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プラズマ処理・レーザー・成膜・めっきなどの設備や実験で使うパルス電源を選ぶ、研究・設備・開発・購買の担当の方へ

パルス電源のメーカー9社比較【2026年】

パルス電源は、必要な瞬間に出力をONにし、
短い時間に大きなエネルギーを出す電源です。

ABOUT

パルス電源とは

比較表を見る ↓

パルス電源とは、出力を続けて出すのではなく、必要な瞬間にだけONにして、
短い時間に大きなエネルギーを出す電源です。
パルスパワー電源、パルスモジュレータとも呼びます。
プラズマ処理・レーザー・成膜・めっきで使います。

製品の特長

  • 瞬間的に大きな電力を出せる(OFFの間にエネルギーをためる)
  • 立上がりが速い(マイクロ秒からナノ秒で上限に届く)
  • 幅と繰り返しを変えられる(プラズマに入れる電力を調整)

使うメリット

  • プラズマを起こしやすい(直流より出力電圧を上げやすい)
  • 熱を抑えられる(断続運転で冷える時間ができる)
  • 成膜の異常放電を減らせる(DCパルスの電圧反転)

選ぶときに注意すること

  1. 電圧・幅・立上がりは負荷で変わる。負荷を決めてから確かめる
  2. 直流電源を別に揃える型がある
  3. 高周波利用設備に当たる型は、設置の許可を確かめる
  4. 高電圧の配線・接地・ノイズ対策は設置の前に決める
  5. 公開価格はほとんど出ていない。見積もりで比べる

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。仕組みと用途は栗田製作所と明電舎の解説による。

LIST

パルス電源の比較表

パルス電源16製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

ナノ秒の高電圧型

8製品
株式会社末松電子製作所MPC1110S-15KLP パルスパワー電源繰り返しを上げたい放電口コミを書く要見積

磁気パルス圧縮方式で、繰り返しを最大15000ppsまで上げられる電源です。立上がりは約50nsです。この型は電波法の設置許可が必要な高周波利用設備に当たるので、先に管轄の総合通信局へ確かめます。

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
11kV(500Ω負荷時)
繰り返し周波数
15000pps
立上がり時間
約50ns
電力・エネルギー
入力20mJ/pulse
入力電源
AC100V
大きさ
パルスパワーユニット406×155×326mm
質量
パルスパワーユニット6.1kg
記載なし
出力電流・パルス幅・主な用途
公式ページへ詳細・仕様
株式会社末松電子製作所超短パルス電源 PPM1000S-1KESP放電の実験を机の上で口コミを書く要見積

パルスのテール部分を切る独自の技術で、幅を25ns以下に抑えた電源です。立上がりは10ns以下、繰り返しは最大1000ppsです。出力電圧と負荷によって値は変わります。

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
25kV(無負荷時)
パルス幅
25ns以下
繰り返し周波数
1000pps
立上がり時間
10ns以下
電力・エネルギー
13mJ/pulse
入力電源
AC100V
大きさ
362×164×456mm
質量
約6.2kg
主な用途
気中放電、誘電体バリア放電
記載なし
出力電流
公式ページへ詳細・仕様
ネクスファイ・テクノロジー株式会社ナノインパルス発生器モータ絶縁の試験に口コミを書く要見積

内製の高電圧SiCスイッチで、立ち上がり100ns以下のパルスを正負10kVで出せる電源です。大気圧プラズマや絶縁試験器に使えます。値は負荷の条件で変わります。

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
正負10kV
繰り返し周波数
DC〜100kHz
立上がり時間
100ns以下
電力・エネルギー
電源電力300W〜10kW
入力電源
単相AC100V、三相AC200Vなど
主な用途
大気圧プラズマ、絶縁試験器
記載なし
出力電流・パルス幅・大きさ・質量
公式ページへ詳細・仕様
株式会社パルスパワー技術研究所スマートパルスパワー電源100kV級のプラズマ生成に口コミを書く要見積

