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MASS-FLOW-CONTROLLER / MZ-40550

フローコントロールシステム FCSP7000株式会社フジキン

供給圧力の変動に影響されない圧力式の流量制御装置。

2026年10月30日確認

仕様

向いている所：供給圧力が揺れる特殊材料ガスのライン

方式
圧力式
流量レンジ
10SCCM〜10SLM（標準タイプ）
精度
—公式資料で確認できず
応答
0.5秒以下
通信
DeviceNet、アナログ入出力
継手・シール
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
使用温度
最高50℃
圧力
供給圧力250〜898.7kPaG（標準タイプ）
ガス・⁠⁠⁠流体
N2校正のままフローファクターで多くのガスに使える

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

低圧タイプ(AS)・(B)もある。

口コミ

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出典（2026年10月30日確認）

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