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微細加工・半導体・研究の現場で、装置に積むパルスレーザーの発振器を選ぶ、設備・開発・購買の担当の方へ

パルスレーザーのメーカー6社比較【2026年】

パルスレーザーは、光を短いパルスに区切り、
高いピークで当てるレーザーの発振器です。

ABOUT

パルスレーザーとは

比較表を見る ↓

パルスレーザーとは、光をパルス状に区切って出す、レーザーの発振器です。
ナノ秒・ピコ秒・フェムト秒の短い時間に光を詰め、
熱を広げずに削る・穴をあける加工や、露光・研究に使います。
パルス発振レーザーとも呼びます。

製品の特長

  • 短い時間に光を詰める(ナノ秒・ピコ秒・フェムト秒)
  • 波長を選べる(赤外・緑・紫外)
  • 繰り返しを変えられる(単発から数MHzまで)

使うメリット

  • 熱の影響が小さい(周りを溶かさずに削れる)
  • 硬い材料や薄い材料も加工できる(ガラス・セラミック・薄膜)
  • 触れずに細かく加工できる(工具が減らない)

選ぶときに注意すること

  1. パルス幅・波長・パルスエネルギーは、同じ条件の値どうしで比べる
  2. 最大のパルスエネルギーと最大の繰り返し周波数は、同時に出ない型が多い
  3. 水冷の型は、冷却水の温度と流量を装置側で用意する
  4. エキシマは、モジュールの寿命と保守の周期を見積もりで確かめる
  5. 出力の大きいレーザーは、保護めがねと遮光の囲いを用意する

※仕様は各メーカーの公式の製品ページによる。値段を公式に出しているのはソーラボのQSL103Aだけ。

LIST

パルスレーザーの比較表

パルスレーザー9製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー

3製品
スペクトラ・フィジックス株式会社Qスイッチ固体レーザー Talon UV45UVでの穴あけ・スクライブ口コミを書く要見積

355nmの紫外を45W以上で出す、ナノ秒のQスイッチ固体レーザーです。150kHzで300µJ以上あり、PCBの穴あけやシリコンのスクライブに使います。系列の12モデルは出射位置と光軸がそろっていて、出力を替えても装置側を組み直さずに済みます。

方式
ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー
波長
355nm
パルス幅
35ns未満(150kHz)
平均出力
45W以上(150kHz)
繰り返し周波数
0〜500kHz
パルスエネルギー
300µJ以上(150kHz)
ビーム品質
TEM00、M²1.2未満
大きさ
711×229×127mm(ヘッド)
冷却
水冷(冷却水20°C)
特長
系列12モデルで出射位置と光軸が同じ
公式ページへ詳細・仕様
ソーラボジャパン株式会社Qスイッチピコ秒マイクロチップレーザー QSL103A研究室での微細加工と光音響口コミを書く1,353,161円税抜

マイクロチップ共振器で500psのパルスを出す、小型のQスイッチレーザーです。1030nmで35〜50µJあり、薄い金属への穴あけや光音響イメージングに使えます。アライメント不要のターンキー式で、定価を公式に出しています。

方式
ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー
波長
1030nm
パルス幅
500ps±100ps
平均出力
350〜450mW
繰り返し周波数
8〜10kHz
パルスエネルギー
35〜50µJ
特長
アライメント不要のターンキー式
記載なし
ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ詳細・仕様
トルンプ株式会社ナノ秒レーザー TruMicro 7060金属の広い面の清掃・下地処理口コミを書く要見積

平均1000Wで100mJのナノ秒パルスを出す、広い面の除去加工向けのレーザーです。溶接や接着の前の汚れ落とし、塗膜はがし、錆とりをラインで回せます。光ファイバーケーブルを最大4本つなげ、加工の形に合わせて付け替えられます。

方式
ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー
波長
1030nm
パルス幅
30ns
平均出力
1000W
繰り返し周波数
100kHz
パルスエネルギー
100mJ
特長
着脱式の光ファイバーケーブルを最大4本
記載なし
ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ詳細・仕様

超短パルス(ピコ秒・フェムト秒)

3製品
コヒレント・ジャパン株式会社ピコ秒レーザー HyperRapid NXT 1064-100高出力ピコ秒の微細加工口コミを書く要見積

平均100Wの高出力で、ピコ秒パルスを出す産業用の発振器です。パルスエネルギーは250µJで、繰り返しはシングルショットから4MHzまで選べます。同じ系列に532nmと355nmの型があり、材料に合わせて波長を替えられます。

