プラズマ処理装置とは？真空式・水蒸気・大気圧の種類の違いと選び方、価格

プラズマ処理装置とは

プラズマ処理装置は、ガスに高周波などをかけて立てたプラズマを材料に当て、表面の汚れを取り、親水化や接着前の処理をする装置です。水や薬液を使わず、乾いたまま処理できます。

比較ページには、日本の会社か日本法人が自社または自社グループの製品として案内するプラズマ処理装置を、型番の単位で載せました。膜を付けるCVD装置やスパッタ装置は別のページです。

4つの方式

• 真空式：室の空気を抜いてプラズマを立てます。例はサムコのPC-300、ヤマト科学のPDC210、魁半導体のYHS-Rです
• 水蒸気プラズマ：水蒸気でプラズマを立てます。例はサムコのAQ-500です
• 大気圧ダイレクト型：プラズマを物に直接当てます。例は魁半導体のD300-TB、神港精機のSSC-APシリーズです
• 大気圧吹き付け型：ヘッドやノズルから吹き付けます。例はFUJIのFPF20-GM、日本プラズマトリートのFG5001です

真空式と大気圧式の違い

• 真空式は分布と清浄性が良く、導入と運転の費用は高めです
• 大気圧式は処理量を稼げて費用が安く済み、大型基板や長尺基板に合わせやすい方式です
• 大気圧式では、除害や希釈が必要なガスを使えません
• ダイレクト型は、リモート型より物への負担が大きくなります

卓上で使える機種

• 魁半導体のYHS-Rは、幅220mm×奥行250mm×高さ300mmで6.8kgです
• 真空デバイスのPIB-20は、幅354mm×奥行368mm×高さ350mmで18kgです
• ヤマト科学のPR200は、卓上のバレル式で25kgです
• ストレックスのSL-0600は、クリーンベンチに置けます

価格

• ヤマト科学のPR200は、2,739,000円（税抜）⁠で⁠⁠⁠⁠す
• ヤマト科学のPDC210は、10,408,000円（税抜）⁠で⁠⁠⁠⁠す
• ほかのメーカーは公式に価格を出していないので、見積もりを取ります

選ぶときの順番

選ぶときは「何を処理するか」「どこで使うか」「ガスと電源」の3つを先に決めます。

• 材料を確かめます。ストレックスのSL-0600のように、金属に使えない機種があります
• 物の大きさを確かめます。真空式は室に入る大きさまでです
• 流れを決めます。研究室で少量なら卓上の真空式、生産ラインなら大気圧の吹き付け型や搬送系の付く機種です
• ガスと電源を確かめます。魁半導体のD300-TBはガスを引かず空気で動き、ヤマト科学のPDC210は三相AC200Vを使います