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MASS-FLOW-CONTROLLER / MZ-40543

デジタルマスフローコントローラ SEC-Z500X株式会社堀場エステック

5SCCM〜500SLMをそろえる熱式のデジタルマスフローコントローラ。

2026年10月30日確認

仕様

向いている所：半導体のガスパネルで幅広い流量を1機種で

方式
熱式・メタルシール
流量レンジ
5SCCM〜500SLM
精度
±1.0%S.P.
応答
フルレンジ1秒以内
通信
デジタル・アナログ、DeviceNet、EtherCAT
継手・シール
1/4VCR（50SLM以下）、面間106mm
価格
—公式資料で確認できず
使用温度
—公式資料で確認できず
圧力
—公式資料で確認できず
ガス・⁠⁠⁠流体
ガス種とフルスケール流量を手元で変更

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

マスフローメータの型もある。

口コミ

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出典（2026年10月30日確認）

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