ピラニ真空計とは？真空装置で使うピラニゲージの種類（表示器形・一体形・複合形）と⁠、測定範囲・出力・継手の選び方

ピラニ真空計とは

ピラニ真空計は、加熱したフィラメントに気体分子が当たって熱を奪う量から、圧力を読む熱伝導形の真空計です。大気圧から10⁻²Pa台までを見られ、真空ポンプの粗引きの見張りや、弁とポンプの切り替えに使います。

比較ページには、日本の会社か日本法人のある会社が自社で作るピラニ真空計を、各社の代表の型の単位で載せています。電離真空計・隔膜真空計だけの製品、測定子だけの交換部品、中古品は載せていません。

3つの種類

• 表示器形は、測定子をケーブルでつなぎ、盤の表示器で数字を見ます。例はアルバックの GP-1000G、佐藤真空の PG-D5A と PG-20B、若井田理学の PG-3F2 ⁠⁠です
• 一体形（アクティブゲージ）は⁠、測定子と回路が一体で、電圧や通信の信号を装置へ渡します。例はアルバックの SW100-A、キヤノンアネルバの M-350PG、エドワーズの APG200 ⁠⁠⁠です
• 複合形は、ピラニにほかの真空計を組み合わせます。キヤノンアネルバの M-361CP はコールドカソード、ライボルトの TTR 101 は静電容量式と組んでいます

測定範囲

• アルバックの SW100-A と、キヤノンアネルバの M-350PG は、5×10⁻²Paから大気圧まで測れます
• アルバックの GP-1000G は、4.0×10⁻¹〜2.7×10³Paです
• 佐藤真空の PG-D5A は、大気圧から0.13Paまでを数字とバーグラフで見せます
• 複合形の M-361CP は、1×10^-7Paから大気圧まで1本で測れます

気をつけること

• 標準のピラニは、100mbarより上で精度が落ちます。大気圧近くも正確に見たいなら、ライボルトの TTR 101 のような複合形を選びます
• 値はガスの種類で変わります。アルバックの SW100-A の精度は窒素で合わせた値で、ほかのガスでは誤差が出ます
• 表示器形は、測定子とケーブルを別に選びます

出力と継手

• 出力は、DC0〜10Vのアナログが多いです。エドワーズの APG200 は RS232・RS485、ライボルトの TTR 101 は EtherCAT も選べます
• 佐藤真空の PG-D5A は、接点を6点まで自由に割り付けられます
• 継手は NW16・NW25 が多く、キヤノンアネルバの M-350PG は1/8NPTやICF34も選べます

手入れと値段

• 若井田理学の解説では、ピラニ球のフィラメントは大気圧でスイッチを入れても支障がなく、長く使っても経年変化がほとんどありません
• アルバックの SW100-A は、測定子を替えやすく、大気圧とゼロ点の調整をワンタッチでできます
• このページの9製品は、どれも公式に値段を出していません。型式と測定子・継手・出力を決めて、メーカーに見積もりを頼みます