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MASS-FLOW-CONTROLLER / MZ-40552

液体マスフローコントローラ LC-3000L株式会社リンテック

液体の質量流量を脈動なく制御するMFC。

2026年10月30日確認

仕様

向いている所:真空装置へ液体を脈動なく送る

方式
液体用
流量レンジ
0.1〜1.0g/min(LC-3102L)
精度
±1.0%F.S.(LC-3102L)
応答
—公式資料で確認できず
通信
RS-485
継手・シール
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
使用温度
15〜35℃
圧力
差圧50〜300kPa
ガス・⁠⁠⁠流体
液体(フルスケールは液種で変わる)

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

LC-3702Lは最大30g/minで精度±2.0%F.S.。

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出典(2026年10月30日確認)

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