マスフローコントローラ SLA5800ITWジャパン株式会社 ブルックス⁠・インスツルメント

仕様

向いている所：化学・研究で流量の幅が広いガス

方式

熱式・一般産業と研究用

流量レンジ

0.003〜2500slpm

精度

最大±0.6%S.P.、20%F.S.未満は±0.12%F.S.

応答

—公式資料で確認できず

通信

RS485、DeviceNet、EtherCAT、Profibus、EtherNet/IP、PROFINET、アナログ

継手・シール

エラストマーシール

価格

—公式資料で確認できず

使用温度

-14〜50℃

圧力

最大1500psi

ガス・⁠⁠⁠流体

—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

マスフローメータの型もある。

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