{
 "title": "マスフローコントローラのメーカー比較",
 "source": "https://makerzukan.jp/c/keisoku/mass-flow-controller/",
 "publisher": "メーカー図鑑",
 "license": "出典（メーカー図鑑・URL）を明記すれば引用可",
 "updated": "2026-10-30",
 "definition": "マスフローコントローラは、ガスや液体の質量流量を測りながら、決めた流量に保つ機器です。",
 "findings": [
  "値段を出しているメーカーは8社中1社もありません。どれも寸法を伝えて見積もりを取ります。",
  "方式ごとの製品数は、熱式・メタルシール 5・熱式・一般産業と研究用 5・圧力式 2・液体用 1です。",
  "応答の速さを公式に書いているのは、13製品中8製品です。",
  "精度を公式に書いているのは11製品です。",
  "通信の方式を公式に書いているのは10製品です。",
  "使用温度を公式に書いているのは9製品です。"
 ],
 "types": [
  {
   "key": "mfc-metal",
   "name": "熱式・メタルシール",
   "how": "熱式のセンサで質量流量を測り、つなぎ目を金属でふさいだ型です。半導体製造装置のガスパネルに載せる前提で、面間や継手がそろえてあります。高い清浄度が求められるプロセスガスに使います。",
   "scenes": [
    "半導体のガスパネル",
    "腐食性・特殊材料のガス",
    "高い清浄度のプロセス"
   ]
  },
  {
   "key": "mfc-general",
   "name": "熱式・一般産業と研究用",
   "how": "熱式のセンサで測る、工場や研究室向けの型です。低い供給圧力で動く型や、表示つきの型、ガスのデータを内蔵した型があります。燃料ガス・窒素・空気などを一定に流す用途に使います。",
   "scenes": [
    "工業炉や燃焼の燃料ガス",
    "研究室の実験装置",
    "供給圧力の低いライン"
   ]
  },
  {
   "key": "mfc-pressure",
   "name": "圧力式",
   "how": "圧力や差圧を見て流量を決める型です。供給圧力が変わっても流量が揺れにくく、ガスラインの圧力制御を省いた設計にできます。半導体の先端プロセスで使います。",
   "scenes": [
    "供給圧力が揺れるライン",
    "圧力調整器を減らしたい",
    "先端の半導体プロセス"
   ]
  },
  {
   "key": "mfc-liquid",
   "name": "液体用",
   "how": "液体の質量流量を測り、バルブで決めた流量に保つ型です。ポンプのような脈動が出ず、真空の装置へも液体を送れます。気化器と組み合わせて、液体の原料を送るのに使います。",
   "scenes": [
    "液体原料を微量で送る",
    "真空装置への送液",
    "脈動を嫌う実験"
   ]
  }
 ],
 "columns": [
  "図鑑番号",
  "製品名",
  "メーカー",
  "方式",
  "向いている所",
  "流量レンジ",
  "精度",
  "応答",
  "通信",
  "継手・シール",
  "価格",
  "使用温度",
  "圧力",
  "ガス・流体",
  "公式ページ",
  "カタログ",
  "出典",
  "確認日"
 ],
 "rows": [
  [
   "MZ-40545",
   "デジタルマスフローコントローラ F4Q",
   "アズビル株式会社",
   "熱式・一般産業と研究用",
   "工業炉まわりの燃料ガスの制御",
   "記載なし",
   "±1%S.P.",
   "0.3s",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "-10〜60℃",
   "低差圧構造",
   "燃料ガスなど低圧で来るガス",
   "https://aa-industrial.azbil.com/ja/products/flow-sensor/mass-flow-controller/f4q",
   "記載なし",
   "https://aa-industrial.azbil.com/ja/products/flow-sensor/mass-flow-controller/f4q",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40546",
   "デジタルマスフローコントローラ MQV",
   "アズビル株式会社",
   "熱式・一般産業と研究用",
   "供給圧力の低い工場のガスライン",
   "5ml/min〜500L/min",
   "記載なし",
   "300ms",
   "PCローダ通信",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "-10〜60℃",
   "低差圧で制御できるストレート流路",
   "記載なし",
   "https://aa-industrial.azbil.com/ja/products/flow-sensor/mass-flow-controller/mqv",
   "記載なし",
   "https://aa-industrial.azbil.com/ja/products/flow-sensor/mass-flow-controller/mqv",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40541",
   "PIマスフローコントローラ ST-500",
   "コフロック株式会社",
   "熱式・メタルシール",
   "腐食性ガスを圧力変動の中で流す",
   "10SCCM〜30SLM",
   "±1%S.P.、10%F.S.未満は±0.1%F.S.",
   "全流量制御範囲で1秒以内",