電圧は100kVp、電流は3kApまで出せる大出力のパルス電源です。パルス幅は50〜200nsで、三角波などほかの波形もnsの単位で調整できます。

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
30kVp〜100kVp
出力電流
330Ap〜3kAp
パルス幅
50ns〜200ns
繰り返し周波数
1kHz〜10kHz
立上がり時間
20ns〜
主な用途
排ガスの分解、工場排水の浄化
記載なし
電力・エネルギー・入力電源・大きさ・質量
公式ページへ詳細・仕様
松定プレシジョン株式会社高電圧パルス電源 HKSシリーズビームを速く切り替える口コミを書く要見積

HKシリーズより繰り返しが高く、最大50kHzで動く電源です。電圧は10kV、立上りは20nsです。電子ビームやイオンビームの制御に使います。

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
10kV
出力電流
10mA
繰り返し周波数
50kHz
立上がり時間
20ns
主な用途
電子ビーム、イオンビーム
記載なし
パルス幅・電力・エネルギー・入力電源・大きさ・質量
公式ページへ詳細・仕様
松定プレシジョン株式会社高電圧パルス電源 HKシリーズ質量分析・電子顕微鏡に口コミを書く要見積

立上り15nsのパルスを0.3〜10kVで出せる電源です。電子顕微鏡や質量分析、マイクロチャンネルプレートを動かす用途で使います。

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
0.3〜10kV
繰り返し周波数
10kHz
立上がり時間
15ns
主な用途
電子顕微鏡、質量分析、MCP
記載なし
出力電流・パルス幅・電力・エネルギー・入力電源・大きさ・質量
公式ページへ詳細・仕様
株式会社明電舎パルス電源 30kV・15kW級半導体露光のレーザーに口コミを書く要見積

IGBTと磁気パルス圧縮回路でパルスを作る、高繰り返し向きの電源です。出力電圧30kVまで、平均電力15kWを最大6kHzで出せます。エキシマレーザの電源として半導体露光に使われています。

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
〜30kV
パルス幅
100ns
繰り返し周波数
〜6kHz
電力・エネルギー
平均15kW
大きさ
パルス発生ユニットW650×H230×D520mm
質量
各ユニット90kg
主な用途
エキシマレーザ、EUV光源開発
記載なし
出力電流・立上がり時間・入力電源
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)
株式会社明電舎実験用パルス電源 30kV・10W級机の上で試す実験に口コミを書く要見積

パルス発生と充電器を1台にまとめた実験用の電源です。質量は約11kgで、直流電源を介せばAC100Vで動きます。立ち上がりは約60nsで、負荷により変わります。

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
約30kV
繰り返し周波数
〜1kHz
立上がり時間
約60ns
電力・エネルギー
平均約10W
入力電源
AC100V(直流電源を介す)
大きさ
W420×H300×D250mm
質量
約11kg
記載なし
出力電流・パルス幅・主な用途
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)

マイクロ秒・高周波型

3製品
株式会社栗田製作所高電圧パルスモジュレータ -20kV/60Ap/5kHz高電圧の直流をパルスに口コミを書く要見積

入力した高電圧の直流をパルスにして出すモジュレータです。-20kVで60Apまで出せ、パルス幅は1〜30μsで変えられます。直流電源とリモート操作ボックスは別に揃えます。

種類
マイクロ秒・高周波型
出力電圧
0〜-20kV
出力電流
60Ap
パルス幅
1μs〜30μs(DUTY<2%)
繰り返し周波数
500Hz〜5kHz
入力電源
単相AC200V
大きさ
570×1730×800mm
質量
約200kg
記載なし
立上がり時間・電力・エネルギー・主な用途
公式ページへ詳細・仕様
ネクスファイ・テクノロジー株式会社高周波パルス電源 PPT500-2.5k-01高周波でプラズマを作る口コミを書く要見積

自社開発のパルストランスで、500kHzの高周波パルスを±10kVで出せる電源です。周波数と電力の組み合わせで型番を選べ、同じ外形で100kHzから500kHzまで揃います。値は負荷の条件で変わります。