方式
超短パルス(ピコ秒・フェムト秒)
波長
1064nm
パルス幅
15ps未満
平均出力
100W
繰り返し周波数
シングルショット〜4MHz
パルスエネルギー
250µJ
特長
1064nm・532nm・355nmのモデルがある
記載なし
ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ詳細・仕様
トルンプ株式会社超短パルスレーザー TruMicro 6020ガラス・セラミックの微細加工口コミを書く要見積

平均200Wのフェムト秒・ピコ秒パルスで、量産の微細加工を速く回すレーザーです。100kHzなら2mJの高いパルスエネルギーが出せます。バーストモードでパルスをまとめて当てられ、ガラスやセラミックの加工に使います。

方式
超短パルス(ピコ秒・フェムト秒)
波長
1030nm
パルス幅
850fs未満・5ps未満
平均出力
200W
繰り返し周波数
最大2000kHz
パルスエネルギー
200µJ(1MHz)⁠・2mJ(100kHz)
ビーム品質
M²1.3未満(オプションで1.2未満)
特長
バーストモードで複数のパルスを群にまとめる
記載なし
大きさ・冷却
公式ページへ詳細・仕様
浜松ホトニクス株式会社フェムト秒レーザー ORIGAMI 10 XPS医療機器部品の精密加工口コミを書く要見積

1つの筐体にまとめた、マイクロジュール級のフェムト秒レーザーです。370fs未満のパルスを70µJで出し、ガルバノスキャナと組み合わせて使えます。冷却は空冷か水冷を選べるので、冷却水の配管が引けない装置にも積めます。

方式
超短パルス(ピコ秒・フェムト秒)
波長
1030nm
パルス幅
370fs未満
平均出力
5W以上
繰り返し周波数
シングルショット〜1MHz
パルスエネルギー
70µJ
ビーム品質
TEM00、M²1.2未満
大きさ
508×176×292mm(ヘッド)
冷却
空冷または水冷
特長
オールインワンの単一筐体型
公式ページへ詳細・仕様

エキシマレーザー

3製品
ギガフォトン株式会社ArFエキシマレーザー GT80A半導体の液浸露光の光源口コミを書く要見積

半導体の液浸露光機に積む、ArFエキシマレーザーの光源です。発振周波数は6,750Hzで、出力は60〜90Wです。スペックルコントラストをGT65A比で36%下げ、ヘリウムを使わずに動かせます。

方式
エキシマレーザー
波長
193nm(ArF)
平均出力
60〜90W
繰り返し周波数
6,750Hz
特長
スペックルコントラストをGT65A比で36%低減
記載なし
パルス幅・パルスエネルギー・ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ詳細・仕様
ギガフォトン株式会社KrFエキシマレーザー G300KUVでの微細アブレーション加工口コミを書く要見積

半導体露光用の光源をもとにした、加工用のKrFエキシマレーザーです。4000Hzで300Wを出し、75mJのパルスで微細アブレーション加工を進めます。稼働率は99%以上で、量産ラインで止まりにくい作りです。

方式
エキシマレーザー
波長
248nm(KrF)
平均出力
75W・300W
繰り返し周波数
1000Hz・4000Hz
パルスエネルギー
75mJ
特長
稼働率99%以上
記載なし
パルス幅・ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ詳細・仕様
コヒレント・ジャパン株式会社エキシマレーザー COMPex 110成膜・剥離の研究と試作口コミを書く要見積

単相電源で動き、研究や試作の装置に組み込めるエキシマレーザーです。ガスを替えて193nm・248nm・308nmを使い分けます。KrFでは最大400mJ・最大100Hzで、パルスレーザ成膜やレーザリフトオフに使われます。

方式
エキシマレーザー
波長
193nm、248nm、308nm
平均出力
最大30W(KrF)
繰り返し周波数
最大100Hz
パルスエネルギー
最大400mJ(KrF)
特長
単相電源で装置に組み込みやすい
記載なし
パルス幅・ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ詳細・仕様

ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー3製品

スペクトラ・フィジックス株式会社

Qスイッチ固体レーザー Talon UV45

UVでの穴あけ・スクライブ

355nmの紫外を45W以上で出す、ナノ秒のQスイッチ固体レーザーです。150kHzで300µJ以上あり、PCBの穴あけやシリコンのスクライブに使います。系列の12モデルは出射位置と光軸がそろっていて、出力を替えても装置側を組み直さずに済みます。

コスト要見積

方式
ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー
波長
355nm
パルス幅
35ns未満(150kHz)
平均出力
45W以上(150kHz)
繰り返し周波数
0〜500kHz
パルスエネルギー
300µJ以上(150kHz)
ビーム品質
TEM00、M²1.2未満
大きさ
711×229×127mm(ヘッド)
冷却
水冷(冷却水20°C)
特長
系列12モデルで出射位置と光軸が同じ
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ソーラボジャパン株式会社

