真空装置・半導体製造装置・研究設備で、中真空から超高真空までの圧力を測る真空計を選ぶ、設備・生産技術・研究・購買の担当の方へ

真空計のメーカー8社比較【2026年】

真空計は、真空装置の中の
圧力を測る計器です。

ABOUT

真空計とは

比較表を見る ↓

真空計とは、真空装置の中の圧力を、
隔膜の変形や気体の電離で測る計器です。
真空ゲージとも呼びます。
大気圧近くから超高真空まで1種類では測れないので、
方式を組み合わせて使います。

製品の特長

ガスの種類によらず測れる（隔膜真空計・マクラウド真空計）
高真空まで測れる（電離真空計は1×10^-7Paまで）
装置に信号を渡せる（0〜10V・4〜20mA・RS232など）

使うメリット

プロセスの圧力を正確に管理できる（隔膜真空計は読み値の0.2%前後）
排気の進み具合がわかる（方式を組んで大気圧から高真空まで見る）
装置の自動運転に組み込める（セットポイントや接点の出力）

選ぶときに注意すること

1種類で大気圧から超高真空までは測れない。方式を組み合わせる
電離真空計の読みはガスの種類で変わる
熱陰極はフィラメントが消耗する。替えの測定子を用意する
隔膜真空計はフルスケールで測れる範囲が決まる。使う圧力に合わせる
マクラウド真空計は水銀を使う。扱いと廃棄は決まりに従う