種類
マイクロ秒・高周波型
出力電圧
±10kV
繰り返し周波数
500kHz
電力・エネルギー
電源電力2.5kW
入力電源
三相AC200V
大きさ
340×495×620mm
主な用途
大気圧プラズマ、液中プラズマ、成膜装置
記載なし
出力電流・パルス幅・立上がり時間・質量
公式ページへ詳細・仕様
株式会社パルスパワー技術研究所マグネトロン用高電圧パルス電源マグネトロンを動かす口コミを書く要見積

マグネトロンを動かすための専用のパルス電源です。電圧上昇率が100kV/μsと高速で、マグネトロンが長く持ちます。出力は-37kVp、88Apです。

種類
マイクロ秒・高周波型
出力電圧
-37kVp
出力電流
88Ap
パルス幅
4.5μs
繰り返し周波数
200Hz
主な用途
マグネトロンの駆動
記載なし
立上がり時間・電力・エネルギー・入力電源・大きさ・質量
公式ページへ詳細・仕様

成膜用(DCパルス・HiPIMS)

3製品
株式会社アルバックDCパルス電源 DC-10-P反応性スパッタの放電抑制口コミを書く要見積

決めた周期で出力電圧を反転し、ターゲットの電荷をためない電源です。異常放電を抑えられ、ハイパワーを入れられます。同じ機種の組み合わせなら並列でも動きます。

種類
成膜用(DCパルス・HiPIMS)
出力電圧
800V(5k〜150kHz)、650V(155k〜250kHz)
出力電流
25A
パルス幅
逆パルス0.4〜5.0μs
繰り返し周波数
5k〜250kHz
電力・エネルギー
定格10kW
入力電源
3相AC208V
大きさ
483×630×133mm
質量
36kg
主な用途
反応性スパッタリング
記載なし
立上がり時間
公式ページへ詳細・仕様
株式会社計測技術研究所HiPIMS/パルス電源 HiPIMSタイプ大電力のパルス成膜に口コミを書く要見積

電源ユニットとパルス生成ユニットを組み合わせ、ピーク電力1MWまで出せる電源です。バイポーラ出力に使え、パルス時間も決められます。値は仕様例で、発注のときに用途に合わせて決めます。

種類
成膜用(DCパルス・HiPIMS)
出力電圧
バイアス0〜1200V
出力電流
ピーク1000A
パルス幅
最小1μs以下
繰り返し周波数
10kHz
立上がり時間
1μs以下
電力・エネルギー
平均0〜60kW、ピーク1MW
記載なし
入力電源・大きさ・質量・主な用途
公式ページへ詳細・仕様
株式会社計測技術研究所HiPIMS/パルス電源 高周波タイプ高周波パルスで成膜口コミを書く要見積

同じ構成で周波数を200kHzまで上げ、最小パルスを500ns以下まで短くできる電源です。立上り・立下りは100ns以下です。値は仕様例で、発注のときに用途に合わせて決めます。

種類
成膜用(DCパルス・HiPIMS)
出力電圧
バイアス0〜1000V
出力電流
ピーク100A
パルス幅
最小500ns以下
繰り返し周波数
200kHz
立上がり時間
100ns以下
電力・エネルギー
平均0〜20kW、ピーク100kW
記載なし
入力電源・大きさ・質量・主な用途
公式ページへ詳細・仕様

めっき・陽極酸化用

2製品
株式会社栗田製作所陽極酸化被膜用電源 +150V/1kA/1000Hz陽極酸化の大電流に口コミを書く要見積

陽極酸化被膜のための、1kAまで出せる大電流のパルス電源です。繰り返しは約10〜1000Hz、Dutyは最大60%まで変えられます。PLCでDutyを制御します。

種類
めっき・陽極酸化用
出力電圧
0〜+150V
出力電流
0〜1kA
繰り返し周波数
約10Hz〜1000Hz
電力・エネルギー
15kW
入力電源
三相AC200V
大きさ
580×1380×935mm
質量
約250kg
主な用途
陽極酸化被膜
記載なし
パルス幅・立上がり時間
公式ページへ詳細・仕様
株式会社中央製作所小型パルス電源 PPE2-300-030微細ワークの金めっきに口コミを書く要見積

