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MASS-FLOW-CONTROLLER / MZ-40541

PIマスフローコントローラ ST-500コフロック株式会社

圧力変動に強いPI機能つきのメタルシールMFC。

2026年10月30日確認

仕様

向いている所：腐食性ガスを圧力変動の中で流す

方式
熱式・メタルシール
流量レンジ
10SCCM〜30SLM
精度
±1%S.P.、10%F.S.未満は±0.1%F.S.
応答
全流量制御範囲で1秒以内
通信
DeviceNet、EtherCAT、RS485（ST-550だけ）
継手・シール
ガスパネルマウント、Wシール・Cシール継手
価格
—公式資料で確認できず
使用温度
—公式資料で確認できず
圧力
圧力変動に強いPI機能
ガス・⁠⁠⁠流体
EP処理と酸化被膜処理で腐食性のガスに使える

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

ST-550はRS485つき。PI機能はST-500だけ。

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出典（2026年10月30日確認）

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