デジタルマスフローコントローラ MC-3000L株式会社リンテック

仕様

向いている所：オゾンや液化ガスなど扱いにくいガス

方式

熱式・メタルシール

流量レンジ

5SCCM〜400SLM

精度

±1%S.P.、制御範囲2〜100%F.S.

応答

—公式資料で確認できず

通信

RS-485

継手・シール

メタルシール

価格

—公式資料で確認できず

使用温度

5〜50℃

圧力

差圧50〜300kPa

ガス・⁠⁠⁠流体

オゾンなど分解しやすいガスにも使える

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

シールはAu。最高使用温度はオプションで55℃。

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