真空チャンバーとは？研究・成膜・真空試験に使う真空チャンバー（真空容器）の種類（角型・超高真空用・卓上の真空槽）と⁠、材質・到達圧力・フランジ・価格の選び方

真空チャンバーとは

真空チャンバーは、真空装置の中心になる容器です。チャンバーだけでは働かず、真空ポンプを付けて中を真空にし、真空計で圧力を見ます。材質は真空用の材料から選び、主にステンレスを使います。

比較ページには、日本の会社が自社で作る真空チャンバーを、代表の型の単位で載せています。注文を受けてから作る製品が多い分野なので、セミオーダー品と、公式ページに仕様がある製作品も載せました。真空ポンプ、ゲートバルブ、成膜装置一式は載せていません。

3つの種類

• 角型・箱型は、扉やふたを開けて出し入れする型です。赤田工業の蝶番開閉タイプや、サンプラテックのドライチャンバー DC-280 があります
• 超高真空用は、ICFフランジで組み、内面を電解研磨してベーキングをかける型です。北野精機の超高真空チャンバー、コミヤマエレクトロンのチタン製、真空光学の六方キューブチャンバーがあります
• 卓上・実験用の真空槽は、ホットプレートや排気装置まで組み合わせた型です。MSAファクトリーのPH222とPH222-T、シィアイテクノのガス置換対応卓上真空装置、DINOVACの実験用真空チャンバーがあります

材質の違い

• ステンレスがいちばん多く、北野精機の超高真空チャンバーはSUS304かSUS316Lが標準です
• 赤田工業のアルミ真空チャンバーは、フタがA5052で、Oリングでふさぎます
• コミヤマエレクトロンはチタン製も作り、2.0E-8Paに届いた実績があります。チタンは耐食性にも優れます

到達圧力（真空度）

• シィアイテクノのガス置換対応卓上真空装置は、1E-4Pa以下まで引けます
• DINOVACの実験用真空チャンバーは、10Pa以下です
• MSAファクトリーのPH222は100Pa程度、PH222-Tは70Pa程度で、使う真空ポンプで変わります
• 超高真空にするなら、内面の研磨とベーキングまで済ませたチャンバーを選びます

フランジと接続口

• 北野精機は、超高真空ではICF規格、Oリングを使う高真空のチャンバーではICF・JIS・ISOを使い分けます
• 赤田工業の角型チャンバーは、JIS・NW(KF)・ICF・テーパーソケットから選べます
• ICFフランジは、－190℃から＋450℃まで使えます

強度と放出ガス

• 中を真空にすると、大気圧で1平米あたり10tの力がかかります。大きいほど板の厚さや補強のリブを増やします
• 真空の妨げになるのは、壁と素材から出る放出ガスです。内面をバフ研磨してから電解研磨して減らします
• 北野精機の超高真空チャンバーは、社内の真空炉で450℃・48時間ベーキングしてから出します

頼み方と値段

• 赤田工業のセミオーダー型は、寸法を指定するだけで設計がいらず、問い合わせの翌営業日に見積もりが出ます
• 値段を公式に出しているのは2社です。サンプラテックのドライチャンバー DC-280は341,000円（標準小売価格）、シィアイテクノのガス置換対応卓上真空装置は排気装置込みで5,000,000〜6,500,000円（税別、参考価格帯）⁠で⁠⁠⁠⁠す
• ほかの会社は、寸法・材質・ポートの数と向きを伝えて見積もりを取ります