微細なワークの金めっきに使う小型のパルス電源です。矩形波のONとOFFを別々に決められ、質量は8.0kgです。直流は30V・3Aで出せます。

種類
めっき・陽極酸化用
出力電圧
30Vピーク
出力電流
30Aピーク
パルス幅
ON0.1〜10.0ms、OFF0.9〜99.9ms
入力電源
AC100V/AC200V
大きさ
W270×D350×H140mm
質量
8.0kg
主な用途
微細ワークの金めっき
記載なし
繰り返し周波数・立上がり時間・電力・エネルギー
公式ページへ詳細・仕様

ナノ秒の高電圧型8製品

株式会社末松電子製作所

MPC1110S-15KLP パルスパワー電源

繰り返しを上げたい放電

磁気パルス圧縮方式で、繰り返しを最大15000ppsまで上げられる電源です。立上がりは約50nsです。この型は電波法の設置許可が必要な高周波利用設備に当たるので、先に管轄の総合通信局へ確かめます。

コスト要見積

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
11kV(500Ω負荷時)
繰り返し周波数
15000pps
立上がり時間
約50ns
電力・エネルギー
入力20mJ/pulse
入力電源
AC100V
大きさ
パルスパワーユニット406×155×326mm
質量
パルスパワーユニット6.1kg
記載なし
出力電流・パルス幅・主な用途
公式ページへ
株式会社末松電子製作所

超短パルス電源 PPM1000S-1KESP

放電の実験を机の上で

パルスのテール部分を切る独自の技術で、幅を25ns以下に抑えた電源です。立上がりは10ns以下、繰り返しは最大1000ppsです。出力電圧と負荷によって値は変わります。

コスト要見積

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
25kV(無負荷時)
パルス幅
25ns以下
繰り返し周波数
1000pps
立上がり時間
10ns以下
電力・エネルギー
13mJ/pulse
入力電源
AC100V
大きさ
362×164×456mm
質量
約6.2kg
主な用途
気中放電、誘電体バリア放電
記載なし
出力電流
公式ページへ
ネクスファイ・テクノロジー株式会社

ナノインパルス発生器

モータ絶縁の試験に

内製の高電圧SiCスイッチで、立ち上がり100ns以下のパルスを正負10kVで出せる電源です。大気圧プラズマや絶縁試験器に使えます。値は負荷の条件で変わります。

コスト要見積

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
正負10kV
繰り返し周波数
DC〜100kHz
立上がり時間
100ns以下
電力・エネルギー
電源電力300W〜10kW
入力電源
単相AC100V、三相AC200Vなど
主な用途
大気圧プラズマ、絶縁試験器
記載なし
出力電流・パルス幅・大きさ・質量
公式ページへ
株式会社パルスパワー技術研究所

スマートパルスパワー電源

100kV級のプラズマ生成に

電圧は100kVp、電流は3kApまで出せる大出力のパルス電源です。パルス幅は50〜200nsで、三角波などほかの波形もnsの単位で調整できます。

コスト要見積

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
30kVp〜100kVp
出力電流
330Ap〜3kAp
パルス幅
50ns〜200ns
繰り返し周波数
1kHz〜10kHz
立上がり時間
20ns〜
主な用途
排ガスの分解、工場排水の浄化
記載なし
電力・エネルギー・入力電源・大きさ・質量
公式ページへ
松定プレシジョン株式会社

高電圧パルス電源 HKSシリーズ

ビームを速く切り替える

HKシリーズより繰り返しが高く、最大50kHzで動く電源です。電圧は10kV、立上りは20nsです。電子ビームやイオンビームの制御に使います。

コスト要見積

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
10kV
出力電流
10mA
繰り返し周波数
50kHz
立上がり時間
20ns
主な用途
電子ビーム、イオンビーム
記載なし
パルス幅・電力・エネルギー・入力電源・大きさ・質量
公式ページへ
松定プレシジョン株式会社

