GUIDE / MASS-FLOW-CONTROLLERマスフロー
マスフローコントローラ とは？熱式・圧力式・液体用の種類と違い、流量レンジ・精度・通信・継手の選び方
ガスや液体の
この
マスフロー
マスフローコントローラ とは
マスフロー
比較ページには、
マスフローメータ との違い
- マスフロー
メータは、 質量流量センサで 測った 流量を 出すだけです - マスフロー
コントローラは、 その 流量を もとに 中の 制御バルブを PID制御で 動かし、 決めた 流量に 保ちます - コフロックの
EX-550や ブルックスの GF100は、 同じ シリーズで メータの 型も 出しています
4つの方式
- 熱式・
メタルシールは、 半導体の ガスパネル 向けです。 堀場エステックの SEC-Z500X、 コフロックの EX-550と ST-500、 リンテックの MC-3000L、 ブルックスの GF100が この 型です - 熱式・
一般産業と 研究用は、 工場や 研究室向けです。 アズビルの MQVと F4Q、 ブルックスの SLA5800、 ブロンコストの EL-FLOW Prestige、 東京計装の TC-3000が この 型です - 圧力式は、
供給圧力が 変わっても 流量が 揺れに くい型です。 フジキンの FCSP7000と、 差圧検出方式の 堀場エステックの CRITERION D500が この 型です - 液体用は、
液体の 質量流量を 保つ型です。 リンテックの LC-3000Lは、 熱式の 液体用センサと ピエゾの バルブを 一体に しています
流量の単位とフルスケール
- SCCMは、
0℃ 1気圧を 標準とした 1分あたりの 流量です。 SLMは SCCMの 1000倍です - 基準の
温度が 違う 単位も あるので、 仕様書の 条件を 見ます。 東京計装の TC-3000は、 L/min(nor)で 書いています - 堀場エステックの
SEC-Z500Xは、 5SCCMから 500SLMまで そろえています - リンテックの
MC-3000Lは 5SCCMから 400SLMまで、 コフロックの EX-550は 10SCCMから 5SLMまでです
精度と応答の見方
- ％S.P.は
設定した 流量に 対する 割合、 ％F.S.は フルスケールに 対する 割合です。 ％F.S.の 型は、 小さい 流量ほど 誤差の 割合が 大きくなります - 堀場エステックの
SEC-Z500Xは±1.0%S.P.、 東京計装の TC-3000は±2%F.S.です - 応答は、
アズビル のF4Qが 0.3s、 MQVが 300ms、 フジキンの FCSP7000が 0.5秒以下、 CRITERION D500が 0.8秒以内です
通信と継手
- 通信は、
アナログのほか RS-485・ DeviceNet・ EtherCATなどから 選びます。 ブルックスの SLA5800は、 EtherNet/IPや PROFINETも 選べます - 配管は
直径1/4inch （約6.35mm）が よく 使われ、 継手は 主に VCRタイプと Swagelokの チューブ継手です - 堀場エステックの
SEC-Z500Xは、 50SLM以下で 1/4VCRです。 東京計装の TC-3000は、 Rcネジと SWです
取り付けと使い始め
- 配管を
つないで リークチェックを し、 電源を 入れて ゼロ点の ずれを 確かめます - 一次側に
圧力を かけて 差圧を つくってから、 流量を 設定します - リンテックの
MC-3000Lは、差圧 50〜300kPaで 使います
値段
- この
ページの 13製品は、 どの メーカーも 公式サイトに 値段を 出していません - ガス種・
フルスケール 流量・継手・ 通信の 組み合わせで 型式が 決まるので、 見積もりで 確かめます
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マスフローコントローラ のメーカー8社を比べる
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