Qスイッチピコ秒マイクロチップレーザー QSL103A

研究室での微細加工と光音響

マイクロチップ共振器で500psのパルスを出す、小型のQスイッチレーザーです。1030nmで35〜50µJあり、薄い金属への穴あけや光音響イメージングに使えます。アライメント不要のターンキー式で、定価を公式に出しています。

コスト1,353,161円税抜

方式
ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー
波長
1030nm
パルス幅
500ps±100ps
平均出力
350〜450mW
繰り返し周波数
8〜10kHz
パルスエネルギー
35〜50µJ
特長
アライメント不要のターンキー式
記載なし
ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ
トルンプ株式会社

ナノ秒レーザー TruMicro 7060

金属の広い面の清掃・下地処理

平均1000Wで100mJのナノ秒パルスを出す、広い面の除去加工向けのレーザーです。溶接や接着の前の汚れ落とし、塗膜はがし、錆とりをラインで回せます。光ファイバーケーブルを最大4本つなげ、加工の形に合わせて付け替えられます。

コスト要見積

方式
ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー
波長
1030nm
パルス幅
30ns
平均出力
1000W
繰り返し周波数
100kHz
パルスエネルギー
100mJ
特長
着脱式の光ファイバーケーブルを最大4本
記載なし
ビーム品質・大きさ・冷却
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超短パルス(ピコ秒・フェムト秒)3製品

コヒレント・ジャパン株式会社

ピコ秒レーザー HyperRapid NXT 1064-100

高出力ピコ秒の微細加工

平均100Wの高出力で、ピコ秒パルスを出す産業用の発振器です。パルスエネルギーは250µJで、繰り返しはシングルショットから4MHzまで選べます。同じ系列に532nmと355nmの型があり、材料に合わせて波長を替えられます。

コスト要見積

方式
超短パルス(ピコ秒・フェムト秒)
波長
1064nm
パルス幅
15ps未満
平均出力
100W
繰り返し周波数
シングルショット〜4MHz
パルスエネルギー
250µJ
特長
1064nm・532nm・355nmのモデルがある
記載なし
ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ
トルンプ株式会社

超短パルスレーザー TruMicro 6020

ガラス・セラミックの微細加工

平均200Wのフェムト秒・ピコ秒パルスで、量産の微細加工を速く回すレーザーです。100kHzなら2mJの高いパルスエネルギーが出せます。バーストモードでパルスをまとめて当てられ、ガラスやセラミックの加工に使います。

コスト要見積

方式
超短パルス(ピコ秒・フェムト秒)
波長
1030nm
パルス幅
850fs未満・5ps未満
平均出力
200W
繰り返し周波数
最大2000kHz
パルスエネルギー
200µJ(1MHz)⁠・2mJ(100kHz)
ビーム品質
M²1.3未満(オプションで1.2未満)
特長
バーストモードで複数のパルスを群にまとめる
記載なし
大きさ・冷却
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浜松ホトニクス株式会社

フェムト秒レーザー ORIGAMI 10 XPS

医療機器部品の精密加工

1つの筐体にまとめた、マイクロジュール級のフェムト秒レーザーです。370fs未満のパルスを70µJで出し、ガルバノスキャナと組み合わせて使えます。冷却は空冷か水冷を選べるので、冷却水の配管が引けない装置にも積めます。

コスト要見積

方式
超短パルス(ピコ秒・フェムト秒)
波長
1030nm
パルス幅
370fs未満
平均出力
5W以上
繰り返し周波数
シングルショット〜1MHz
パルスエネルギー
70µJ
ビーム品質
TEM00、M²1.2未満
大きさ
508×176×292mm(ヘッド)
冷却
空冷または水冷
特長
オールインワンの単一筐体型
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エキシマレーザー3製品

ギガフォトン株式会社

ArFエキシマレーザー GT80A

半導体の液浸露光の光源

半導体の液浸露光機に積む、ArFエキシマレーザーの光源です。発振周波数は6,750Hzで、出力は60〜90Wです。スペックルコントラストをGT65A比で36%下げ、ヘリウムを使わずに動かせます。

コスト要見積

方式
エキシマレーザー
波長
193nm(ArF)
平均出力
60〜90W
繰り返し周波数
6,750Hz
特長
スペックルコントラストをGT65A比で36%低減
記載なし
パルス幅・パルスエネルギー・ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ
ギガフォトン株式会社

