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真空計隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

絶対圧力計 AVG-300

株式会社岡野製作所

岡野製作所の、ピエゾ抵抗式センサのデジタル絶対圧力計です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
向いている所
大気圧までの真空の測定と制御
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絶対圧力計 AVG-300は、真空計のメーカー8社比較⁠の方式が隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）の6製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 11製品比較表の製品
  • 6製品同じ方式
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絶対圧力計 AVG-300​の強みと方式

表示器とセンサを組んだデジタルの絶対圧力計で、大気圧までの真空を測って制御する用途に向きます。Loレンジは0.1〜133.3kPa、精度は±0.25%FS±1digです。受圧部はSUS316Lで、センサだけ交換できます。

向いている所大気圧までの真空の測定と制御

方式：隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。圧力そのものを測るので、ガスの種類で値が変わりません。成膜やエッチングのプロセス圧力の管理に使います。

絶対圧力計 AVG-300​の仕様

方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲
0.1〜133.3kPa（Lo）、0.10〜20.00kPa（Hi）
精度
±0.25%FS±1dig
接続
NW16
出力
4〜20mA、RS-232C
電源
DC12〜24V、ACアダプタでAC100〜240V
価格
—公式資料で確認できず
大きさ・質量
表示器96×96×34mm、250g
センサー
ピエゾ抵抗式、受圧部SUS316L
特長
応答速度を0〜9秒で設定

型式名はAVG-300C11。コンパレータ出力4点。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

絶対圧力計 AVG-300株式会社岡野製作所キャパシタンスゲージ M-342DGキヤノンアネルバ株式会社キャパシタンスマノメータ VG-200S株式会社堀場エステック
方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲0.1〜133.3kPa（Lo）、0.10〜20.00kPa（Hi）フルスケール13.33Pa〜133.3kPaフルスケール1.3332〜133.32kPa
精度±0.25%FS±1dig読み値の0.20%、23℃読み値の0.25%、1.3332kPa以上
接続NW16NW16、NW25、8-VCR、ICF70KF16、1/2インチVCR、1/4インチVCR、ICF34
出力4〜20mA、RS-232CDC0〜10VDC0〜10V
電源DC12〜24V、ACアダプタでAC100〜240VDC13.5〜26.4V、0.5WDC±15V、DC24V、2.4W以下
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ・質量表示器96×96×34mm、250g46×49×106mm、200g—公式資料で確認できず
センサーピエゾ抵抗式、受圧部SUS316LシリコンMEMSチップSUS316Lダイヤフラム
特長応答速度を0〜9秒で設定温度調整機構なしで安定非加熱・55℃・100℃温調から選べる

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絶対圧力計 AVG-300​のよくある質問

Q.絶対圧力計 AVG-300はどんな人に向いている？
絶対圧力計 AVG-300は、大気圧までの真空の測定と制御に使う人向けです。絶対圧力計 AVG-300は、表示器とセンサを組んだデジタルの絶対圧力計で、大気圧までの真空を測って制御する用途に向きます。
Q.絶対圧力計 AVG-300の強みは？
絶対圧力計 AVG-300のLoレンジは0.1〜133.3kPa、精度は±0.25%FS±1digです。受圧部はSUS316Lで、センサだけ交換できます。
Q.絶対圧力計 AVG-300はどんな方式？
絶対圧力計 AVG-300の方式は隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）で⁠す⁠。隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。
Q.絶対圧力計 AVG-300の主な仕様は？
絶対圧力計 AVG-300の測定範囲は0.1〜133.3kPa（Lo）、0.10〜20.00kPa（Hi）、精度は±0.25%FS±1digです。接続はNW16、出力は4〜20mA、RS-232Cです。
Q.絶対圧力計 AVG-300とキャパシタンスゲージ M-342DGはどっちがいい？
大気圧までの真空の測定と制御なら絶対圧力計 AVG-300、成膜装置のプロセス圧力の管理ならキヤノンアネルバのキャパシタンスゲージ M-342DGです。絶対圧力計 AVG-300の測定範囲は0.1〜133.3kPa（Lo）、0.10〜20.00kPa（Hi）、精度は±0.25%FS±1digです。キヤノンアネルバのキャパシタンスゲージ M-342DGの測定範囲はフルスケール13.33Pa〜133.3kPa、精度は読み値の0.20%、23℃です。
Q.絶対圧力計 AVG-300の大きさ・質量は？
絶対圧力計 AVG-300の大きさ・質量は表示器96×96×34mm、250gです。キヤノンアネルバのキャパシタンスゲージ M-342DGの大きさ・質量は46×49×106mm、200gです。
Q.絶対圧力計 AVG-300の電源は？
絶対圧力計 AVG-300の電源はDC12〜24V、ACアダプタでAC100〜240Vです。キヤノンアネルバのキャパシタンスゲージ M-342DGの電源はDC13.5〜26.4V、0.5Wです。
Q.絶対圧力計 AVG-300とキャパシタンスマノメータ VG-200Sはどっちがいい？
大気圧までの真空の測定と制御なら絶対圧力計 AVG-300、半導体のプロセス圧力を測るなら堀場エステックのキャパシタンスマノメータ VG-200Sです。絶対圧力計 AVG-300の測定範囲は0.1〜133.3kPa（Lo）、0.10〜20.00kPa（Hi）、精度は±0.25%FS±1digです。堀場エステックのキャパシタンスマノメータ VG-200Sの測定範囲はフルスケール1.3332〜133.32kPa、精度は読み値の0.25%、1.3332kPa以上です。
Q.絶対圧力計 AVG-300のほかに岡野製作所の真空計はある？
あります。岡野製作所の真空計には、絶対圧力計 AVG-300のほかにマクラウド真空計 NEW-S（測定範囲は0.1〜1300Pa）があります。
Q.絶対圧力計 AVG-300はどこのメーカー？
絶対圧力計 AVG-300は株式会社岡野製作所の製品です。岡野製作所の主な製品分野は真空計・差圧計・ピトー管です。

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