高電圧パルス電源 HKシリーズ

質量分析・電子顕微鏡に

立上り15nsのパルスを0.3〜10kVで出せる電源です。電子顕微鏡や質量分析、マイクロチャンネルプレートを動かす用途で使います。

コスト要見積

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
0.3〜10kV
繰り返し周波数
10kHz
立上がり時間
15ns
主な用途
電子顕微鏡、質量分析、MCP
記載なし
出力電流・パルス幅・電力・エネルギー・入力電源・大きさ・質量
公式ページへ
株式会社明電舎

パルス電源 30kV・15kW級

半導体露光のレーザーに

IGBTと磁気パルス圧縮回路でパルスを作る、高繰り返し向きの電源です。出力電圧30kVまで、平均電力15kWを最大6kHzで出せます。エキシマレーザの電源として半導体露光に使われています。

コスト要見積

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
〜30kV
パルス幅
100ns
繰り返し周波数
〜6kHz
電力・エネルギー
平均15kW
大きさ
パルス発生ユニットW650×H230×D520mm
質量
各ユニット90kg
主な用途
エキシマレーザ、EUV光源開発
記載なし
出力電流・立上がり時間・入力電源
公式ページへ
株式会社明電舎

実験用パルス電源 30kV・10W級

机の上で試す実験に

パルス発生と充電器を1台にまとめた実験用の電源です。質量は約11kgで、直流電源を介せばAC100Vで動きます。立ち上がりは約60nsで、負荷により変わります。

コスト要見積

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
約30kV
繰り返し周波数
〜1kHz
立上がり時間
約60ns
電力・エネルギー
平均約10W
入力電源
AC100V(直流電源を介す)
大きさ
W420×H300×D250mm
質量
約11kg
記載なし
出力電流・パルス幅・主な用途
公式ページへ

マイクロ秒・高周波型3製品

株式会社栗田製作所

高電圧パルスモジュレータ -20kV/60Ap/5kHz

高電圧の直流をパルスに

入力した高電圧の直流をパルスにして出すモジュレータです。-20kVで60Apまで出せ、パルス幅は1〜30μsで変えられます。直流電源とリモート操作ボックスは別に揃えます。

コスト要見積

種類
マイクロ秒・高周波型
出力電圧
0〜-20kV
出力電流
60Ap
パルス幅
1μs〜30μs(DUTY<2%)
繰り返し周波数
500Hz〜5kHz
入力電源
単相AC200V
大きさ
570×1730×800mm
質量
約200kg
記載なし
立上がり時間・電力・エネルギー・主な用途
公式ページへ
ネクスファイ・テクノロジー株式会社

高周波パルス電源 PPT500-2.5k-01

高周波でプラズマを作る

自社開発のパルストランスで、500kHzの高周波パルスを±10kVで出せる電源です。周波数と電力の組み合わせで型番を選べ、同じ外形で100kHzから500kHzまで揃います。値は負荷の条件で変わります。

コスト要見積

種類
マイクロ秒・高周波型
出力電圧
±10kV
繰り返し周波数
500kHz
電力・エネルギー
電源電力2.5kW
入力電源
三相AC200V
大きさ
340×495×620mm
主な用途
大気圧プラズマ、液中プラズマ、成膜装置
記載なし
出力電流・パルス幅・立上がり時間・質量
公式ページへ
株式会社パルスパワー技術研究所

マグネトロン用高電圧パルス電源

マグネトロンを動かす

マグネトロンを動かすための専用のパルス電源です。電圧上昇率が100kV/μsと高速で、マグネトロンが長く持ちます。出力は-37kVp、88Apです。

コスト要見積

種類
マイクロ秒・高周波型
出力電圧
-37kVp
出力電流
88Ap
パルス幅
4.5μs
繰り返し周波数
200Hz
主な用途
マグネトロンの駆動
記載なし
立上がり時間・電力・エネルギー・入力電源・大きさ・質量
公式ページへ

