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真空計隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

キャパシタンスマノメータ CCMT-100D

株式会社アルバック

アルバックの、セラミック隔膜で測るキャパシタンスマノメータです。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
向いている所
低・中真空をガス種によらず測る
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比較表での位置

キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dは、真空計のメーカー8社比較⁠の方式が隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）の6製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 11製品比較表の製品
  • 6製品同じ方式
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キャパシタンスマノメータ CCMT-100D​の強みと方式

セラミック一体構造の隔膜で、ガスの種類に関係なく圧力を測るキャパシタンスマノメータです。フルスケール13.3kPaで、精度は指示値の±0.2%、応答速度は30ms以下です。継手は直径12.7mmのパイプが標準で、NW16KFと8VCRも選べます。

向いている所低・中真空をガス種によらず測る

方式：隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。圧力そのものを測るので、ガスの種類で値が変わりません。成膜やエッチングのプロセス圧力の管理に使います。

キャパシタンスマノメータ CCMT-100D​の仕様

方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲
フルスケール13.3kPa
精度
指示値の±0.2%
接続
直径12.7mmパイプ、NW16KF、8VCR
出力
DC0〜10V
電源
DC14〜30V、1W
価格
—公式資料で確認できず
大きさ・質量
直径55×117mm、329g
センサー
セラミックの隔膜と静電容量
特長
応答速度30ms以下

フルスケール違いでCCMT-1000D・CCMT-10D・CCMT-1Dがある。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

キャパシタンスマノメータ CCMT-100D株式会社アルバック絶対圧力計 AVG-300株式会社岡野製作所キャパシタンスゲージ M-342DGキヤノンアネルバ株式会社
方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲フルスケール13.3kPa0.1〜133.3kPa（Lo）、0.10〜20.00kPa（Hi）フルスケール13.33Pa〜133.3kPa
精度指示値の±0.2%±0.25%FS±1dig読み値の0.20%、23℃
接続直径12.7mmパイプ、NW16KF、8VCRNW16NW16、NW25、8-VCR、ICF70
出力DC0〜10V4〜20mA、RS-232CDC0〜10V
電源DC14〜30V、1WDC12〜24V、ACアダプタでAC100〜240VDC13.5〜26.4V、0.5W
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ・質量直径55×117mm、329g表示器96×96×34mm、250g46×49×106mm、200g
センサーセラミックの隔膜と静電容量ピエゾ抵抗式、受圧部SUS316LシリコンMEMSチップ
特長応答速度30ms以下応答速度を0〜9秒で設定温度調整機構なしで安定

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キャパシタンスマノメータ CCMT-100D​のよくある質問

Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dはどんな人に向いている？
キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dは、低・中真空をガス種によらず測る人向けです。キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dは、セラミック一体構造の隔膜で、ガスの種類に関係なく圧力を測るキャパシタンスマノメータです。
Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの強みは？
キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dは、フルスケール13.3kPaで、精度は指示値の±0.2%、応答速度は30ms以下です。継手は直径12.7mmのパイプが標準で、NW16KFと8VCRも選べます。
Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dはどんな方式？
キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの方式は隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）で⁠す⁠。隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。
Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの主な仕様は？
キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの測定範囲はフルスケール13.3kPa、精度は指示値の±0.2%です。接続は直径12.7mmパイプ、NW16KF、8VCR、出力はDC0〜10Vです。
Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dと絶対圧力計 AVG-300はどっちがいい？
低・中真空をガス種によらず測るならキャパシタンスマノメータ CCMT-100D、大気圧までの真空の測定と制御なら岡野製作所の絶対圧力計 AVG-300です。キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの測定範囲はフルスケール13.3kPa、精度は指示値の±0.2%です。岡野製作所の絶対圧力計 AVG-300の測定範囲は0.1〜133.3kPa（Lo）、0.10〜20.00kPa（Hi）、精度は±0.25%FS±1digです。
Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの大きさ・質量は？
キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの大きさ・質量は直径55×117mm、329gです。岡野製作所の絶対圧力計 AVG-300の大きさ・質量は表示器96×96×34mm、250gです。
Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの電源は？
キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの電源はDC14〜30V、1Wです。岡野製作所の絶対圧力計 AVG-300の電源はDC12〜24V、ACアダプタでAC100〜240Vです。
Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dとキャパシタンスゲージ M-342DGはどっちがいい？
低・中真空をガス種によらず測るならキャパシタンスマノメータ CCMT-100D、成膜装置のプロセス圧力の管理ならキヤノンアネルバのキャパシタンスゲージ M-342DGです。キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dの測定範囲はフルスケール13.3kPa、精度は指示値の±0.2%です。キヤノンアネルバのキャパシタンスゲージ M-342DGの測定範囲はフルスケール13.33Pa〜133.3kPa、精度は読み値の0.20%、23℃です。
Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dのほかにアルバックの真空計はある？
あります。アルバックの真空計には、キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dのほかに熱陰極電離真空計 SH200-A（測定範囲は5×10^-8〜1×10^5Pa、SWU10-R接続時）があります。
Q.キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dはどこのメーカー？
キャパシタンスマノメータ CCMT-100Dは株式会社アルバックの製品です。登記上の本店は〒253-0071 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地。アルバックの主な製品分野はCVD装置・真空計・スパッタ装置・凍結乾燥機です。

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    真空計

    絶対圧力計 AVG-300

    株式会社岡野製作所

    表示器とセンサを組んだデジタルの絶対圧力計で、大気圧までの真空を測って制御する用途に向きます。

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    出典
    1. 株式会社アルバック 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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