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真空計隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100

ライボルト株式会社

ライボルトの、インコネル隔膜のキャパシタンスマノメーターです。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
向いている所
腐食性ガスのプロセス圧力
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比較表での位置

キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100は、真空計のメーカー8社比較⁠の方式が隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）の6製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 11製品比較表の製品
  • 6製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100​の強みと方式

インコネルのダイヤフラムを使い、腐食性の強いプロセスにも使えるキャパシタンスマノメーターです。精度は読み値の最大0.12%で、フルスケールは1000Torrから0.1Torrまで選べます。0〜10VとRS232の両方の出力を持ちます。

向いている所腐食性ガスのプロセス圧力

方式：隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。圧力そのものを測るので、ガスの種類で値が変わりません。成膜やエッチングのプロセス圧力の管理に使います。

キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100​の仕様

方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲
フルスケール0.1〜1000Torr
精度
読み値の最大0.12%
接続
—公式資料で確認できず
出力
0〜10V、RS232
電源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
大きさ・質量
—公式資料で確認できず
センサー
インコネルのダイヤフラム
特長
一時的な圧力バーストに耐える

内部を加熱するCTR 101もある。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100ライボルト株式会社サファイア隔膜真空計 V8Sアズビル株式会社キャパシタンスマノメータ CCMT-100D株式会社アルバック
方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲フルスケール0.1〜1000Torrフルスケール100kPaまで、絶対圧フルスケール13.3kPa
精度読み値の最大0.12%読み値の0.5%、レンジの10%FS以上指示値の±0.2%
接続—公式資料で確認できずフジキン製UJR-9.52N-CT、UJR-6.35N-CT直径12.7mmパイプ、NW16KF、8VCR
出力0〜10V、RS232DC0〜10VDC0〜10V
電源—公式資料で確認できずDC±15V両電源、DC24V単電源DC14〜30V、1W
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ・質量—公式資料で確認できずゲージヘッド0.41kg、コントロールユニット0.61kg直径55×117mm、329g
センサーインコネルのダイヤフラム単結晶サファイアの隔膜セラミックの隔膜と静電容量
特長一時的な圧力バーストに耐える最高使用温度250℃応答速度30ms以下

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キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100​のよくある質問

Q.キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100はどんな人に向いている？
キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100は、腐食性ガスのプロセス圧力に使う人向けです。キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100は、インコネルのダイヤフラムを使い、腐食性の強いプロセスにも使えるキャパシタンスマノメーターです。
Q.キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の強みは？
キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の精度は読み値の最大0.12%で、フルスケールは1000Torrから0.1Torrまで選べます。0〜10VとRS232の両方の出力を持ちます。
Q.キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100はどんな方式？
キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の方式は隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）で⁠す⁠。隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。
Q.キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の主な仕様は？
キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の測定範囲はフルスケール0.1〜1000Torr、精度は読み値の最大0.12%です。出力は0〜10V、RS232、センサーはインコネルのダイヤフラムです。
Q.キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100とサファイア隔膜真空計 V8Sはどっちがいい？
腐食性ガスのプロセス圧力ならキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100、高温の成膜装置で圧力を測るならアズビルのサファイア隔膜真空計 V8Sです。キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の測定範囲はフルスケール0.1〜1000Torr、精度は読み値の最大0.12%です。アズビルのサファイア隔膜真空計 V8Sの測定範囲はフルスケール100kPaまで、絶対圧、精度は読み値の0.5%、レンジの10%FS以上です。
Q.キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の特長は？
キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の特長は一時的な圧力バーストに耐える。アズビルのサファイア隔膜真空計 V8Sの特長は最高使用温度250℃です。
Q.キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100とキャパシタンスマノメータ CCMT-100Dはどっちがいい？
腐食性ガスのプロセス圧力ならキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100、低・中真空をガス種によらず測るならアルバックのキャパシタンスマノメータ CCMT-100Dです。キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の測定範囲はフルスケール0.1〜1000Torr、精度は読み値の最大0.12%です。アルバックのキャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの測定範囲はフルスケール13.3kPa、精度は指示値の±0.2%です。
Q.キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100はどこのメーカー？
キャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100はライボルト株式会社の製品です。登記上の本店は〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜3丁目23番地3。ライボルトの主な製品分野は真空計・リークテスター・真空ポンプ・ピラニ真空計です。

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    出典
    1. ライボルト株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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