※仕様は各メーカーの公式の製品ページ・仕様一覧・取扱説明書による。

LIST

真空計の比較表

真空計11製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ） 6製品
アズビル株式会社サファイア隔膜真空計 V8S高温の成膜装置で圧力を測る口コミを書く	要見積	受圧部に単結晶サファイアを使った隔膜真空計で、ゲージヘッドを最高250℃の場所に付けられます。成膜で付くデポに強いセンサ構造にしています。回路を分けた分離形で、一体形のV8Cもあります。	方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）測定範囲フルスケール100kPaまで、絶対圧精度読み値の0.5%、レンジの10%FS以上接続フジキン製UJR-9.52N-CT、UJR-6.35N-CT 出力 DC0〜10V 電源 DC±15V両電源、DC24V単電源大きさ・質量ゲージヘッド0.41kg、コントロールユニット0.61kg センサー単結晶サファイアの隔膜特長最高使用温度250℃	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
株式会社アルバックキャパシタンスマノメータ CCMT-100D低・中真空をガス種によらず測る口コミを書く	要見積	セラミック一体構造の隔膜で、ガスの種類に関係なく圧力を測るキャパシタンスマノメータです。フルスケール13.3kPaで、精度は指示値の±0.2%、応答速度は30ms以下です。継手は直径12.7mmのパイプが標準で、NW16KFと8VCRも選べます。	方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）測定範囲フルスケール13.3kPa 精度指示値の±0.2% 接続直径12.7mmパイプ、NW16KF、8VCR 出力 DC0〜10V 電源 DC14〜30V、1W 大きさ・質量直径55×117mm、329g センサーセラミックの隔膜と静電容量特長応答速度30ms以下	公式ページへ詳細・仕様
株式会社岡野製作所絶対圧力計 AVG-300大気圧までの真空の測定と制御口コミを書く	要見積	表示器とセンサを組んだデジタルの絶対圧力計で、大気圧までの真空を測って制御する用途に向きます。Loレンジは0.1〜133.3kPa、精度は±0.25%FS±1digです。受圧部はSUS316Lで、センサだけ交換できます。	方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）測定範囲 0.1〜133.3kPa（Lo）、0.10〜20.00kPa（Hi）精度 ±0.25%FS±1dig 接続 NW16 出力 4〜20mA、RS-232C 電源 DC12〜24V、ACアダプタでAC100〜240V 大きさ・質量表示器96×96×34mm、250g センサーピエゾ抵抗式、受圧部SUS316L 特長応答速度を0〜9秒で設定	公式ページへ詳細・仕様
キヤノンアネルバ株式会社キャパシタンスゲージ M-342DG成膜装置のプロセス圧力の管理口コミを書く	要見積	圧力センサにシリコンMEMSチップを使い、温度調整機構なしで安定させたキャパシタンスゲージです。精度は読み値の0.20%で、消費電力は0.5Wに抑えています。NW16の型は200gと軽く、成膜装置やロードロック室に付けやすいです。	方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）測定範囲フルスケール13.33Pa〜133.3kPa 精度読み値の0.20%、23℃ 接続 NW16、NW25、8-VCR、ICF70 出力 DC0〜10V 電源 DC13.5〜26.4V、0.5W 大きさ・質量 46×49×106mm、200g センサーシリコンMEMSチップ特長温度調整機構なしで安定	公式ページへ詳細・仕様
株式会社堀場エステックキャパシタンスマノメータ VG-200S半導体のプロセス圧力を測る口コミを書く	要見積	SUS316Lのダイヤフラムで測る、半導体の装置向けのキャパシタンスマノメータです。常温形は、フルスケール1.3332〜133.32kPaで精度は読み値の0.25%です。非加熱・55℃・100℃の温調から選べます。	方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）測定範囲フルスケール1.3332〜133.32kPa 精度読み値の0.25%、1.3332kPa以上接続 KF16、1/2インチVCR、1/4インチVCR、ICF34 出力 DC0〜10V 電源 DC±15V、DC24V、2.4W以下センサー SUS316Lダイヤフラム特長非加熱・55℃・100℃温調から選べる記載なし大きさ・質量	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
ライボルト株式会社キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100腐食性ガスのプロセス圧力口コミを書く	要見積	インコネルのダイヤフラムを使い、腐食性の強いプロセスにも使えるキャパシタンスマノメーターです。精度は読み値の最大0.12%で、フルスケールは1000Torrから0.1Torrまで選べます。0〜10VとRS232の両方の出力を持ちます。	方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）測定範囲フルスケール0.1〜1000Torr 精度読み値の最大0.12% 出力 0〜10V、RS232 センサーインコネルのダイヤフラム特長一時的な圧力バーストに耐える記載なし接続・電源・大きさ・質量	公式ページへ詳細・仕様
熱陰極電離真空計 2製品
株式会社アルバック熱陰極電離真空計 SH200-A高真空の装置をPLCで監視する口コミを書く	要見積	フィラメントの電力を見て、寿命を前もって知らせる熱陰極電離真空計です。ピラニのSWU10-Rをつなぐと、5×10^-8Paから1×10^5Paまで1台で測れます。出力はDC0〜10VのLOG出力です。	方式熱陰極電離真空計測定範囲 5×10^-8〜1×10^5Pa、SWU10-R接続時精度繰返精度±2%（N2）接続 NW16、NW25、ICF070 出力 DC0〜10V、LOG出力電源 DC20〜28V、8W以下大きさ・質量コントローラ部69×63×90mm センサー熱陰極フィラメント、Ir・Y2O3コート特長フィラメント寿命を前もって知らせる	公式ページへ詳細・仕様
若井田理学株式会社電離真空計 IVG-1BT研究室の卓上で高真空を測る口コミを書く	要見積	B-A形の測定球UV-81を使う卓上の電離真空計で、2×10^-6Paまで測れます。測定レンジは5段で、各レンジにフルスケール10mVのレコーダー出力があります。電源はAC100Vで、消費電力は45Wです。	方式熱陰極電離真空計測定範囲 2×10^-6〜2×10^-1Pa 出力フルスケール10mV、各レンジ電源 AC100V、50/60Hz、45W 大きさ・質量 302×111×253mm、4.7kg センサー B-A形の測定球UV-81 特長測定レンジ5段記載なし精度・接続	公式ページへ詳細・仕様
冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード） 2製品
キヤノンアネルバ株式会社コールドカソードゲージ M-370CG蒸着・表面分析の高真空を見る口コミを書く	要見積	未放電と放電遅れを抑え、高真空での測定の止まりやふらつきを減らしたコールドカソードゲージです。1×10^-7Paから1Paまで測れ、蒸着・スパッタリング・表面分析の装置に向きます。手入れは部品の交換だけで済みます。	方式冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）測定範囲 1×10^-7〜1Pa 接続 NW25、NW40、ICF70 出力 0〜10V、2接点出力電源 DC15〜30V、2.4W 大きさ・質量 50×50×110mm、NW25 センサーコールドカソード、センサーCC1 特長未放電と放電遅れを解消記載なし精度	公式ページへ詳細・仕様
佐藤真空株式会社ペニング真空計 CR-1N卓上で中真空から高真空を見る口コミを書く	要見積	フィラメントの無い冷陰極放電で測る卓上のペニング真空計で、大気圧でスイッチを入れても故障しません。測定範囲は8×10^-1〜1×10^-3Paの1レンジです。測定子D-31Mを直径15mmのゲージポートに付けます。	方式冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）測定範囲 8×10^-1〜1×10^-3Pa 接続直径15mmゲージポート、測定子D-31M 出力フルスケール10mV 電源 AC100V、50/60Hz、9VA 大きさ・質量 185×185×120mm、2.9kg センサー冷陰極放電、ペニング形特長大気圧でスイッチを入れても故障しない記載なし精度	公式ページへ詳細・仕様
マクラウド真空計 1製品
株式会社岡野製作所マクラウド真空計 NEW-Sほかの真空計の値を確かめる口コミを書く	要見積	毛細管に残った気体を圧縮し、微小な圧力を拡大して読むマクラウド真空計です。回転させるだけで、ガスの種類に関係なく0.1〜1300Paを直接測れます。作動液に水銀を使うので、扱いと廃棄は決まりに従います。	方式マクラウド真空計測定範囲 0.1〜1300Pa センサー水銀で気体を圧縮する特長回転操作でガス種によらず直接測る記載なし精度・接続・出力・電源・大きさ・質量	公式ページへ詳細・仕様

隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）6製品

アズビル株式会社

サファイア隔膜真空計 V8S

高温の成膜装置で圧力を測る

受圧部に単結晶サファイアを使った隔膜真空計で、ゲージヘッドを最高250℃の場所に付けられます。成膜で付くデポに強いセンサ構造にしています。回路を分けた分離形で、一体形のV8Cもあります。

コスト要見積

方式: 隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲: フルスケール100kPaまで、絶対圧
精度: 読み値の0.5%、レンジの10%FS以上
接続: フジキン製UJR-9.52N-CT、UJR-6.35N-CT
出力: DC0〜10V
電源: DC±15V両電源、DC24V単電源
大きさ・質量: ゲージヘッド0.41kg、コントロールユニット0.61kg
センサー: 単結晶サファイアの隔膜
特長: 最高使用温度250℃

公式ページへ

詳細・仕様カタログ（PDF）口コミを書く

株式会社アルバック

キャパシタンスマノメータ CCMT-100D

低・中真空をガス種によらず測る

セラミック一体構造の隔膜で、ガスの種類に関係なく圧力を測るキャパシタンスマノメータです。フルスケール13.3kPaで、精度は指示値の±0.2%、応答速度は30ms以下です。継手は直径12.7mmのパイプが標準で、NW16KFと8VCRも選べます。

コスト要見積

方式: 隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲: フルスケール13.3kPa
精度: 指示値の±0.2%
接続: 直径12.7mmパイプ、NW16KF、8VCR
出力: DC0〜10V
電源: DC14〜30V、1W
大きさ・質量: 直径55×117mm、329g
センサー: セラミックの隔膜と静電容量
特長: 応答速度30ms以下

大気圧までの真空の測定と制御

表示器とセンサを組んだデジタルの絶対圧力計で、大気圧までの真空を測って制御する用途に向きます。Loレンジは0.1〜133.3kPa、精度は±0.25%FS±1digです。受圧部はSUS316Lで、センサだけ交換できます。

コスト要見積

方式: 隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲: 0.1〜133.3kPa（Lo）、0.10〜20.00kPa（Hi）
精度: ±0.25%FS±1dig
接続: NW16
出力: 4〜20mA、RS-232C
電源: DC12〜24V、ACアダプタでAC100〜240V
大きさ・質量: 表示器96×96×34mm、250g
センサー: ピエゾ抵抗式、受圧部SUS316L
特長: 応答速度を0〜9秒で設定

成膜装置のプロセス圧力の管理

圧力センサにシリコンMEMSチップを使い、温度調整機構なしで安定させたキャパシタンスゲージです。精度は読み値の0.20%で、消費電力は0.5Wに抑えています。NW16の型は200gと軽く、成膜装置やロードロック室に付けやすいです。

コスト要見積

方式: 隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲: フルスケール13.33Pa〜133.3kPa
精度: 読み値の0.20%、23℃
接続: NW16、NW25、8-VCR、ICF70
出力: DC0〜10V
電源: DC13.5〜26.4V、0.5W
大きさ・質量: 46×49×106mm、200g
センサー: シリコンMEMSチップ
特長: 温度調整機構なしで安定