   "DeviceNet、EtherCAT、RS485（ST-550だけ）",
   "ガスパネルマウント、Wシール・Cシール継手",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "圧力変動に強いPI機能",
   "EP処理と酸化被膜処理で腐食性のガスに使える",
   "https://www.kofloc.co.jp/product/product-4653/",
   "記載なし",
   "https://www.kofloc.co.jp/product/product-4653/",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40540",
   "デジタルマスフローコントローラ EX-550",
   "コフロック株式会社",
   "熱式・メタルシール",
   "小流量のガスを細かく合わせたい装置",
   "10SCCM〜5SLM",
   "±1%S.P.、25%F.S.未満は±0.25%F.S.",
   "全流量制御範囲で1秒以内",
   "RS485、アナログ0-5VDC・4-20mA",
   "メタルシール",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "ロータリースイッチでガス種を切り替え",
   "https://www.kofloc.co.jp/product/product-1072/",
   "記載なし",
   "https://www.kofloc.co.jp/product/product-1072/",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40547",
   "サーマルマスフローコントローラ TC-3000",
   "東京計装株式会社",
   "熱式・一般産業と研究用",
   "工場の大流量の気体を一定に流す",
   "F.S.2〜800L/min(nor)",
   "±2%F.S.",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "Rcネジ、SW",
   "記載なし",
   "5〜50℃",
   "0.98MPa以下",
   "気体全般",
   "https://www.tokyokeiso.co.jp/products/items.html?pdid=133",
   "記載なし",
   "https://www.tokyokeiso.co.jp/products/items.html?pdid=133",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40550",
   "フローコントロールシステム FCSP7000",
   "株式会社フジキン",
   "圧力式",
   "供給圧力が揺れる特殊材料ガスのライン",
   "10SCCM〜10SLM（標準タイプ）",
   "記載なし",
   "0.5秒以下",
   "DeviceNet、アナログ入出力",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "最高50℃",
   "供給圧力250〜898.7kPaG（標準タイプ）",
   "N2校正のままフローファクターで多くのガスに使える",
   "https://www.fujikin.co.jp/ja/product/products/detail/8861",
   "記載なし",
   "https://www.fujikin.co.jp/ja/product/products/detail/8861",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40548",
   "マスフローコントローラ SLA5800",
   "ITWジャパン株式会社 ブルックス・インスツルメント",
   "熱式・一般産業と研究用",
   "化学・研究で流量の幅が広いガス",
   "0.003〜2500slpm",
   "最大±0.6%S.P.、20%F.S.未満は±0.12%F.S.",
   "記載なし",
   "RS485、DeviceNet、EtherCAT、Profibus、EtherNet/IP、PROFINET、アナログ",
   "エラストマーシール",
   "記載なし",
   "-14〜50℃",
   "最大1500psi",
   "記載なし",
   "https://www.brooksinstrument.com/ja/product/sla5800-series?hsLang=ja",
   "記載なし",
   "https://www.brooksinstrument.com/ja/product/sla5800-series?hsLang=ja",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40542",
   "メタルシールマスフローコントローラ GF100",
   "ITWジャパン株式会社 ブルックス・インスツルメント",
   "熱式・メタルシール",
   "高清浄の半導体プロセスガス",
   "3sccm〜300slpm",
   "±1%S.P.、35%未満は±0.35%F.S.",
   "セトリングタイム300ms〜1秒以下",
   "RS-485、DeviceNet、アナログ",
   "メタルシール",
   "記載なし",
   "10〜50℃",
   "最大500psi",
   "ガスとレンジを60秒以下で設定し直せる",
   "https://www.brooksinstrument.com/ja/product/gf100-series-high-flow?hsLang=ja",
   "記載なし",
   "https://www.brooksinstrument.com/ja/product/gf100-series-high-flow?hsLang=ja",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40549",
