デジタルマスフローコントローラ EX-550コフロック株式会社

仕様

向いている所：小流量のガスを細かく合わせたい装置

方式

熱式・メタルシール

流量レンジ

10SCCM〜5SLM

精度

±1%S.P.、25%F.S.未満は±0.25%F.S.

応答

全流量制御範囲で1秒以内

通信

RS485、アナログ0-5VDC・4-20mA

継手・シール

メタルシール

価格

—公式資料で確認できず

使用温度

—公式資料で確認できず

圧力

—公式資料で確認できず

ガス・⁠⁠⁠流体

ロータリースイッチでガス種を切り替え

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

マスフローメータの型もある。

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