KrFエキシマレーザー G300K

UVでの微細アブレーション加工

半導体露光用の光源をもとにした、加工用のKrFエキシマレーザーです。4000Hzで300Wを出し、75mJのパルスで微細アブレーション加工を進めます。稼働率は99%以上で、量産ラインで止まりにくい作りです。

コスト要見積

方式
エキシマレーザー
波長
248nm(KrF)
平均出力
75W・300W
繰り返し周波数
1000Hz・4000Hz
パルスエネルギー
75mJ
特長
稼働率99%以上
記載なし
パルス幅・ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ
コヒレント・ジャパン株式会社

エキシマレーザー COMPex 110

成膜・剥離の研究と試作

単相電源で動き、研究や試作の装置に組み込めるエキシマレーザーです。ガスを替えて193nm・248nm・308nmを使い分けます。KrFでは最大400mJ・最大100Hzで、パルスレーザ成膜やレーザリフトオフに使われます。

コスト要見積

方式
エキシマレーザー
波長
193nm、248nm、308nm
平均出力
最大30W(KrF)
繰り返し周波数
最大100Hz
パルスエネルギー
最大400mJ(KrF)
特長
単相電源で装置に組み込みやすい
記載なし
パルス幅・ビーム品質・大きさ・冷却
公式ページへ
Q&A

パルスレーザー選びで、よくある疑問

購買担当の疑問パルスレーザーの価格は?

公式に定価を出しているのは、ソーラボのQSL103A(1,353,161円・税抜)だけです。ほかの8製品は見積もりで、出力・波長・冷却の組み合わせで値段が変わります。

設備担当の疑問パルスレーザーの種類と違いは?

このページでは、ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー、ピコ秒・フェムト秒の超短パルスレーザー、紫外のエキシマレーザーの3つに分けました。パルスが短いほど熱が周りに伝わりにくく、エキシマは193nm・248nm・308nmの紫外を出します。

設備担当の疑問ナノ秒とピコ秒・フェムト秒の違いは?

ナノ秒は1発のエネルギーを大きく取りやすく、TruMicro 7060は100mJを出します。ピコ秒・フェムト秒は熱の影響を抑えやすく、ORIGAMI 10 XPSは370fs未満、HyperRapid NXT 1064-100は15ps未満です。

設備担当の疑問パルスエネルギーと平均出力の関係は?

平均出力は、パルスエネルギーに繰り返し周波数をかけた値です。Talon UV45は150kHzで300µJ以上・45W以上です。最大のパルスエネルギーは低い繰り返しで出す値のことが多いので、条件をそろえて比べます。

工場長の疑問エキシマレーザーは何に使う?

半導体の露光と、紫外での成膜・剥離・微細加工に使います。ギガフォトンのGT80Aは液浸露光機の光源で、G300Kは248nm・4000Hz・300Wで微細アブレーション加工に使います。COMPex 110はパルスレーザ成膜やレーザリフトオフに使われます。

設備担当の疑問パルスレーザーの波長はどう選ぶ?

加工する材料がよく吸う波長を選びます。TRUMPFの解説では、赤外はセラミックやガラスの加工に向きます。HyperRapid NXTには1064nm・532nm・355nmの型があり、TruMicro 6000シリーズには343nm・515nm・1030nmの型があります。

工場長の疑問工場のラインに置ける?ほこりや湿気は?

TruMicro 7000シリーズは保護等級IP54で、カバー全体が密閉構造です。光ファイバーケーブルを最大4本つなげられ、離れた加工ヘッドへ光を送れます。

施設管理の疑問冷却は空冷と水冷のどちら?

型で決まります。Talon UV45は水冷で、冷却水を20°C±1°Cで流します。ORIGAMI 10 XPSは空冷か水冷を選べ、冷却水の配管が引けない装置にも積めます。

総務の疑問研究室で使う小型のパルスレーザーは?

ソーラボのQSL103Aはアライメント不要のターンキー式で、1030nmで35〜50µJのパルスを出します。浜松ホトニクスのORIGAMI 10 XPSは、オールインワンの単一筐体型のフェムト秒レーザーです。

経営者の疑問パルスレーザーの寿命と手入れは?

Talonは長寿命のLDを使い、共振器の中を循環式のエアでパージして長く持たせます。ギガフォトンのG300Kは稼働率99%以上で、メンテナンスの周期を長く取っています。エキシマは、モジュールの寿命と保守の周期を見積もりで確かめます。

購買担当の疑問ファイバーレーザーとの違いは?