半導体のプロセス圧力を測る

SUS316Lのダイヤフラムで測る、半導体の装置向けのキャパシタンスマノメータです。常温形は、フルスケール1.3332〜133.32kPaで精度は読み値の0.25%です。非加熱・55℃・100℃の温調から選べます。

コスト要見積

方式: 隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲: フルスケール1.3332〜133.32kPa
精度: 読み値の0.25%、1.3332kPa以上
接続: KF16、1/2インチVCR、1/4インチVCR、ICF34
出力: DC0〜10V
電源: DC±15V、DC24V、2.4W以下
センサー: SUS316Lダイヤフラム
特長: 非加熱・55℃・100℃温調から選べる
記載なし: 大きさ・質量

公式ページへ

詳細・仕様カタログ（PDF）口コミを書く

ライボルト株式会社

キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100

腐食性ガスのプロセス圧力

インコネルのダイヤフラムを使い、腐食性の強いプロセスにも使えるキャパシタンスマノメーターです。精度は読み値の最大0.12%で、フルスケールは1000Torrから0.1Torrまで選べます。0〜10VとRS232の両方の出力を持ちます。

コスト要見積

方式: 隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲: フルスケール0.1〜1000Torr
精度: 読み値の最大0.12%
出力: 0〜10V、RS232
センサー: インコネルのダイヤフラム
特長: 一時的な圧力バーストに耐える
記載なし: 接続・電源・大きさ・質量

熱陰極電離真空計2製品

高真空の装置をPLCで監視する

フィラメントの電力を見て、寿命を前もって知らせる熱陰極電離真空計です。ピラニのSWU10-Rをつなぐと、5×10^-8Paから1×10^5Paまで1台で測れます。出力はDC0〜10VのLOG出力です。

コスト要見積

方式: 熱陰極電離真空計
測定範囲: 5×10^-8〜1×10^5Pa、SWU10-R接続時
精度: 繰返精度±2%（N2）
接続: NW16、NW25、ICF070
出力: DC0〜10V、LOG出力
電源: DC20〜28V、8W以下
大きさ・質量: コントローラ部69×63×90mm
センサー: 熱陰極フィラメント、Ir・Y2O3コート
特長: フィラメント寿命を前もって知らせる

研究室の卓上で高真空を測る

B-A形の測定球UV-81を使う卓上の電離真空計で、2×10^-6Paまで測れます。測定レンジは5段で、各レンジにフルスケール10mVのレコーダー出力があります。電源はAC100Vで、消費電力は45Wです。

コスト要見積

方式: 熱陰極電離真空計
測定範囲: 2×10^-6〜2×10^-1Pa
出力: フルスケール10mV、各レンジ
電源: AC100V、50/60Hz、45W
大きさ・質量: 302×111×253mm、4.7kg
センサー: B-A形の測定球UV-81
特長: 測定レンジ5段
記載なし: 精度・接続

公式ページへ

詳細・仕様口コミを書く

冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）2製品

キヤノンアネルバ株式会社

コールドカソードゲージ M-370CG

蒸着・表面分析の高真空を見る

未放電と放電遅れを抑え、高真空での測定の止まりやふらつきを減らしたコールドカソードゲージです。1×10^-7Paから1Paまで測れ、蒸着・スパッタリング・表面分析の装置に向きます。手入れは部品の交換だけで済みます。

コスト要見積

方式: 冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）
測定範囲: 1×10^-7〜1Pa
接続: NW25、NW40、ICF70
出力: 0〜10V、2接点出力
電源: DC15〜30V、2.4W
大きさ・質量: 50×50×110mm、NW25
センサー: コールドカソード、センサーCC1
特長: 未放電と放電遅れを解消
記載なし: 精度

卓上で中真空から高真空を見る

フィラメントの無い冷陰極放電で測る卓上のペニング真空計で、大気圧でスイッチを入れても故障しません。測定範囲は8×10^-1〜1×10^-3Paの1レンジです。測定子D-31Mを直径15mmのゲージポートに付けます。

