{ "title": "ピラニ真空計のメーカー比較", "source": "https://makerzukan.jp/c/keisoku/pirani-gauge/", "publisher": "メーカー図鑑", "license": "出典（メーカー図鑑・URL）を明記すれば引用可", "updated": "2026-10-30", "definition": "ピラニ真空計は、気体が運ぶ熱の量で、低真空から中真空の圧力を測る真空計です。", "findings": [ "値段を出しているメーカーは6社中1社もありません。どれも寸法を伝えて見積もりを取ります。", "方式ごとの製品数は、表示器形（測定子は別） 4・一体形（アクティブゲージ） 3・複合形（ほかの真空計と一体） 2です。", "測定範囲を公式に書いているのは、9製品中9製品です。", "精度を公式に書いているのは4製品です。", "電源を公式に書いているのは8製品です。", "値段を公式に出している製品はありません。" ], "types": [ { "key": "pirani-display", "name": "表示器形（測定子は別）", "how": "測定子を装置に付け、ケーブルでつないだ表示器で圧力を見る型です。盤の前面に収まり、接点やレコーダ出力で装置を動かします。表示器と測定子は別々に選びます。", "scenes": [ "盤で数字を見たい", "接点で弁やポンプを動かす", "測定子を離れた所に付ける" ] }, { "key": "pirani-active", "name": "一体形（アクティブゲージ）", "how": "測定子と回路が一体で、電圧や通信の信号を装置へ渡す型です。DC24Vなどの電源をつなぐだけで使え、表示器は要るときだけ足します。装置メーカーが組み込むのはこの型が多いです。", "scenes": [ "装置のPLCで圧力を読む", "盤の場所を取りたくない", "継手を選んで直付けする" ] }, { "key": "pirani-combo", "name": "複合形（ほかの真空計と一体）", "how": "ピラニにコールドカソードや静電容量式の真空計を組み合わせた型です。1本で高真空まで、または大気圧近くまで正確に測れます。ゲージを2本付ける場所と手間が減ります。", "scenes": [ "高真空まで1本で見たい", "大気圧近くも正確に見たい", "ポートの数が少ない" ] } ], "columns": [ "図鑑番号", "製品名", "メーカー", "方式", "向いている所", "測定範囲", "精度", "接続", "出力", "表示", "電源", "価格", "大きさ・質量", "センサー", "特長", "公式ページ", "カタログ", "出典", "確認日" ], "rows": [ [ "MZ-41500", "ピラニ真空計 GP-1000G", "株式会社アルバック", "表示器形（測定子は別）", "装置の盤に組む据え置きの表示器", "4.0×10⁻¹〜2.7×10³Pa", "±15%（5.1×10¹〜7.6×10²Pa）", "測定子WP-01・02・03・16・WPBから選ぶ", "DC0〜10V、BCD、RS-232C", "デジタル（LCD）", "AC100〜240V", "記載なし", "0.8kg", "定温度型", "ケーブル長を変えても再校正不要", "https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-gauge/pirani-vacuum-gauge/gp%EF%BD%B01000g.html", "記載なし", "https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-gauge/pirani-vacuum-gauge/gp%EF%BD%B01000g.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-41504", "ピラニ真空計 SW100-A", "株式会社アルバック", "一体形（アクティブゲージ）", "装置に組む小型の測定子一体形", "5×10⁻²Pa〜大気圧", "±10%（1×10⁻¹〜1×10^4Pa）", "NW16、NW25、R1/8、直径18mmほか", "DC0〜10V、log出力", "表示器ISG1かパソコン・スマホで見る", "DC24V（14〜30V）", "記載なし", "約48×30×74mm、約105g", "白金フィラメント", "パソコン・スマホでセットポイントを設定", "https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-gauge/pirani-vacuum-gauge/sw100-a-r.html", "記載なし", "https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-gauge/pirani-vacuum-gauge/sw100-a-r.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-41505", "アクティブピラニゲージ APG200", "エドワーズ株式会社", "一体形（アクティブゲージ）", "半導体の装置に組む小型ゲージ", "大気圧〜5×10⁻⁴mbar", "±15%（100〜1×10⁻³mbar）", "NW16・NW25、CF16、1/8NPT、4VCR・8VCR", "0〜10V、RS232・RS485", "LEDリング", "DC15〜48V", "記載なし", "130g", "標準か耐食のフィラメント", "従来より25%小さい", "https://www.edwardsvacuum.com/content/dam/brands/edwards-vacuum/general-vacuum/downloads/measurement-and-control/indirect-pressure-measurement-gauges/3601-0834-01-APG200-Datasheet.pdf", "記載なし", "https://www.edwardsvacuum.com/content/dam/brands/edwards-vacuum/general-vacuum/downloads/measurement-and-control/indirect-pressure-measurement-gauges/3601-0834-01-APG200-Datasheet.pdf", "2026-10-30" ], [ "MZ-41507", "コールドカソードピラニゲージ M-361CP", "キヤノンアネルバ株式会社", "複合形（ほかの真空計と一体）", "1本で高真空まで見たい装置", "1×10^-7Pa〜大気圧", "記載なし", "NW25、NW40、ICF70", "0〜10V、セットポイント2接点", "表示器M-601GC・603GCをつなぐ", "DC15〜30V、2.4W", "記載なし", "50×50×110mm（NW25）", "ピラニとコールドカソード", "1台で超高真空から大気圧まで", "https://anelva.canon/business/component/vac_detail18.html", "記載なし", "https://anelva.canon/business/component/vac_detail18.