   "マスフローコントローラ EL-FLOW Prestige",
   "Bronkhorst Japan K.K.",
   "熱式・一般産業と研究用",
   "研究室で反応性ガスを含め何種類も流す",
   "0.014mln/min〜100ln/min",
   "±0.5%Rd+±0.1%FS",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "-10〜70℃",
   "最大100bar(g)",
   "約100種類のガスのデータを内蔵",
   "https://www.bronkhorst.com/ja/製品/ガス流量/el-flow-prestige/",
   "記載なし",
   "https://www.bronkhorst.com/ja/製品/ガス流量/el-flow-prestige/",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40543",
   "デジタルマスフローコントローラ SEC-Z500X",
   "株式会社堀場エステック",
   "熱式・メタルシール",
   "半導体のガスパネルで幅広い流量を1機種で",
   "5SCCM〜500SLM",
   "±1.0%S.P.",
   "フルレンジ1秒以内",
   "デジタル・アナログ、DeviceNet、EtherCAT",
   "1/4VCR（50SLM以下）、面間106mm",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "ガス種とフルスケール流量を手元で変更",
   "https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/detail/action/show/Product/sec-z500x-series-729/",
   "記載なし",
   "https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/detail/action/show/Product/sec-z500x-series-729/",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40551",
   "マスフローモジュール CRITERION D500",
   "株式会社堀場エステック",
   "圧力式",
   "圧力が揺れる先端プロセスのガスライン",
   "10SCCM〜50SLM",
   "±1%S.P.",
   "0.8秒以内",
   "デジタル・アナログ、DeviceNet、EtherCAT",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "供給圧力レンジを手元で変更",
   "ガス種とフルスケール流量を手元で変更",
   "https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/detail/action/show/Product/criterion-d500-635/",
   "記載なし",
   "https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/products/detail/action/show/Product/criterion-d500-635/",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40544",
   "デジタルマスフローコントローラ MC-3000L",
   "株式会社リンテック",
   "熱式・メタルシール",
   "オゾンや液化ガスなど扱いにくいガス",
   "5SCCM〜400SLM",
   "±1%S.P.、制御範囲2〜100%F.S.",
   "記載なし",
   "RS-485",
   "メタルシール",
   "記載なし",
   "5〜50℃",
   "差圧50〜300kPa",
   "オゾンなど分解しやすいガスにも使える",
   "https://lintec-mfc.co.jp/mass-flow-controller/gas/mc-3000l/",
   "記載なし",
   "https://lintec-mfc.co.jp/mass-flow-controller/gas/mc-3000l/",
   "2026-10-30"
  ],
  [
   "MZ-40552",
   "液体マスフローコントローラ LC-3000L",
   "株式会社リンテック",
   "液体用",
   "真空装置へ液体を脈動なく送る",
   "0.1〜1.0g/min（LC-3102L）",
   "±1.0%F.S.（LC-3102L）",
   "記載なし",
   "RS-485",
   "記載なし",
   "記載なし",
   "15〜35℃",
   "差圧50〜300kPa",
   "液体（フルスケールは液種で変わる）",
   "https://lintec-mfc.co.jp/mass-flow-controller/liquid/lc-3000l-series/",
   "記載なし",
   "https://lintec-mfc.co.jp/mass-flow-controller/liquid/lc-3000l-series/",
   "2026-10-30"
  ]
 ],
 "logos": {
  "azbil": "https://makerzukan.jp/assets/logo/azbil.webp",
  "kofloc": "https://makerzukan.jp/assets/logo/kofloc.webp",
  "tokyo-keiso": "https://makerzukan.jp/assets/logo/tokyo-keiso.webp",
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