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VACUUM-CHAMBER / MZ-38322

超高真空(UHV)チャンバー北野精機株式会社

SUS304・SUS316Lで作る、ICFフランジの超高真空用円筒チャンバーです。

2026年10月29日確認

仕様

向いている所:表面分析・蒸着の超高真空実験

種類
超高真空用(円筒・キューブ)
種類・⁠⁠⁠形
円筒型
材質
SUS304、SUS316L
大きさ
ICF規格で直径400、角型で1000mm程度まで
到達圧力
極高真空〜超高真空用
接続・ポート
ICF
検査
社内でリークテスト
価格
—公式資料で確認できず
表面処理
バフ研磨(#400)のあと電解研磨
加熱・ベーキング
450℃、48時間のベーキング
電源
—公式資料で確認できず
付属・オプション
シースヒーター巻き(⁠オプション⁠)

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

受注生産で型番は無い。リークテストは製品案内の真空チャンバーのページによる。

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出典(2026年10月29日確認)

  1. 北野精機株式会社 ⁠⁠⁠公式
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