このページは固体とガスで光をつくる発振器を扱います。光ファイバーで増幅するナノ秒・フェムト秒のファイバーレーザーは、ファイバーレーザー発振器の比較に載せています。

TYPES

パルスレーザーの方式の違い

ナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー

Qスイッチなどで、ナノ秒からサブナノ秒の幅のパルスを出す固体レーザーです。1発のパルスエネルギーを大きく取りやすく、穴あけ・スクライブ・表面の清掃に使います。熱が少し周りに伝わるので、薄い材料では超短パルスと比べて選びます。

向いている用途

  • PCBやシリコンの穴あけ・スクライブ
  • 溶接前の汚れ落としや錆とり
  • 研究室での小型の光源

根拠:TruMicro 7000シリーズのレーザは、高いパルスエネルギーを持つナノ秒パルスにより、基材を損傷することなく(出典9)

この方式の3製品を表で見る

超短パルス(ピコ秒・フェムト秒)

ピコ秒・フェムト秒の、ごく短いパルスを出すレーザーです。熱が周りに広がる前に削り終えるので、ガラス・セラミック・薄膜もきれいに加工できます。医療機器部品や電子部品の精密加工に使います。

向いている用途

  • ガラス・セラミックの切断と穴あけ
  • 医療機器部品の精密加工
  • 熱で傷めたくない薄膜の除去

根拠:TruMicroシリーズ6000は、極めて短時間で材料にエネルギーを照射する超短パルスレーザです。(出典10)

この方式の3製品を表で見る

エキシマレーザー

希ガスとハロゲンの混合ガスを放電で光らせ、紫外のパルスを出すガスレーザーです。ArFやKrFなどガスの組み合わせで波長が決まります。半導体の露光の光源のほか、成膜・剥離・微細アブレーション加工に使います。

向いている用途

  • 半導体の露光機の光源
  • パルスレーザ成膜やレーザリフトオフ
  • 紫外での微細アブレーション加工

根拠:LAMBDA SXは、生産現場向けの産業用UVエキシマレーザです。(出典1)

この方式の3製品を表で見る
MAKERS

パルスレーザーの主なメーカー6社

ギガフォトン株式会社

半導体の液浸露光機に積む、ArFエキシマレーザーの光源です。

栃木県

コヒレント・ジャパン株式会社

平均100Wの高出力で、ピコ秒パルスを出す産業用の発振器です。

東京都

スペクトラ・フィジックス株式会社

355nmの紫外を45W以上で出す、ナノ秒のQスイッチ固体レーザーです。

東京都

ソーラボジャパン株式会社

マイクロチップ共振器で500psのパルスを出す、小型のQスイッチレーザーです。

東京都

トルンプ株式会社

平均1000Wで100mJのナノ秒パルスを出す、広い面の除去加工向けのレーザーです。

神奈川県

浜松ホトニクス株式会社

1つの筐体にまとめた、マイクロジュール級のフェムト秒レーザーです。

静岡県

出典
  1. コヒレント エキシマレーザ
  2. コヒレント COMPex
  3. コヒレント HyperRapid NXT
  4. スペクトラ・フィジックス Qスイッチ固体レーザー
  5. スペクトラ・フィジックス Talon
  6. ギガフォトン GT80A
  7. ギガフォトン G300K
  8. ギガフォトン
  9. トルンプ TruMicro 7000シリーズ
  10. トルンプ TruMicro 6000シリーズ
  11. 浜松ホトニクス ORIGAMI XPSシリーズ
  12. ソーラボ Qスイッチピコ秒マイクロチップレーザー
掲載基準

微細加工・半導体の露光・研究に使う、パルス発振のレーザー発振器(Qスイッチなどのナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー、ピコ秒・フェムト秒の超短パルスレーザー、エキシマレーザー)で、メーカーが自社で作るか自社グループの製品として日本法人が売り、公式サイトで今案内していて、仕様を公式で確かめられた型です。1社につき代表の1〜2型を載せています。光ファイバーで増幅するファイバーレーザー(ナノ秒パルス・フェムト秒を含む)は「ファイバーレーザー発振器」、半導体レーザは「半導体レーザ」、発振器を積んだ切断機・溶接機・マーカーは「レーザー加工機」の比較に載せていて、このページは固体とガスの発振器だけを扱います。スペクトロニクスとサイバーレーザーは公式サイトがメンテナンス中・応答なしで仕様を確かめられず、サイマーは製品ページを文字で読めず、ルミバード・アンプリチュード・ライトコンバージョンは公式サイトで日本法人を確かめられなかったので、今回は載せていません。海外ブランドを輸入して売る代理店・商社の製品、光学部品やアクセサリーだけの製品、中古、販売終了品は除いています。

パルスレーザーを作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

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