成膜用(DCパルス・HiPIMS)3製品

株式会社アルバック

DCパルス電源 DC-10-P

反応性スパッタの放電抑制

決めた周期で出力電圧を反転し、ターゲットの電荷をためない電源です。異常放電を抑えられ、ハイパワーを入れられます。同じ機種の組み合わせなら並列でも動きます。

コスト要見積

種類
成膜用(DCパルス・HiPIMS)
出力電圧
800V(5k〜150kHz)、650V(155k〜250kHz)
出力電流
25A
パルス幅
逆パルス0.4〜5.0μs
繰り返し周波数
5k〜250kHz
電力・エネルギー
定格10kW
入力電源
3相AC208V
大きさ
483×630×133mm
質量
36kg
主な用途
反応性スパッタリング
記載なし
立上がり時間
公式ページへ
株式会社計測技術研究所

HiPIMS/パルス電源 HiPIMSタイプ

大電力のパルス成膜に

電源ユニットとパルス生成ユニットを組み合わせ、ピーク電力1MWまで出せる電源です。バイポーラ出力に使え、パルス時間も決められます。値は仕様例で、発注のときに用途に合わせて決めます。

コスト要見積

種類
成膜用(DCパルス・HiPIMS)
出力電圧
バイアス0〜1200V
出力電流
ピーク1000A
パルス幅
最小1μs以下
繰り返し周波数
10kHz
立上がり時間
1μs以下
電力・エネルギー
平均0〜60kW、ピーク1MW
記載なし
入力電源・大きさ・質量・主な用途
公式ページへ
株式会社計測技術研究所

HiPIMS/パルス電源 高周波タイプ

高周波パルスで成膜

同じ構成で周波数を200kHzまで上げ、最小パルスを500ns以下まで短くできる電源です。立上り・立下りは100ns以下です。値は仕様例で、発注のときに用途に合わせて決めます。

コスト要見積

種類
成膜用(DCパルス・HiPIMS)
出力電圧
バイアス0〜1000V
出力電流
ピーク100A
パルス幅
最小500ns以下
繰り返し周波数
200kHz
立上がり時間
100ns以下
電力・エネルギー
平均0〜20kW、ピーク100kW
記載なし
入力電源・大きさ・質量・主な用途
公式ページへ

めっき・陽極酸化用2製品

株式会社栗田製作所

陽極酸化被膜用電源 +150V/1kA/1000Hz

陽極酸化の大電流に

陽極酸化被膜のための、1kAまで出せる大電流のパルス電源です。繰り返しは約10〜1000Hz、Dutyは最大60%まで変えられます。PLCでDutyを制御します。

コスト要見積

種類
めっき・陽極酸化用
出力電圧
0〜+150V
出力電流
0〜1kA
繰り返し周波数
約10Hz〜1000Hz
電力・エネルギー
15kW
入力電源
三相AC200V
大きさ
580×1380×935mm
質量
約250kg
主な用途
陽極酸化被膜
記載なし
パルス幅・立上がり時間
公式ページへ
株式会社中央製作所

小型パルス電源 PPE2-300-030

微細ワークの金めっきに

微細なワークの金めっきに使う小型のパルス電源です。矩形波のONとOFFを別々に決められ、質量は8.0kgです。直流は30V・3Aで出せます。

コスト要見積

種類
めっき・陽極酸化用
出力電圧
30Vピーク
出力電流
30Aピーク
パルス幅
ON0.1〜10.0ms、OFF0.9〜99.9ms
入力電源
AC100V/AC200V
大きさ
W270×D350×H140mm
質量
8.0kg
主な用途
微細ワークの金めっき
記載なし
繰り返し周波数・立上がり時間・電力・エネルギー
公式ページへ
Q&A

パルス電源選びで、よくある疑問

購買担当の疑問パルス電源の価格は、いくら?

今回確かめた16製品に、公式の公開価格を出しているものはありません。電圧・電流・幅で作りが変わるので、見積もりで比べます。出力電圧・ピーク電流・パルス幅・繰り返し周波数・負荷を揃えて頼むと、各社の答えを横に並べられます。

設備担当の疑問パルス電源の種類と違いは?

パルスの短さと使う工程で4つに分かれます。ナノ秒の高電圧型、マイクロ秒・高周波型、成膜用、めっき・陽極酸化用です。末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは幅25ns以下、栗田製作所のモジュレータは幅1μs〜30μs、中央製作所のPPE2-300-030はON時間0.1〜10.0msです。

設備担当の疑問パルス電源とは?どんな仕組み?

