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真空計熱陰極電離真空計

熱陰極電離真空計 SH200-A

株式会社アルバック

アルバックの、マルチイオンゲージ測定子をつなぐ熱陰極電離真空計です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
熱陰極電離真空計
向いている所
高真空の装置をPLCで監視する
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比較表での位置

熱陰極電離真空計 SH200-Aは、真空計のメーカー8社比較⁠の方式「熱陰極電離真空計」の2製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 11製品比較表の製品
  • 2製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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熱陰極電離真空計 SH200-A​の強みと方式

フィラメントの電力を見て、寿命を前もって知らせる熱陰極電離真空計です。ピラニのSWU10-Rをつなぐと、5×10^-8Paから1×10^5Paまで1台で測れます。出力はDC0〜10VのLOG出力です。

向いている所高真空の装置をPLCで監視する

方式：熱陰極電離真空計

加熱したフィラメントから出した電子で気体を電離させ、できたイオンの量で圧力を測る真空計です。高真空から超高真空まで測れます。フィラメントは消耗するので、測定子を替えて使います。

熱陰極電離真空計 SH200-A​の仕様

方式
熱陰極電離真空計
測定範囲
5×10^-8〜1×10^5Pa、SWU10-R接続時
精度
繰返精度±2%（N2）
接続
NW16、NW25、ICF070
出力
DC0〜10V、LOG出力
電源
DC20〜28V、8W以下
価格
—公式資料で確認できず
大きさ・質量
コントローラ部69×63×90mm
センサー
熱陰極フィラメント、Ir・Y2O3コート
特長
フィラメント寿命を前もって知らせる

シリアル通信のSH200-R、EtherCATのSH200-Eもある。測定子はM-44・M-45・M-46。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

熱陰極電離真空計 SH200-A株式会社アルバック電離真空計 IVG-1BT若井田理学株式会社コールドカソードゲージ M-370CGキヤノンアネルバ株式会社
方式熱陰極電離真空計熱陰極電離真空計冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）
測定範囲5×10^-8〜1×10^5Pa、SWU10-R接続時2×10^-6〜2×10^-1Pa1×10^-7〜1Pa
精度繰返精度±2%（N2）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
接続NW16、NW25、ICF070—公式資料で確認できずNW25、NW40、ICF70
出力DC0〜10V、LOG出力フルスケール10mV、各レンジ0〜10V、2接点出力
電源DC20〜28V、8W以下AC100V、50/60Hz、45WDC15〜30V、2.4W
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ・質量コントローラ部69×63×90mm302×111×253mm、4.7kg50×50×110mm、NW25
センサー熱陰極フィラメント、Ir・Y2O3コートB-A形の測定球UV-81コールドカソード、センサーCC1
特長フィラメント寿命を前もって知らせる測定レンジ5段未放電と放電遅れを解消

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熱陰極電離真空計 SH200-A​のよくある質問

Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aはどんな人に向いている？
熱陰極電離真空計 SH200-Aは、高真空の装置をPLCで監視する人向けです。熱陰極電離真空計 SH200-Aは、フィラメントの電力を見て、寿命を前もって知らせる熱陰極電離真空計です。
Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aの強みは？
熱陰極電離真空計 SH200-Aは、ピラニのSWU10-Rをつなぐと、5×10^-8Paから1×10^5Paまで1台で測れます。出力はDC0〜10VのLOG出力です。
Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aはどんな方式？
熱陰極電離真空計 SH200-Aの方式は熱陰極電離真空計です。加熱したフィラメントから出した電子で気体を電離させ、できたイオンの量で圧力を測る真空計です。
Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aの主な仕様は？
熱陰極電離真空計 SH200-Aの測定範囲は5×10^-8〜1×10^5Pa、SWU10-R接続時、精度は繰返精度±2%（N2）⁠で⁠す⁠。接続はNW16、NW25、ICF070、出力はDC0〜10V、LOG出力です。
Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aと電離真空計 IVG-1BTはどっちがいい？
高真空の装置をPLCで監視するなら熱陰極電離真空計 SH200-A、研究室の卓上で高真空を測るなら若井田理学の電離真空計 IVG-1BTです。熱陰極電離真空計 SH200-Aの測定範囲は5×10^-8〜1×10^5Pa、SWU10-R接続時、精度は繰返精度±2%（N2）⁠で⁠す⁠。若井田理学の電離真空計 IVG-1BTの測定範囲は2×10^-6〜2×10^-1Pa、出力はフルスケール10mV、各レンジです。
Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aの大きさ・質量は？
熱陰極電離真空計 SH200-Aの大きさ・質量はコントローラ部69×63×90mmです。若井田理学の電離真空計 IVG-1BTの大きさ・質量は302×111×253mm、4.7kgです。
Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aの電源は？
熱陰極電離真空計 SH200-Aの電源はDC20〜28V、8W以下です。若井田理学の電離真空計 IVG-1BTの電源はAC100V、50/60Hz、45Wです。
Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aとコールドカソードゲージ M-370CGはどっちがいい？
高真空の装置をPLCで監視するなら熱陰極電離真空計 SH200-A、蒸着・表面分析の高真空を見るならキヤノンアネルバのコールドカソードゲージ M-370CGです。熱陰極電離真空計 SH200-Aの測定範囲は5×10^-8〜1×10^5Pa、SWU10-R接続時、精度は繰返精度±2%（N2）⁠で⁠す⁠。キヤノンアネルバのコールドカソードゲージ M-370CGの測定範囲は1×10^-7〜1Pa、接続はNW25、NW40、ICF70です。
Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aのほかにアルバックの真空計はある？
あります。アルバックの真空計には、熱陰極電離真空計 SH200-Aのほかにキャパシタンスマノメータ CCMT-100D（測定範囲はフルスケール13.3kPa）があります。
Q.熱陰極電離真空計 SH200-Aはどこのメーカー？
熱陰極電離真空計 SH200-Aは株式会社アルバックの製品です。登記上の本店は〒253-0071 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地。アルバックの主な製品分野はCVD装置・真空計・スパッタ装置・凍結乾燥機です。

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    出典
    1. 株式会社アルバック 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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