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-41506", "ピラニゲージ M-350PG", "キヤノンアネルバ株式会社", "一体形（アクティブゲージ）", "継手を選んで装置に付ける一体形", "5×10⁻²Pa〜大気圧", "±15%（1×10⁻¹〜1×10^4Pa）", "NW16、NW25、ICF34、1/8NPT、直径15mm・18mmのアダプタ", "DC0〜10V", "記載なし", "DC14〜30V、1W", "記載なし", "記載なし", "タングステンフィラメント", "ベーキング150℃、メタルシールは300℃", "https://anelva.canon/business/component/vac_detail02.html", "記載なし", "https://anelva.canon/business/component/vac_detail02.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-41501", "ピラニ真空計 PG-20B", "佐藤真空株式会社", "表示器形（測定子は別）", "パネルに収まる小型の表示器", "1.4×10⁻¹〜6.0×10³Pa", "記載なし", "直径15mmゲージポート（測定子S-222型）", "接点2点、レコーダ出力0〜5V", "デジタル", "AC85〜132V、12VA", "記載なし", "W96×D120×H96mm、1.0kg", "定温度型", "小型で機能を絞った低コストの型", "https://www.satovac.co.jp/products/vacuum_gauges/pirani/pg_20b.html", "記載なし", "https://www.satovac.co.jp/products/vacuum_gauges/pirani/pg_20b.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-41502", "ピラニ真空計 PG-D5A", "佐藤真空株式会社", "表示器形（測定子は別）", "接点を多く使う装置の制御", "0.13Pa〜大気圧", "記載なし", "直径15mmゲージポート（測定子PD-3型）", "接点6点、レコーダ出力DC5V・10V", "デジタルとバーグラフ", "AC100〜240V、30VA", "記載なし", "W144×D220×H96mm、1.8kg", "記載なし", "6点のセットポイントを自由に割り付け", "https://www.satovac.co.jp/products/vacuum_gauges/pirani/pg_d5a.html", "記載なし", "https://www.satovac.co.jp/products/vacuum_gauges/pirani/pg_d5a.html", "2026-10-30" ], [ "MZ-41508", "ピラニ・静電容量複合ゲージ TTR 101", "ライボルト株式会社", "複合形（ほかの真空計と一体）", "大気圧近くの圧力も正確に見たい", "5×10^-5〜1,500mbar", "記載なし", "記載なし", "0〜10V、RS232・RS485、EtherCAT", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "記載なし", "ピラニと静電容量式", "大気圧近くを静電容量式で測る", "https://www.leybold.com/ja-jp/products/vacuum-measurement-and-control/broad-range-vacuum-gauging/thermovac-ttr-pirani-gauges", "記載なし", "https://www.leybold.com/ja-jp/products/vacuum-measurement-and-control/broad-range-vacuum-gauging/thermovac-ttr-pirani-gauges", "2026-10-30" ], [ "MZ-41503", "ピラニ真空計 PG-3F2", "若井田理学株式会社", "表示器形（測定子は別）", "針で見るメーター式の表示器", "2×10⁻¹〜2×10³Pa", "記載なし", "記載なし", "接点2点、レコーダー出力10mV", "メーター（本体と一体）", "AC100V、7W", "記載なし", "W100×H100×D144mm、0.6kg", "特殊ピラニ球（メタル製かガラス製）", "フィラメント断線の信号を出す", "https://wakaida.co.jp/product/pirany/pg-3f2_pg-4f2", "記載なし", "https://wakaida.co.jp/product/pirany/pg-3f2_pg-4f2", "2026-10-30" ] ], "logos": { "ulvac": "https://makerzukan.jp/assets/logo/ulvac.webp", "canon-anelva": "https://makerzukan.jp/assets/logo/canon-anelva.webp", "leybold": "https://makerzukan.jp/assets/logo/leybold.webp", "wakaida": "https://makerzukan.jp/assets/logo/wakaida.webp" } }