イメージイメージパルス電源成膜用
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプ
株式会社大電力向けの
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 種類
- 成膜用
（DCパルス・HiPIMS） - 向いている所
- 大電力の
パルス成膜に
比較表での位置
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプは、
- 9社掲載社数
- 16製品比較表の製品
- 3製品同じ種類
- 0製品公開価格あり
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの強みと方式
電源
向いている所大電力の
種類：成膜用（DCパルス・HiPIMS）
スパッタなどの
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの仕様
- 種類
- 成膜用
（DCパルス・HiPIMS） - 出力電圧
- バイアス
0〜1200V - 出力電流
- ピーク
1000A - パルス幅
- 最小1μs以下
- 繰り返し周波数
- 10kHz
- 立
上がり時間 - 1μs以下
- 電力・
エネルギー - 平均
0〜60kW、 ピーク1MW - 価格
- —公式資料で
確認できず - 入力電源
- —公式資料で
確認できず - 大きさ
- —公式資料で
確認できず - 質量
- —公式資料で
確認できず - 主な用途
- —公式資料で
確認できず
仕様例の値。
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプ | DCパルス電源 DC-10-P株式会社 | 陽極酸化被膜用電源 +150V/1kA/1000Hz | |
|---|---|---|---|
| 種類 | 成膜用 | 成膜用 | めっき・陽極酸化用 |
| 出力電圧 | バイアス | 800V | 0〜+150V |
| 出力電流 | ピーク | 25A | 0〜1kA |
| パルス幅 | 最小1μs以下 | 逆パルス | —公式資料で |
| 繰り返し周波数 | 10kHz | 5k〜250kHz | 約10Hz〜1000Hz |
| 立 | 1μs以下 | —公式資料で | —公式資料で |
| 電力・ | 平均 | 定格 | 15kW |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 入力電源 | —公式資料で | 3相 | 三相 |
| 大きさ | —公式資料で | 483× | 580× |
| 質量 | —公式資料で | 36kg | 約250kg |
| 主な用途 | —公式資料で | 反応性 | 陽極酸化被膜 |
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプのよくある質問
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプはどんな人に向いている？
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプは、大電力のパルス成膜に使う人向けです。HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプは、電源ユニットとパルス生成ユニットを組み合わせ、ピーク電力1MWまで出せる電源です。
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの強みは？
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプは、バイポーラ出力に使え、パルス時間も決められます。値は仕様例で、発注のときに用途に合わせて決めます。
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプはどんな方式？
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの種類は成膜用（DCパルス・HiPIMS）です。スパッタなどの成膜で使う型です。
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの主な仕様は？
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの出力電圧はバイアス0〜1200V、出力電流はピーク1000Aです。パルス幅は最小1μs以下、繰り返し周波数は10kHzです。
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプとDCパルス電源 DC-10-Pはどっちがいい？
大電力のパルス成膜にならHiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプ、反応性スパッタの放電抑制ならアルバックのDCパルス電源 DC-10-Pです。HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの出力電圧はバイアス0〜1200V、出力電流はピーク1000Aです。アルバックのDCパルス電源 DC-10-Pの出力電圧は800V（5k〜150kHz）、650V（155k〜250kHz）、出力電流は25Aです。
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの立上がり時間は？
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの立上がり時間は1μs以下です。末松電子製作所のMPC1110S-15KLP パルスパワー電源の立上がり時間は約50nsです。
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの電力・エネルギーは？
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの電力・エネルギーは平均0〜60kW、ピーク1MWです。アルバックのDCパルス電源 DC-10-Pの電力・エネルギーは定格10kWです。
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプと陽極酸化被膜用電源 +150V/1kA/1000Hzはどっちがいい？
大電力のパルス成膜にならHiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプ、陽極酸化の大電流になら栗田製作所の陽極酸化被膜用電源 +150V/1kA/1000Hzです。HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプの出力電圧はバイアス0〜1200V、出力電流はピーク1000Aです。栗田製作所の陽極酸化被膜用電源 +150V/1kA/1000Hzの出力電圧は0〜+150V、出力電流は0〜1kAです。
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプのほかに計測技術研究所のパルス電源はある？
あります。計測技術研究所のパルス電源には、HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプのほかにHiPIMS／パルス電源 高周波タイプ（出力電圧はバイアス0〜1000V）があります。
Q.HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプはどこのメーカー？
HiPIMS／パルス電源 HiPIMSタイプは株式会社計測技術研究所の製品です。計測技術研究所の主な製品分野は耐電圧試験機・パルス電源・電子負荷装置・双方向直流電源です。
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