コスト要見積

方式: 冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）
測定範囲: 8×10^-1〜1×10^-3Pa
接続: 直径15mmゲージポート、測定子D-31M
出力: フルスケール10mV
電源: AC100V、50/60Hz、9VA
大きさ・質量: 185×185×120mm、2.9kg
センサー: 冷陰極放電、ペニング形
特長: 大気圧でスイッチを入れても故障しない
記載なし: 精度

マクラウド真空計1製品

ほかの真空計の値を確かめる

毛細管に残った気体を圧縮し、微小な圧力を拡大して読むマクラウド真空計です。回転させるだけで、ガスの種類に関係なく0.1〜1300Paを直接測れます。作動液に水銀を使うので、扱いと廃棄は決まりに従います。

コスト要見積

方式: マクラウド真空計
測定範囲: 0.1〜1300Pa
センサー: 水銀で気体を圧縮する
特長: 回転操作でガス種によらず直接測る
記載なし: 精度・接続・出力・電源・大きさ・質量

公式ページへ

詳細・仕様口コミを書く

出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/keisoku/shinkuukei/／各社の公式資料（2026年11月1日確認）

Q&A

真空計選びで、よくある疑問

購買担当の疑問真空計の価格は、いくら？

このページの11製品は、どれも公式に値段を出していません。方式・フルスケール・継手・出力を決めて、メーカーに見積もりを頼みます。電離真空計は、測定子とコントローラを別に見積もる型もあります。

設備担当の疑問真空計の種類と違いは？

測るしくみで4つに分けました。圧力そのものを読む隔膜真空計、気体を電離させて高真空を測る熱陰極と冷陰極の電離真空計、気体を圧縮して読むマクラウド真空計です。ピラニ真空計は別の比較ページにまとめています。

設備担当の疑問隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）の特長は？

隔膜の変形で圧力を読むので、ガスの種類に関係なく測れます。アルバックのCCMT-100Dは指示値の±0.2%、キヤノンアネルバのM-342DGは読み値の0.20%の精度です。測れる範囲はフルスケールで決まるので、使う圧力に合わせて型を選びます。

設備担当の疑問高真空・超高真空はどの真空計で測る？

電離真空計で測ります。キヤノンアネルバのM-370CGは1×10^-7Paまで、若井田理学のIVG-1BTは2×10^-6Paまで測れます。アルバックのSH200-Aは、ピラニのSWU10-Rをつなぐと5×10^-8Paから1×10^5Paまで1台で見られます。

施設管理の疑問熱陰極と冷陰極の違いは？

熱陰極は、加熱したフィラメントから出した電子で気体を電離させます。冷陰極はフィラメントを持たず、放電で電離させます。佐藤真空のCR-1Nは冷陰極なので、大気圧でスイッチを入れても故障しません。

工場長の疑問ガスの種類で値は変わる？

隔膜真空計とマクラウド真空計は、ガスの種類に関係なく測れます。電離真空計は気体の電離を使うので、ガスで読みが変わります。キヤノンアネルバは、水素や酸素の分圧が高いとコールドカソードの放電の始まりが遅れると書いています。

設備担当の疑問出力と継手（フランジ）は何を選ぶ？

出力はDC0〜10Vが多く、岡野製作所のAVG-300は4〜20mAとRS-232C、ライボルトのCTR 100はRS232も持ちます。継手はNW16・NW25・ICFが多く、アズビルのV8Sはフジキン製のUJR継手です。

設備担当の疑問成膜装置では隔膜真空計を温めて使う？

ガスが付くのを防ぐため、温めて使う型があります。堀場エステックのVG-200Sは非加熱・55℃・100℃の温調から選べ、アズビルのV8Sはゲージヘッドを最高250℃の場所に付けられます。アズビルは、V8でデポによるずれを従来品の1/10まで減らしたと書いています。

工場長の疑問真空計の寿命と手入れは？

熱陰極はフィラメントが消耗するので、測定子を替えて使います。アルバックのSH200-Aはフィラメントの電力を見て、寿命を前もって知らせます。冷陰極のM-370CGは、手入れが部品の交換だけで済みます。

経営者の疑問ほかの真空計の値を確かめるには？

マクラウド真空計は、気体を圧縮して読むので、ガスの種類に関係なく直接測れます。岡野製作所のNEW-Sは、回転操作で0.1〜1300Paを測ります。作動液に水銀を使うので、扱いと廃棄は決まりに従います。

