ピラニ・静電容量複合ゲージ TTR 101ライボルト株式会社

仕様

向いている所：大気圧近くの圧力も正確に見たい

方式

複合形（ほかの真空計と一体）

測定範囲

5×10^-5〜1,500mbar

精度

—公式資料で確認できず

接続

—公式資料で確認できず

出力

0〜10V、RS232・RS485、EtherCAT

表示

—公式資料で確認できず

電源

—公式資料で確認できず

価格

—公式資料で確認できず

大きさ・⁠⁠⁠質量

—公式資料で確認できず

センサー

ピラニと静電容量式

特長

大気圧近くを静電容量式で測る

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

THERMOVAC TTRシリーズには標準のピラニの型もある。EtherCAT出力は同じページの記載。

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