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真空計冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）

コールドカソードゲージ M-370CG

キヤノンアネルバ株式会社

キヤノンアネルバの、フィラメントの無いコールドカソードゲージです。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）
向いている所
蒸着・表面分析の高真空を見る
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比較表での位置

コールドカソードゲージ M-370CGは、真空計のメーカー8社比較⁠の方式が冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）の2製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 11製品比較表の製品
  • 2製品同じ方式
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コールドカソードゲージ M-370CG​の強みと方式

未放電と放電遅れを抑え、高真空での測定の止まりやふらつきを減らしたコールドカソードゲージです。1×10^-7Paから1Paまで測れ、蒸着・スパッタリング・表面分析の装置に向きます。手入れは部品の交換だけで済みます。

向いている所蒸着・表面分析の高真空を見る

方式：冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）

フィラメントを持たず、磁場の中の放電で気体を電離させて圧力を測る真空計です。フィラメントが焼けないので、大気圧でスイッチを入れても傷みません。水素や酸素が多いと放電の始まりが遅れることがあります。

コールドカソードゲージ M-370CG​の仕様

方式
冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）
測定範囲
1×10^-7〜1Pa
精度
—公式資料で確認できず
接続
NW25、NW40、ICF70
出力
0〜10V、2接点出力
電源
DC15〜30V、2.4W
価格
—公式資料で確認できず
大きさ・質量
50×50×110mm、NW25
センサー
コールドカソード、センサーCC1
特長
未放電と放電遅れを解消

セットポイント付のM-370CG-SPと、RS485のM-370CG-RSがある。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

コールドカソードゲージ M-370CGキヤノンアネルバ株式会社ペニング真空計 CR-1N佐藤真空株式会社マクラウド真空計 NEW-S株式会社岡野製作所
方式冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）マクラウド真空計
測定範囲1×10^-7〜1Pa8×10^-1〜1×10^-3Pa0.1〜1300Pa
精度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
接続NW25、NW40、ICF70直径15mmゲージポート、測定子D-31M—公式資料で確認できず
出力0〜10V、2接点出力フルスケール10mV—公式資料で確認できず
電源DC15〜30V、2.4WAC100V、50/60Hz、9VA—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ・質量50×50×110mm、NW25185×185×120mm、2.9kg—公式資料で確認できず
センサーコールドカソード、センサーCC1冷陰極放電、ペニング形水銀で気体を圧縮する
特長未放電と放電遅れを解消大気圧でスイッチを入れても故障しない回転操作でガス種によらず直接測る

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コールドカソードゲージ M-370CG​のよくある質問

Q.コールドカソードゲージ M-370CGはどんな人に向いている？
コールドカソードゲージ M-370CGは、蒸着・表面分析の高真空を見る人向けです。コールドカソードゲージ M-370CGは、未放電と放電遅れを抑え、高真空での測定の止まりやふらつきを減らしたコールドカソードゲージです。
Q.コールドカソードゲージ M-370CGの強みは？
コールドカソードゲージ M-370CGは、1×10^-7Paから1Paまで測れ、蒸着・スパッタリング・表面分析の装置に向きます。手入れは部品の交換だけで済みます。
Q.コールドカソードゲージ M-370CGはどんな方式？
コールドカソードゲージ M-370CGの方式は冷陰極電離真空計（ペニング・コールドカソード）で⁠す⁠。フィラメントを持たず、磁場の中の放電で気体を電離させて圧力を測る真空計です。
Q.コールドカソードゲージ M-370CGの主な仕様は？
コールドカソードゲージ M-370CGの測定範囲は1×10^-7〜1Pa、接続はNW25、NW40、ICF70です。出力は0〜10V、2接点出力、電源はDC15〜30V、2.4Wです。
Q.コールドカソードゲージ M-370CGとペニング真空計 CR-1Nはどっちがいい？
蒸着・表面分析の高真空を見るならコールドカソードゲージ M-370CG、卓上で中真空から高真空を見るなら佐藤真空のペニング真空計 CR-1Nです。コールドカソードゲージ M-370CGの測定範囲は1×10^-7〜1Pa、接続はNW25、NW40、ICF70です。佐藤真空のペニング真空計 CR-1Nの測定範囲は8×10^-1〜1×10^-3Pa、接続は直径15mmゲージポート、測定子D-31Mです。
Q.コールドカソードゲージ M-370CGの大きさ・質量は？
コールドカソードゲージ M-370CGの大きさ・質量は50×50×110mm、NW25です。佐藤真空のペニング真空計 CR-1Nの大きさ・質量は185×185×120mm、2.9kgです。
Q.コールドカソードゲージ M-370CGのセンサーは？
コールドカソードゲージ M-370CGのセンサーはコールドカソード、センサーCC1です。佐藤真空のペニング真空計 CR-1Nのセンサーは冷陰極放電、ペニング形です。
Q.コールドカソードゲージ M-370CGとマクラウド真空計 NEW-Sはどっちがいい？
蒸着・表面分析の高真空を見るならコールドカソードゲージ M-370CG、ほかの真空計の値を確かめるなら岡野製作所のマクラウド真空計 NEW-Sです。コールドカソードゲージ M-370CGの測定範囲は1×10^-7〜1Pa、接続はNW25、NW40、ICF70です。岡野製作所のマクラウド真空計 NEW-Sの測定範囲は0.1〜1300Pa、センサーは水銀で気体を圧縮する。
Q.コールドカソードゲージ M-370CGのほかにキヤノンアネルバの真空計はある？
あります。キヤノンアネルバの真空計には、コールドカソードゲージ M-370CGのほかにキャパシタンスゲージ M-342DG（測定範囲はフルスケール13.33Pa〜133.3kPa）があります。
Q.コールドカソードゲージ M-370CGはどこのメーカー？
コールドカソードゲージ M-370CGはキヤノンアネルバ株式会社の製品です。登記上の本店は〒215-0033 神奈川県川崎市麻生区栗木2丁目5番1号。スパッタリング装置などの製造装置と、真空計・リークディテクタ・質量分析計などの真空の部品を手がける会社です。

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    出典
    1. キヤノンアネルバ株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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