真空計とは？真空装置で使う真空計の種類（隔膜・熱陰極電離・冷陰極電離・マクラウド）と、測定範囲・精度・出力の選び方

真空計とは

真空計は、真空ポンプで排気した容器や配管の中の圧力を測る計器です。成膜やエッチングの装置ではプロセスの圧力を管理し、研究設備や分析装置では高真空まで届いたかを確かめます。

比較ページには、日本の会社か日本法人のある会社が自社で作る真空計を、各社の代表の型の単位で載せています。ピラニ真空計は別の比較にまとめ、測定子や球だけの交換部品は載せていません。

4つの種類

• 隔膜真空計：隔膜の変形を静電容量や抵抗の変化で読みます。例はアルバックの CCMT-100D、キヤノンアネルバの M-342DG、堀場エステックの VG-200S、アズビルの V8S、ライボルトの CTR 100、岡野製作所の AVG-300 ⁠⁠です
• 熱陰極電離真空計：フィラメントから出した電子で気体を電離させます。例はアルバックの SH200-A と若井田理学の IVG-1BT ⁠⁠です
• 冷陰極電離真空計：フィラメントを持たず、放電で電離させます。例はキヤノンアネルバの M-370CG と佐藤真空の CR-1N ⁠⁠です
• マクラウド真空計：気体を水銀で圧縮して読みます。例は岡野製作所の NEW-S ⁠⁠です

測れる範囲

• キヤノンアネルバの M-370CG は、1×10^-7Paから1Paまで測れます
• 若井田理学の IVG-1BT は、2×10^-6Paから2×10^-1Paまで測れます
• アルバックの SH200-A は、ピラニの SWU10-R をつなぐと5×10^-8Paから1×10^5Paまで見られます
• 隔膜真空計はフルスケールで範囲が決まります。キヤノンアネルバの M-342DG は、13.33Paから133.3kPaまでのフルスケールをそろえています
• 岡野製作所の NEW-S は、0.1〜1300Paを測ります

ガスの種類と精度

• 隔膜真空計とマクラウド真空計は、ガスの種類に関係なく測れます
• 電離真空計は気体の電離を使うので、ガスで読みが変わります。キヤノンアネルバは、水素や酸素の分圧が高いとコールドカソードの放電の始まりが遅れると書いています
• 隔膜真空計の精度は、アルバックの CCMT-100D が指示値の±0.2%、キヤノンアネルバの M-342DG が読み値の0.20%、ライボルトの CTR 100 が読み値の最大0.12%です

出力と継手

• 出力はDC0〜10Vのアナログが多く、岡野製作所の AVG-300 は4〜20mAとRS-232Cを持ちます
• 継手はNW16・NW25・ICFが多く、堀場エステックの VG-200S はKF16やVCRも選べます
• 成膜装置では、ガスが付かないように温めて使う型があります。アズビルの V8S は、ゲージヘッドを最高250℃の場所に付けられます

手入れと値段

• 熱陰極はフィラメントが消耗するので、測定子を替えて使います。アルバックの SH200-A は、寿命を前もって知らせます
• 冷陰極はフィラメントが無く、佐藤真空の CR-1N は大気圧でスイッチを入れても故障しません
• 載せた11製品は、どれも公式に値段を出していません。方式・フルスケール・継手・出力を決めて、メーカーに見積もりを頼みます