メタルシールマスフローコントローラ GF100ITWジャパン株式会社 ブルックス⁠・インスツルメント

仕様

向いている所：高清浄の半導体プロセスガス

方式

熱式・メタルシール

流量レンジ

3sccm〜300slpm

精度

±1%S.P.、35%未満は±0.35%F.S.

応答

セトリングタイム300ms〜1秒以下

通信

RS-485、DeviceNet、アナログ

継手・シール

メタルシール

価格

—公式資料で確認できず

使用温度

10〜50℃

圧力

最大500psi

ガス・⁠⁠⁠流体

ガスとレンジを60秒以下で設定し直せる

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

GF100シリーズ（標準品と大流量品）。

同じ分類のほかの型番

マスフローコントローラの13製品を比較表で見る

ITWジャパン株式会社 ブルックス⁠・インスツルメントのほかの製品