口コミを書く
イメージ

真空計隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

キャパシタンスマノメータ VG-200S

株式会社堀場エステック

堀場エステックの、自己温調型のキャパシタンスマノメータです。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
向いている所
半導体のプロセス圧力を測る
カタログ
あり（PDF）
公式の製品ページを見るカタログ（PDF）比較表で見る

比較表での位置

キャパシタンスマノメータ VG-200Sは、真空計のメーカー8社比較⁠の方式が隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）の6製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 11製品比較表の製品
  • 6製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
比較表を見る

キャパシタンスマノメータ VG-200S​の強みと方式

SUS316Lのダイヤフラムで測る、半導体の装置向けのキャパシタンスマノメータです。常温形は、フルスケール1.3332〜133.32kPaで精度は読み値の0.25%です。非加熱・55℃・100℃の温調から選べます。

向いている所半導体のプロセス圧力を測る

方式：隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。圧力そのものを測るので、ガスの種類で値が変わりません。成膜やエッチングのプロセス圧力の管理に使います。

キャパシタンスマノメータ VG-200S​の仕様

方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲
フルスケール1.3332〜133.32kPa
精度
読み値の0.25%、1.3332kPa以上
接続
KF16、1/2インチVCR、1/4インチVCR、ICF34
出力
DC0〜10V
電源
DC±15V、DC24V、2.4W以下
価格
—公式資料で確認できず
大きさ・質量
—公式資料で確認できず
センサー
SUS316Lダイヤフラム
特長
非加熱・55℃・100℃温調から選べる

値は常温形のVG-211Sのもの。温調付きはVG-221S。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

キャパシタンスマノメータ VG-200S株式会社堀場エステックキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100ライボルト株式会社サファイア隔膜真空計 V8Sアズビル株式会社
方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲フルスケール1.3332〜133.32kPaフルスケール0.1〜1000Torrフルスケール100kPaまで、絶対圧
精度読み値の0.25%、1.3332kPa以上読み値の最大0.12%読み値の0.5%、レンジの10%FS以上
接続KF16、1/2インチVCR、1/4インチVCR、ICF34—公式資料で確認できずフジキン製UJR-9.52N-CT、UJR-6.35N-CT
出力DC0〜10V0〜10V、RS232DC0〜10V
電源DC±15V、DC24V、2.4W以下—公式資料で確認できずDC±15V両電源、DC24V単電源
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ・質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずゲージヘッド0.41kg、コントロールユニット0.61kg
センサーSUS316Lダイヤフラムインコネルのダイヤフラム単結晶サファイアの隔膜
特長非加熱・55℃・100℃温調から選べる一時的な圧力バーストに耐える最高使用温度250℃

真空計の11製品を比較表で見る

キャパシタンスマノメータ VG-200S​のよくある質問

Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sはどんな人に向いている？
キャパシタンスマノメータ VG-200Sは、半導体のプロセス圧力を測る人向けです。キャパシタンスマノメータ VG-200Sは、SUS316Lのダイヤフラムで測る、半導体の装置向けのキャパシタンスマノメータです。
Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sの強みは？
キャパシタンスマノメータ VG-200Sの常温形は、フルスケール1.3332〜133.32kPaで精度は読み値の0.25%です。非加熱・55℃・100℃の温調から選べます。
Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sはどんな方式？
キャパシタンスマノメータ VG-200Sの方式は隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）で⁠す⁠。隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。
Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sの主な仕様は？
キャパシタンスマノメータ VG-200Sの測定範囲はフルスケール1.3332〜133.32kPa、精度は読み値の0.25%、1.3332kPa以上です。接続はKF16、1/2インチVCR、1/4インチVCR、ICF34、出力はDC0〜10Vです。
Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sとキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100はどっちがいい？
半導体のプロセス圧力を測るならキャパシタンスマノメータ VG-200S、腐食性ガスのプロセス圧力ならライボルトのキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100です。キャパシタンスマノメータ VG-200Sの測定範囲はフルスケール1.3332〜133.32kPa、精度は読み値の0.25%、1.3332kPa以上です。ライボルトのキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の測定範囲はフルスケール0.1〜1000Torr、精度は読み値の最大0.12%です。
Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sの電源は？
キャパシタンスマノメータ VG-200Sの電源はDC±15V、DC24V、2.4W以下です。アズビルのサファイア隔膜真空計 V8Sの電源はDC±15V両電源、DC24V単電源です。
Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sのセンサーは？
キャパシタンスマノメータ VG-200SのセンサーはSUS316Lダイヤフラムです。ライボルトのキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100のセンサーはインコネルのダイヤフラムです。
Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sの特長は？
キャパシタンスマノメータ VG-200Sの特長は非加熱・55℃・100℃温調から選べる。ライボルトのキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の特長は一時的な圧力バーストに耐える。
Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sとサファイア隔膜真空計 V8Sはどっちがいい？
半導体のプロセス圧力を測るならキャパシタンスマノメータ VG-200S、高温の成膜装置で圧力を測るならアズビルのサファイア隔膜真空計 V8Sです。キャパシタンスマノメータ VG-200Sの測定範囲はフルスケール1.3332〜133.32kPa、精度は読み値の0.25%、1.3332kPa以上です。アズビルのサファイア隔膜真空計 V8Sの測定範囲はフルスケール100kPaまで、絶対圧、精度は読み値の0.5%、レンジの10%FS以上です。
Q.キャパシタンスマノメータ VG-200Sはどこのメーカー？
キャパシタンスマノメータ VG-200Sは株式会社堀場エステックの製品です。登記上の本店は〒601-8116 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11番地5。堀場エステックの主な製品分野はマスフローコントローラ・真空計です。

口コミ

キャパシタンスマノメータ VG-200Sの口コミは、まだありません。
使ったことがある方は、満足度・コスト・納期などを☆で教えてください。製品を選ぶ人の参考になります。

    最初の口コミを書く

    口コミの掲載基準・削除のご依頼

    同じ分類のほかの型番

    イメージ
    真空計

    ペニング真空計 CR-1N

    佐藤真空株式会社

    フィラメントの無い冷陰極放電で測る卓上のペニング真空計で、大気圧でスイッチを入れても故障しません。

    比較表で見る

    同じメーカーのほかの製品株式会社堀場エステック

    出典
    1. 株式会社堀場エステック 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
    比較記事にしてほしい製品の依頼はこちら👉