真空チャンバーのメーカー8社比較【2026年】

値段を出しているのはサンプラテックとシィアイテクノだけです。サンプラテックのドライチャンバー DC-280が341,000円（標準小売価格）、シィアイテクノのガス置換対応卓上真空装置は排気装置込みで5,000,000〜6,500,000円（税別、参考価格帯）⁠で⁠す⁠。ほかは寸法とポートを伝えて見積もりを取ります。

角型・箱型、超高真空用の円筒・キューブ型、加熱台や排気系の付いた卓上の真空槽に分かれます。北野精機は使い道に合わせて円筒型・角型・球型を作り分け、真空光学の六方キューブチャンバーは6面すべてがフランジです。

主にステンレスを使います。北野精機の超高真空チャンバーはSUS304かSUS316Lが標準です。赤田工業のアルミ真空チャンバーはフタがA5052で、Oリング（V430）でふさぎます。コミヤマエレクトロンはチタン製も作り、2.0E-8Paに届いています。

シィアイテクノのガス置換対応卓上真空装置は1E-4Pa以下、DINOVACの実験用真空チャンバーは10Pa以下です。MSAファクトリーのPH222は100Pa程度で、使う真空ポンプで変わります。超高真空なら、内面を電解研磨してベーキングをかけたチャンバーを選びます。

中を真空にすると、大気圧で1平米あたり10tの力がかかります。大きいほど板の厚さや補強のリブを増やすので、メーカーが強さを計算して作ります。コミヤマエレクトロンは、JIS B 8265で応力を評価しています。

北野精機は、超高真空はICF規格、Oリングを使う高真空のチャンバーはICF・JIS・ISOを使い分けます。赤田工業の角型チャンバーは、JIS・NW(KF)・ICF・テーパーソケットから選べます。ICFフランジは－190℃から＋450℃まで使えます。

注文を受けてから作る製品が多いです。赤田工業のセミオーダー型は、寸法を指定するだけで設計がいらず、問い合わせの翌営業日に見積もりが出ます。サンプラテックとMSAファクトリーは、型番で選べる製品を出しています。

内面をバフ研磨してから電解研磨し、放出ガスを減らします。北野精機の超高真空チャンバーは、バフ研磨（#400）のあと電解研磨し、社内の真空炉で450℃・48時間ベーキングしてから出します。

MSAファクトリーのPH222はホットプレートを組み込み、最高400℃まで加熱できます。透明な胴体のPH222-Tは最高80℃で、試料を見ながら真空脱泡できます。サンプラテックのドライチャンバーは、棚板ごとのヒーターで真空乾燥します。

中にステージや機構を入れるなら、角型のほうが場所をとれます。角型は大きいほど補強のリブで強さを出します。北野精機の超高真空チャンバーは円筒型が標準です。

北野精機は、設計から組立、リークテスト、真空立ち上げまで社内で行います。赤田工業の真空タンクは全品リークテストして出し、NWフランジのものはヘリウムリークディテクターで調べます。コミヤマエレクトロンは、真空性能の評価まで社内で行います。