TYPES

真空計の方式の違い

隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。圧力そのものを測るので、ガスの種類で値が変わりません。成膜やエッチングのプロセス圧力の管理に使います。

向いている使い方

プロセス圧力を正確に管理する
ガスを替えても同じ読みで測る
大気圧近くから中真空を見る

根拠：セラミックでできた隔膜が気体の圧力変化により変形し、それに伴い変化する静電容量から圧力を検出する（出典2）

この方式の6製品を表で見る

熱陰極電離真空計

加熱したフィラメントから出した電子で気体を電離させ、できたイオンの量で圧力を測る真空計です。高真空から超高真空まで測れます。フィラメントは消耗するので、測定子を替えて使います。

向いている使い方

高真空・超高真空を測る
分析装置や研究設備
ピラニと組んで広い範囲を見る

根拠：熱陰極電離真空計は、気体の電離現象を利用した真空計の一種です。（出典1）

この方式の2製品を表で見る

冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）

フィラメントを持たず、磁場の中の放電で気体を電離させて圧力を測る真空計です。フィラメントが焼けないので、大気圧でスイッチを入れても傷みません。水素や酸素が多いと放電の始まりが遅れることがあります。

向いている使い方

フィラメント切れを避けたい
蒸着・スパッタリング装置
手入れを部品交換で済ませる

根拠：冷陰極放電ですのでフィラメントの焼損がなく（出典11）

この方式の2製品を表で見る

マクラウド真空計

毛細管に残った気体を水銀で圧縮し、微小な圧力を拡大して読む真空計です。ガスの種類に関係なく、圧力を直接測れます。ほかの真空計の値を確かめるときに使います。

向いている使い方

ほかの真空計の値を確かめる
ガスの種類によらず測る
電気の信号が要らない場面

根拠：毛細管球部の残留気体を圧縮し、微小圧力を拡大して真空度を測定する（出典14）

この方式の1製品を表で見る

MAKERS

真空計の主なメーカー8社

アズビル株式会社

受圧部に単結晶サファイアを使った隔膜真空計で、ゲージヘッドを最高250℃の場所に付けられます。

東京都

サファイア隔膜真空計 V8S

株式会社アルバック

セラミック一体構造の隔膜で、ガスの種類に関係なく圧力を測るキャパシタンスマノメータです。

神奈川県

株式会社岡野製作所

表示器とセンサを組んだデジタルの絶対圧力計で、大気圧までの真空を測って制御する用途に向きます。

大阪府

キヤノンアネルバ株式会社

圧力センサにシリコンMEMSチップを使い、温度調整機構なしで安定させたキャパシタンスゲージです。

神奈川県

佐藤真空株式会社

フィラメントの無い冷陰極放電で測る卓上のペニング真空計で、大気圧でスイッチを入れても故障しません。

東京都

ペニング真空計 CR-1N

株式会社堀場エステック

SUS316Lのダイヤフラムで測る、半導体の装置向けのキャパシタンスマノメータです。

京都府

キャパシタンスマノメータ VG-200S

ライボルト株式会社

インコネルのダイヤフラムを使い、腐食性の強いプロセスにも使えるキャパシタンスマノメーターです。

神奈川県

キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100

若井田理学株式会社

B-A形の測定球UV-81を使う卓上の電離真空計で、2×10^-6Paまで測れます。

東京都

電離真空計 IVG-1BT

出典

掲載基準

真空装置・半導体製造装置・研究設備で、真空の圧力を測る真空計（隔膜真空計・熱陰極電離真空計・冷陰極電離真空計・マクラウド真空計）で、日本の会社か日本法人のある会社が自社で作り、公式サイトで今案内していて、仕様を公式で確かめられた製品。各社の代表の型を1社2製品まで載せています。ピラニ真空計とピラニを主にした複合ゲージは「ピラニ真空計」の比較に分け、ここでは載せていません。ブルドン管式の真空計・連成計（圧力計の仲間）、測定子や球だけの交換部品、表示器だけの製品、生産終了品、中古品は除きました。真空ポンプは「真空ポンプ」、真空容器は「真空チャンバー」の比較に分けています。エドワーズ・インフィコン・MKS・プファイファーバキュームは、今回は日本向けの製品ページで仕様を確かめきれず、載せていません。

真空計を作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

真空計のメーカー8社比較【2026年】

真空計とは

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること