マスフローコントローラのメーカー8社比較【2026年】

供給圧力が揺れても流量を保つPI機能を持つ、メタルシールのマスフローコントローラです。EP処理と酸化被膜処理で腐食性のガスにも使えます。ガスパネルに載せる形で、Wシール・Cシール継手から選べます。

ロータリースイッチでガス種を切り替えられる、メタルシールのデジタルマスフローコントローラです。最大流量は10SCCM〜5SLMの小流量向けで、精度は±1%S.P.です。電源は±15VDCと24VDCから選べます。

MultiFloで、取り外したり校正し直したりせずに、ガスとレンジを60秒以下で設定し直せるメタルシールのマスフローコントローラです。標準品は3sccm〜55slpm、大流量の型は300slpmまで扱えます。高清浄度・超高清浄度のプロセスガス向けです。

ガス種とフルスケール流量を使う側で変えられる、熱式のデジタルマスフローコントローラです。5SCCMから500SLMまでを同じ形でそろえられ、予備品を減らせます。接ガス部はオールステンレスで、内面研磨が標準です。

周囲温度補償式のセンサで、センサの熱による劣化を抑えたデジタルマスフローコントローラです。オゾンのように分解しやすいガスでも流量を制御できます。液化ガス対応や微小流量のフルスケールはオプションで選べます。

大型LEDと液晶表示で、制御の状態を目で見て分かるマスフローコントローラです。0.3sで応答し、複数のガスを同時に変えてもガスの比率を保てます。燃料ガスのように低圧で来るガスも制御できます。

キャピラリを使わないストレート流路で、供給圧力が低くても制御できる熱式のマスフローコントローラです。300msの速さで設定の変化に追いつきます。一体形表示と分離形表示のモデルから、置き場所に合わせて選べます。

流路の全部を通す全量通過方式の流量計とコントロールバルブを組み合わせた、熱式のマスフローコントローラです。フルスケールは2〜800L/min(nor)の大きめの流量に向きます。つなぎ方はRcネジとSWです。

0.003〜2500slpmの幅広い流量を、1つの型でまかなえるエラストマーシールのマスフローコントローラです。EtherNet/IPやPROFINETなど通信の選び肢が多く、今ある設備に組み込みやすくなっています。精度は最大±0.6%S.P.⁠⁠⁠です。

約100種類のガスのデータを中に持ち、使うガスを切り替えられる実験室向けのマスフローコントローラです。反応性のガスも扱え、100bar(g)までの圧力で使えます。圧力の変化をその場で補正する型も選べます。

供給圧力が変わっても制御する流量が影響を受けない、圧力式の流量制御装置です。応答は0.5秒以下で、取り付ける向きにも左右されません。流量の自己診断の機能を持っています。

差圧を見て流量を決める方式で、急な圧力の変動があっても流量を保つ先端プロセス向けのモジュールです。各ガスラインの圧力制御を省いた設計にでき、ガスラインを簡単にできます。自己診断の機能も持っています。

熱式の液体用流量センサとピエゾのバルブを一体にした、液体用のマスフローコントローラです。ポンプのような脈動が出ず、真空の装置へも二次圧に左右されずに液体を送れます。LC-3102Lは0.1〜1.0g/minの微小流量向けです。