マスフローモジュール CRITERION D500株式会社堀場エステック

仕様

向いている所：圧力が揺れる先端プロセスのガスライン

方式

圧力式

流量レンジ

10SCCM〜50SLM

精度

±1%S.P.

応答

0.8秒以内

通信

デジタル・アナログ、DeviceNet、EtherCAT

継手・シール

—公式資料で確認できず

価格

—公式資料で確認できず

使用温度

—公式資料で確認できず

圧力

供給圧力レンジを手元で変更

ガス・⁠⁠⁠流体

ガス種とフルスケール流量を手元で変更

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

差圧検出方式。自己診断機能G-Lifeつき。

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