必要なタイミングで出力をONとOFFに切り替え、瞬間的に大きなエネルギーを出す電源です。明電舎のパルス電源は、充電器でコンデンサをためて、半導体スイッチと磁気パルス圧縮回路で短いパルスにします。

工場長の疑問高圧電源(直流)とパルス電源の違いは?

直流の高圧電源は決まった電圧を出し続けます。パルス電源は短い時間だけ出すので、栗田製作所の解説のとおり直流より出力電圧を上げやすく、プラズマを起こしやすくなります。発熱を抑えられる点も違います。

設備担当の疑問出力電圧はどこまで出せる?

パルスパワー技術研究所のスマートパルスパワー電源は30kVp〜100kVp、マグネトロン用は-37kVpです。明電舎は30kVまで、末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは無負荷時25kV、栗田製作所のモジュレータは-20kVです。末松の値は負荷に依存します。

設備担当の疑問立上がり時間はどれくらい速い?

末松電子製作所のPPM1000S-1KESPは10ns以下、松定プレシジョンのHKシリーズは15ns、パルスパワー技術研究所のスマートパルスパワー電源は20ns〜です。ネクスファイ・テクノロジーのナノインパルス発生器は100ns以下です。負荷で変わるので、同じ条件の波形で比べます。

施設管理の疑問繰り返し周波数を高くしたいときは?

ネクスファイ・テクノロジーのPPT500-2.5k-01は500kHz、計測技術研究所の高周波タイプは200kHz、アルバックのDC-10-Pは5k〜250kHzです。高電圧のナノ秒型では、末松電子製作所のMPC1110S-15KLPが15000pps、明電舎が〜6kHzです。

設備担当の疑問スパッタ用のDCパルス電源とHiPIMSの違いは?

アルバックのDC-10-Pは電圧を反転して異常放電を抑える電源で、定格は10kWです。計測技術研究所のHiPIMSタイプはピーク電力1MW、ピーク電流1000Aまで出します。放電を安定させるならDCパルス、高いピーク電力を入れるならHiPIMSを見ます。

工場長の疑問めっきや陽極酸化に使うパルス電源は?

中央製作所のPPE2-300-030は30Vピーク、30Aピークの小型機で、微細ワークの金めっきに使います。栗田製作所の陽極酸化被膜用電源は+150Vで1kAまで出せる大型機で、約250kgあります。流す電流で選びます。

施設管理の疑問直流電源は別に必要?

機種で違います。栗田製作所の高電圧パルスモジュレータ-20kV/60Ap/5kHzは、直流電源とリモート操作ボックスを別に揃えます。ネクスファイ・テクノロジーのナノインパルス発生器はAC電源を入力します。見積もりのときに、どこまでが含まれるかを確かめます。

施設管理の疑問設置に許可は必要?

型によって必要です。末松電子製作所のMPC1110S-15KLPは、電波法第100条の設置許可を必要とする高周波利用設備に当たります。ほかの機種も、高い周波数を使うなら、管轄の総合通信局へ先に確かめます。

TYPES

パルス電源の種類の違い

ナノ秒の高電圧型

数kVから100kVp級のパルスを、ナノ秒の立上がりで出す型です。放電やプラズマ、ガスレーザー、質量分析の電極を動かすときに使います。電圧と幅は負荷で変わるので、負荷を決めてから比べます。

向いている使い方

  • 放電・プラズマの生成
  • エキシマレーザの電源
  • 質量分析・電子ビームの制御

根拠:数10kV以上の高電圧をナノ秒(ns)レベルの急峻な立ち上がりで供給(出典2)

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マイクロ秒・高周波型

マイクロ秒のパルスを出す型と、高周波で繰り返しを上げる型です。高電圧の直流をパルスにするモジュレータや、マグネトロンを動かす専用の電源がここに入ります。直流電源を別に揃える型があります。

向いている使い方

  • マグネトロンの駆動
  • 直流の高電圧のパルス化
  • 高周波でのプラズマ生成

根拠:入力された高電圧直流電圧をパルス化して出力するパルスモジュレータ。(出典9)

