アクティブピラニゲージ APG200エドワーズ株式会社

仕様

向いている所：半導体の装置に組む小型ゲージ

方式

一体形（アクティブゲージ）

測定範囲

大気圧〜5×10⁻⁴mbar

精度

±15%（100〜1×10⁻³mbar）

接続

NW16・NW25、CF16、1/8NPT、4VCR・8VCR

出力

0〜10V、RS232・RS485

表示

LEDリング

電源

DC15〜48V

価格

—公式資料で確認できず

大きさ・⁠⁠⁠質量

130g

センサー

標準か耐食のフィラメント

特長

従来より25%小さい

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

仕様は英語のデータシートによる。範囲はM（標準）シリーズの値。デジタルの型はnAPG200。

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