプラズマ処理装置には、プラズマクリーナー PCU-40のほかにプラズマ処理装置 PIB-20（方式の中身はフローティング方式の試料台、ガラス製の試料室）があります。
Q.プラズマクリーナー PCU-40はどこのメーカー？
プラズマクリーナー PCU-40は株式会社真空デバイスの製品です。真空デバイスの主な製品分野はプラズマ処理装置・凍結乾燥機です。

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    出典
    1. 株式会社真空デバイス 公式
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