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真空計隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

キャパシタンスゲージ M-342DG

キヤノンアネルバ株式会社

キヤノンアネルバの、MEMSチップで測るキャパシタンスゲージです。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
向いている所
成膜装置のプロセス圧力の管理
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比較表での位置

キャパシタンスゲージ M-342DGは、真空計のメーカー8社比較⁠の方式が隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）の6製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 11製品比較表の製品
  • 6製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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キャパシタンスゲージ M-342DG​の強みと方式

圧力センサにシリコンMEMSチップを使い、温度調整機構なしで安定させたキャパシタンスゲージです。精度は読み値の0.20%で、消費電力は0.5Wに抑えています。NW16の型は200gと軽く、成膜装置やロードロック室に付けやすいです。

向いている所成膜装置のプロセス圧力の管理

方式：隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）

隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。圧力そのものを測るので、ガスの種類で値が変わりません。成膜やエッチングのプロセス圧力の管理に使います。

キャパシタンスゲージ M-342DG​の仕様

方式
隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲
フルスケール13.33Pa〜133.3kPa
精度
読み値の0.20%、23℃
接続
NW16、NW25、8-VCR、ICF70
出力
DC0〜10V
電源
DC13.5〜26.4V、0.5W
価格
—公式資料で確認できず
大きさ・質量
46×49×106mm、200g
センサー
シリコンMEMSチップ
特長
温度調整機構なしで安定

フルスケール違いで-1D・-1N・-11・-12・-13の型がある。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

キャパシタンスゲージ M-342DGキヤノンアネルバ株式会社キャパシタンスマノメータ VG-200S株式会社堀場エステックキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100ライボルト株式会社
方式隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）
測定範囲フルスケール13.33Pa〜133.3kPaフルスケール1.3332〜133.32kPaフルスケール0.1〜1000Torr
精度読み値の0.20%、23℃読み値の0.25%、1.3332kPa以上読み値の最大0.12%
接続NW16、NW25、8-VCR、ICF70KF16、1/2インチVCR、1/4インチVCR、ICF34—公式資料で確認できず
出力DC0〜10VDC0〜10V0〜10V、RS232
電源DC13.5〜26.4V、0.5WDC±15V、DC24V、2.4W以下—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ・質量46×49×106mm、200g—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
センサーシリコンMEMSチップSUS316Lダイヤフラムインコネルのダイヤフラム
特長温度調整機構なしで安定非加熱・55℃・100℃温調から選べる一時的な圧力バーストに耐える

真空計の11製品を比較表で見る

キャパシタンスゲージ M-342DG​のよくある質問

Q.キャパシタンスゲージ M-342DGはどんな人に向いている？
キャパシタンスゲージ M-342DGは、成膜装置のプロセス圧力の管理に使う人向けです。キャパシタンスゲージ M-342DGは、圧力センサにシリコンMEMSチップを使い、温度調整機構なしで安定させたキャパシタンスゲージです。
Q.キャパシタンスゲージ M-342DGの強みは？
キャパシタンスゲージ M-342DGの精度は読み値の0.20%で、消費電力は0.5Wに抑えています。NW16の型は200gと軽く、成膜装置やロードロック室に付けやすいです。
Q.キャパシタンスゲージ M-342DGはどんな方式？
キャパシタンスゲージ M-342DGの方式は隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）で⁠す⁠。隔膜が圧力で変形するのを、静電容量や抵抗の変化で読む真空計です。
Q.キャパシタンスゲージ M-342DGの主な仕様は？
キャパシタンスゲージ M-342DGの測定範囲はフルスケール13.33Pa〜133.3kPa、精度は読み値の0.20%、23℃です。接続はNW16、NW25、8-VCR、ICF70、出力はDC0〜10Vです。
Q.キャパシタンスゲージ M-342DGとキャパシタンスマノメータ VG-200Sはどっちがいい？
成膜装置のプロセス圧力の管理ならキャパシタンスゲージ M-342DG、半導体のプロセス圧力を測るなら堀場エステックのキャパシタンスマノメータ VG-200Sです。キャパシタンスゲージ M-342DGの測定範囲はフルスケール13.33Pa〜133.3kPa、精度は読み値の0.20%、23℃です。堀場エステックのキャパシタンスマノメータ VG-200Sの測定範囲はフルスケール1.3332〜133.32kPa、精度は読み値の0.25%、1.3332kPa以上です。
Q.キャパシタンスゲージ M-342DGの大きさ・質量は？
キャパシタンスゲージ M-342DGの大きさ・質量は46×49×106mm、200gです。アズビルのサファイア隔膜真空計 V8Sの大きさ・質量はゲージヘッド0.41kg、コントロールユニット0.61kgです。
Q.キャパシタンスゲージ M-342DGの電源は？
キャパシタンスゲージ M-342DGの電源はDC13.5〜26.4V、0.5Wです。堀場エステックのキャパシタンスマノメータ VG-200Sの電源はDC±15V、DC24V、2.4W以下です。
Q.キャパシタンスゲージ M-342DGとキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100はどっちがいい？
成膜装置のプロセス圧力の管理ならキャパシタンスゲージ M-342DG、腐食性ガスのプロセス圧力ならライボルトのキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100です。キャパシタンスゲージ M-342DGの測定範囲はフルスケール13.33Pa〜133.3kPa、精度は読み値の0.20%、23℃です。ライボルトのキャパシタンスマノメーター CERAVAC CTR 100の測定範囲はフルスケール0.1〜1000Torr、精度は読み値の最大0.12%です。
Q.キャパシタンスゲージ M-342DGのほかにキヤノンアネルバの真空計はある？
あります。キヤノンアネルバの真空計には、キャパシタンスゲージ M-342DGのほかにコールドカソードゲージ M-370CG（測定範囲は1×10^-7〜1Pa）があります。
Q.キャパシタンスゲージ M-342DGはどこのメーカー？
キャパシタンスゲージ M-342DGはキヤノンアネルバ株式会社の製品です。登記上の本店は〒215-0033 神奈川県川崎市麻生区栗木2丁目5番1号。スパッタリング装置などの製造装置と、真空計・リークディテクタ・質量分析計などの真空の部品を手がける会社です。

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    出典
    1. キヤノンアネルバ株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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