ピラニ真空計のメーカー6社比較【2026年】

このページの9製品は、どれも公式に値段を出していません。型式と測定子・継手・出力を決めて、メーカーに見積もりを頼みます。表示器形は、測定子とケーブルの分も見積もりに入れます。

装置への組み方で3つに分かれます。盤の表示器に測定子をつなぐ表示器形、測定子と回路が一体の一体形、コールドカソードや静電容量式と組んだ複合形です。佐藤真空のPG-D5Aは表示器形、アルバックのSW100-Aは一体形、キヤノンアネルバのM-361CPは複合形です。

大気圧から10⁻²Pa台までが多いです。アルバックのSW100-AとキヤノンアネルバのM-350PGは5×10⁻²Paから大気圧まで、佐藤真空のPG-20Bは1.4×10⁻¹Paから測れます。複合形のM-361CPは1×10^-7Paまで測れます。

加熱したフィラメントに気体分子が当たると、フィラメントから熱を奪います。気体が多いほど熱が逃げるので、その温度の変化を圧力に換えて表示します。アルバックの解説も、気体の熱伝導を使う真空計としています。

標準のピラニゲージは、100mbarより上では精度が落ちます。大気圧近くも正確に見たいなら、ライボルトのTTR 101のように静電容量式を組んだ型を選びます。キヤノンアネルバのM-361CPのピラニは、大気圧付近の応答が隔膜真空計と同じくらいです。

変わります。ピラニは気体が運ぶ熱で測るので、ガスによって読みがずれます。アルバックのSW100-Aの精度は窒素で合わせた値で、ほかのガスを測ると誤差が出ます。

ピラニは大気圧から中真空までを手軽に測る真空計です。高真空は電離真空計やコールドカソードゲージ、大気圧近くを正確に測るのは隔膜（静電容量式）の真空計が受け持ちます。1本で済ませたいなら、キヤノンアネルバのM-361CPやライボルトのTTR 101のような複合形を選びます。

出力はDC0〜10Vのアナログが多く、エドワーズのAPG200はRS232・RS485、ライボルトのTTR 101はEtherCATも選べます。継手はNW16・NW25が多く、キヤノンアネルバのM-350PGは1/8NPTやICF34も選べます。

若井田理学の解説では、ピラニ球のフィラメントは大気圧でスイッチを入れても支障がなく、長く使っても経年変化がほとんどありません。アルバックのSW100-Aは測定子を替えやすく、大気圧とゼロ点の調整をワンタッチでできます。若井田理学のPG-3F2はフィラメントが切れると信号を出します。

腐食性のガスには、フィラメントの材質で選びます。アルバックのSW100-Aは白金、エドワーズのAPG200は耐食のフィラメントの型があります。キヤノンアネルバのM-350PGは、メタルシールの型ならゲージヘッドを300℃までベーキングできます。