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高周波電源13.56MHz

高周波電源 RFS-1310N

株式会社アルバック

13.56MHz・定格1000Wの空冷高周波電源。

価格
公開価格なし（見積もり）
周波数帯
13.56MHz
向いている所
整合の制御を電源に任せたい装置
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

高周波電源 RFS-1310Nは、高周波電源のメーカー6社比較⁠の周波数帯「13.56MHz」の8製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 12製品比較表の製品
  • 8製品同じ周波数帯
  • 0製品公開価格あり
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高周波電源 RFS-1310N​の強みと方式

電源の本体にオートマッチングコントローラの機能を持つ型です。専用のマッチングボックスとつなげば、電力の制御と整合の制御を電源側でまとめられます。冷却水を使わずに1000Wを出せます。

向いている所整合の制御を電源に任せたい装置

周波数帯：13.56MHz

載せた6社すべてが公式に出している周波数です。表では300WのRP-301から5kWのRGA-50・RFS-1350Nまであり、ダイヘンのRGAシリーズは30kWまで出しています。アルバックのRFS-Nは、電源の本体で整合の制御までまとめられます。

高周波電源 RFS-1310N​の仕様

周波数帯
13.56MHz
周波数
13.56MHz
定格出力
1000W
入力電源
単相AC200V-220V、1.8kVA以下
冷却方式
強制空冷、冷却水不要
外形寸法
幅240mm×奥行495mm×高さ150mm
価格
—公式資料で確認できず
質量
約11kg
出力コネクタ
N型
パルス出力
—公式資料で確認できず

外部アナログ制御とシリアル通信制御が使える。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

高周波電源 RFS-1310N株式会社アルバックRFジェネレータ RFK35TS株式会社京三製作所13.56MHz高周波電源 RGA-50株式会社ダイヘン
周波数帯13.56MHz13.56MHz13.56MHz
周波数13.56MHz13.56MHz13.56MHz
定格出力1000W3.5kW5kW
入力電源単相AC200V-220V、1.8kVA以下三相200-220V、4.7kVA以下—公式資料で確認できず
冷却方式強制空冷、冷却水不要水冷、4L/分強制空冷+⁠⁠⁠⁠⁠⁠水冷
外形寸法幅240mm×奥行495mm×高さ150mm幅215mm×高さ133mm×奥行377mm幅420mm×奥行440mm×高さ133mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量約11kg15kg39kg
出力コネクタN型HN型—公式資料で確認できず
パルス出力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず1Hz-100kHz、1レベル

高周波電源の12製品を比較表で見る

高周波電源 RFS-1310N​のよくある質問

Q.高周波電源 RFS-1310Nはどんな人に向いている？
高周波電源 RFS-1310Nは、整合の制御を電源に任せたい装置に使う人向けです。高周波電源 RFS-1310Nは、電源の本体にオートマッチングコントローラの機能を持つ型です。
Q.高周波電源 RFS-1310Nの強みは？
高周波電源 RFS-1310Nは、専用のマッチングボックスとつなげば、電力の制御と整合の制御を電源側でまとめられます。冷却水を使わずに1000Wを出せます。
Q.高周波電源 RFS-1310Nはどんな方式？
高周波電源 RFS-1310Nの周波数帯は13.56MHzです。載せた6社すべてが公式に出している周波数です。
Q.高周波電源 RFS-1310Nの主な仕様は？
高周波電源 RFS-1310Nの周波数は13.56MHz、定格出力は1000Wです。入力電源は単相AC200V-220V、1.8kVA以下、冷却方式は強制空冷、冷却水不要です。
Q.高周波電源 RFS-1310NとRFジェネレータ RFK35TSはどっちがいい？
整合の制御を電源に任せたい装置なら高周波電源 RFS-1310N、3.5kWを小さく収めたい水冷の装置なら京三製作所のRFジェネレータ RFK35TSです。高周波電源 RFS-1310Nの周波数は13.56MHz、定格出力は1000Wです。京三製作所のRFジェネレータ RFK35TSの周波数は13.56MHz、定格出力は3.5kWです。
Q.高周波電源 RFS-1310Nの質量は？
高周波電源 RFS-1310Nの質量は約11kgです。京三製作所のRFジェネレータ RFK35TSの質量は15kgです。
Q.高周波電源 RFS-1310Nの外形寸法は？
高周波電源 RFS-1310Nの外形寸法は幅240mm×奥行495mm×高さ150mmです。京三製作所のRFジェネレータ RFK35TSの外形寸法は幅215mm×高さ133mm×奥行377mmです。
Q.高周波電源 RFS-1310Nと13.56MHz高周波電源 RGA-50はどっちがいい？
整合の制御を電源に任せたい装置なら高周波電源 RFS-1310N、13.56MHzで省電力を重く見る装置ならダイヘンの13.56MHz高周波電源 RGA-50です。高周波電源 RFS-1310Nの周波数は13.56MHz、定格出力は1000Wです。ダイヘンの13.56MHz高周波電源 RGA-50の周波数は13.56MHz、定格出力は5kWです。
Q.高周波電源 RFS-1310Nのほかにアルバックの高周波電源はある？
あります。アルバックの高周波電源には、高周波電源 RFS-1310Nのほかに高周波電源 RFS-1350N（周波数は13.56MHz）があります。
Q.高周波電源 RFS-1310Nはどこのメーカー？
高周波電源 RFS-1310Nは株式会社アルバックの製品です。登記上の本店は〒253-0071 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地。アルバックの主な製品分野はCVD装置・真空計・スパッタ装置・パルス電源です。

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    出典
    1. 株式会社アルバック 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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