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成膜用(DCパルス・HiPIMS)

スパッタなどの成膜で使う型です。電圧を反転して異常放電を抑えるDCパルスと、ピーク電力を大きくするHiPIMSがあります。電圧はkV以下で、電力の大きさで選びます。

向いている使い方

  • 反応性スパッタ
  • 異常放電を減らしたい
  • 高いピーク電力で成膜

根拠:設定した周期で出力電圧を反転し、ターゲット表面の電荷蓄積(チャージアップ)を打ち消す(出典13)

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めっき・陽極酸化用

めっきや陽極酸化で、電流をパルスにして流す型です。電圧は低く、周波数やONとOFFの時間で皮膜の付き方を変えます。流せる電流の大きさで機種が分かれます。

向いている使い方

  • 微細ワークの金めっき
  • 陽極酸化被膜
  • 大電流の表面処理

根拠:微細ワークの金めっきに最適な高性能・高機能の小型パルス電源(出典15)

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MAKERS

パルス電源の主なメーカー9社

株式会社アルバック

決めた周期で出力電圧を反転し、ターゲットの電荷をためない電源です。

神奈川県

株式会社栗田製作所

入力した高電圧の直流をパルスにして出すモジュレータです。

京都府

株式会社計測技術研究所

電源ユニットとパルス生成ユニットを組み合わせ、ピーク電力1MWまで出せる電源です。

神奈川県

株式会社末松電子製作所

磁気パルス圧縮方式で、繰り返しを最大15000ppsまで上げられる電源です。

熊本県

株式会社中央製作所

微細なワークの金めっきに使う小型のパルス電源です。

愛知県

ネクスファイ・テクノロジー株式会社

内製の高電圧SiCスイッチで、立ち上がり100ns以下のパルスを正負10kVで出せる電源です。

大阪府

株式会社パルスパワー技術研究所

電圧は100kVp、電流は3kApまで出せる大出力のパルス電源です。

滋賀県

松定プレシジョン株式会社

HKシリーズより繰り返しが高く、最大50kHzで動く電源です。

滋賀県

株式会社明電舎

IGBTと磁気パルス圧縮回路でパルスを作る、高繰り返し向きの電源です。

東京都

出典
  1. 栗田製作所 パルス電源について
  2. 明電舎 パルス電源
  3. 末松電子製作所 パルスパワー電源(MPCシリーズ)
  4. 末松電子製作所 ナノ秒パルスパワー電源
  5. ネクスファイ・テクノロジー ナノインパルス発生器
  6. ネクスファイ・テクノロジー 高周波パルス電源
  7. パルスパワー技術研究所 スマートパルスパワー電源
  8. パルスパワー技術研究所 マグネトロン用高電圧パルス電源
  9. 栗田製作所 高電圧パルスモジュレータ
  10. 栗田製作所 陽極酸化被膜用電源
  11. 松定プレシジョン 高電圧アンプ・高電圧パルス電源
  12. 松定プレシジョン 高電圧パルス電源とは
  13. アルバック DCパルス電源
  14. 計測技術研究所 特殊電源(パルス電源)
  15. 中央製作所 小型パルス電源
  16. 明電舎 パルス電源カタログ
掲載基準

プラズマ処理・レーザー・加速器・分析機器・成膜・めっきなどの業務で使うパルス電源のうち、日本の会社が自社で作り、公式の製品ページで仕様を確かめられたものを載せました。常に一定の電圧を出す直流の高圧電源(高圧電源のページ)、高電圧アンプ(パワーアンプのページ)、溶接機に組み込んだ電源は載せていません。除いた会社:ニチコン(加速器向けの個別の納入で、型番と仕様の公開がない)、東京精電(公式のパルス電源のページが見つからなかった)、IDX・ケーアイテック・穂高電子(公式の製品ページまでたどれなかった)、三社電機・京三製作所(公式の製品一覧でパルス電源の型番を確かめられなかった)。代理店が売る海外製品・中古は載せていません。

パルス電源を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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