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MASS-FLOW-CONTROLLER / MZ-40549

マスフローコントローラ EL-FLOW PrestigeBronkhorst Japan K.K.

ガスのデータを内蔵した実験室向けのハイエンドMFC。

2026年10月30日確認

仕様

向いている所:研究室で反応性ガスを含め何種類も流す

方式
熱式・一般産業と研究用
流量レンジ
0.014mln/min〜100ln/min
精度
±0.5%Rd+±0.1%FS
応答
—公式資料で確認できず
通信
—公式資料で確認できず
継手・シール
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
使用温度
-10〜70℃
圧力
最大100bar(g)
ガス・⁠⁠⁠流体
約100種類のガスのデータを内蔵

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

EL-FLOW Selectシリーズの上級版。メータの型もある。

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出典(2026年10月30日確認)

  1. Bronkhorst Japan K.K. ⁠⁠⁠公式
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