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パルス電源成膜用（DCパルス・HiPIMS）

DCパルス電源 DC-10-P

株式会社アルバック

異常放電を抑えるスパッタリング用DCパルス電源。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
成膜用（DCパルス・HiPIMS）
向いている所
反応性スパッタの放電抑制
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比較表での位置

DCパルス電源 DC-10-Pは、パルス電源のメーカー9社比較⁠の種類が成膜用（DCパルス・HiPIMS）の3製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
  • 16製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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DCパルス電源 DC-10-P​の強みと方式

決めた周期で出力電圧を反転し、ターゲットの電荷をためない電源です。異常放電を抑えられ、ハイパワーを入れられます。同じ機種の組み合わせなら並列でも動きます。

向いている所反応性スパッタの放電抑制

種類：成膜用（DCパルス・HiPIMS）

スパッタなどの成膜で使う型です。電圧を反転して異常放電を抑えるDCパルスと、ピーク電力を大きくするHiPIMSがあります。電圧はkV以下で、電力の大きさで選びます。

DCパルス電源 DC-10-P​の仕様

種類
成膜用（DCパルス・HiPIMS）
出力電圧
800V（5k〜150kHz）、650V（155k〜250kHz）
出力電流
25A
パルス幅
逆パルス0.4〜5.0μs
繰り返し周波数
5k〜250kHz
立上がり時間
—公式資料で確認できず
電力・エネルギー
定格10kW
価格
—公式資料で確認できず
入力電源
3相AC208V
大きさ
483×630×133mm
質量
36kg
主な用途
反応性スパッタリング

同じシリーズに定格5kWの DC-5-P。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

DCパルス電源 DC-10-P株式会社アルバックHiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプ株式会社計測技術研究所HiPIMS／パルス電源 高周波タイプ株式会社計測技術研究所
種類成膜用（DCパルス・HiPIMS）成膜用（DCパルス・HiPIMS）成膜用（DCパルス・HiPIMS）
出力電圧800V（5k〜150kHz）、650V（155k〜250kHz）バイアス0〜1200Vバイアス0〜1000V
出力電流25Aピーク1000Aピーク100A
パルス幅逆パルス0.4〜5.0μs最小1μs以下最小500ns以下
繰り返し周波数5k〜250kHz10kHz200kHz
立上がり時間—公式資料で確認できず1μs以下100ns以下
電力・エネルギー定格10kW平均0〜60kW、ピーク1MW平均0〜20kW、ピーク100kW
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
入力電源3相AC208V—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ483×630×133mm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量36kg—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
主な用途反応性スパッタリング—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

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DCパルス電源 DC-10-P​のよくある質問

Q.DCパルス電源 DC-10-Pはどんな人に向いている？
DCパルス電源 DC-10-Pは、反応性スパッタの放電抑制に使う人向けです。DCパルス電源 DC-10-Pは、決めた周期で出力電圧を反転し、ターゲットの電荷をためない電源です。
Q.DCパルス電源 DC-10-Pの強みは？
DCパルス電源 DC-10-Pは、異常放電を抑えられ、ハイパワーを入れられます。同じ機種の組み合わせなら並列でも動きます。
Q.DCパルス電源 DC-10-Pはどんな方式？
DCパルス電源 DC-10-Pの種類は成膜用（DCパルス・HiPIMS）で⁠す⁠。スパッタなどの成膜で使う型です。
Q.DCパルス電源 DC-10-Pの主な仕様は？
DCパルス電源 DC-10-Pの出力電圧は800V（5k〜150kHz）、650V（155k〜250kHz）、出力電流は25Aです。パルス幅は逆パルス0.4〜5.0μs、繰り返し周波数は5k〜250kHzです。
Q.DCパルス電源 DC-10-PとHiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプはどっちがいい？
反応性スパッタの放電抑制ならDCパルス電源 DC-10-P、大電力のパルス成膜になら計測技術研究所のHiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプです。DCパルス電源 DC-10-Pの出力電圧は800V（5k〜150kHz）、650V（155k〜250kHz）、出力電流は25Aです。計測技術研究所のHiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの出力電圧はバイアス0〜1200V、出力電流はピーク1000Aです。
Q.DCパルス電源 DC-10-Pの質量は？
DCパルス電源 DC-10-Pの質量は36kgです。栗田製作所の陽極酸化被膜用電源 +150V/1kA/1000Hzの質量は約250kgです。
Q.DCパルス電源 DC-10-Pの電力・エネルギーは？
DCパルス電源 DC-10-Pの電力・エネルギーは定格10kWです。計測技術研究所のHiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの電力・エネルギーは平均0〜60kW、ピーク1MWです。
Q.DCパルス電源 DC-10-Pの入力電源は？
DCパルス電源 DC-10-Pの入力電源は3相AC208Vです。栗田製作所の陽極酸化被膜用電源 +150V/1kA/1000Hz⁠の入力電源は三相AC200Vです。
Q.DCパルス電源 DC-10-PとHiPIMS／パルス電源 高周波タイプはどっちがいい？
反応性スパッタの放電抑制ならDCパルス電源 DC-10-P、高周波パルスで成膜なら計測技術研究所のHiPIMS／パルス電源 高周波タイプです。DCパルス電源 DC-10-Pの出力電圧は800V（5k〜150kHz）、650V（155k〜250kHz）、出力電流は25Aです。計測技術研究所のHiPIMS／パルス電源 高周波タイプの出力電圧はバイアス0〜1000V、出力電流はピーク100Aです。
Q.DCパルス電源 DC-10-Pはどこのメーカー？
DCパルス電源 DC-10-Pは株式会社アルバックの製品です。登記上の本店は〒253-0071 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地。アルバックの主な製品分野はCVD装置・真空計・スパッタ装置・パルス電源です。

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    出典
    1. 株式会社アルバック 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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