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パルスレーザーエキシマレーザー

ArFエキシマレーザー GT80A

ギガフォトン株式会社

液浸露光機に積む、ギガフォトンのArFエキシマレーザーです。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
エキシマレーザー
向いている所
半導体の液浸露光の光源
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

ArFエキシマレーザー GT80Aは、パルスレーザーのメーカー6社比較の方式「エキシマレーザー」の3製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 3製品同じ方式
  • 1製品公開価格あり
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ArFエキシマレーザー GT80A​の強みと方式

半導体の液浸露光機に積む、ArFエキシマレーザーの光源です。発振周波数は6,750Hzで、出力は60〜90Wです。スペックルコントラストをGT65A比で36%下げ、ヘリウムを使わずに動かせます。

向いている所半導体の液浸露光の光源

方式：エキシマレーザー

希ガスとハロゲンの混合ガスを放電で光らせ、紫外のパルスを出すガスレーザーです。ArFやKrFなどガスの組み合わせで波長が決まります。半導体の露光の光源のほか、成膜・剥離・微細アブレーション加工に使います。

ArFエキシマレーザー GT80A​の仕様

方式
エキシマレーザー
波長
193nm（ArF）
パルス幅
—公式資料で確認できず
平均出力
60〜90W
繰り返し周波数
6,750Hz
パルスエネルギー
—公式資料で確認できず
ビーム品質
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
大きさ
—公式資料で確認できず
冷却
—公式資料で確認できず
特長
スペックルコントラストをGT65A比で36%低減

露光機に積む光源。研究用に単体で使う品ではない

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ArFエキシマレーザー GT80Aギガフォトン株式会社エキシマレーザー COMPex 110コヒレント・ジャパン株式会社Qスイッチ固体レーザー Talon UV45スペクトラ・フィジックス株式会社
方式エキシマレーザーエキシマレーザーナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー
波長193nm（ArF）193nm、248nm、308nm355nm
パルス幅—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず35ns未満（150kHz）
平均出力60〜90W最大30W（KrF）45W以上（150kHz）
繰り返し周波数6,750Hz最大100Hz0〜500kHz
パルスエネルギー—公式資料で確認できず最大400mJ（KrF）300µJ以上（150kHz）
ビーム品質—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずTEM00、M²1.2未満
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず711×229×127mm（ヘッド）
冷却—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず水冷（冷却水20°C）
特長スペックルコントラストをGT65A比で36%低減単相電源で装置に組み込みやすい系列12モデルで出射位置と光軸が同じ

パルスレーザーの9製品を比較表で見る

ArFエキシマレーザー GT80A​のよくある質問

Q.ArFエキシマレーザー GT80Aはどんな人に向いている？
ArFエキシマレーザー GT80Aは、半導体の液浸露光の光源に使う人向けです。ArFエキシマレーザー GT80Aは、半導体の液浸露光機に積む、ArFエキシマレーザーの光源です。
Q.ArFエキシマレーザー GT80Aの強みは？
ArFエキシマレーザー GT80Aの発振周波数は6,750Hzで、出力は60〜90Wです。スペックルコントラストをGT65A比で36%下げ、ヘリウムを使わずに動かせます。
Q.ArFエキシマレーザー GT80Aはどんな方式？
ArFエキシマレーザー GT80Aの方式はエキシマレーザーです。希ガスとハロゲンの混合ガスを放電で光らせ、紫外のパルスを出すガスレーザーです。
Q.ArFエキシマレーザー GT80Aの主な仕様は？
ArFエキシマレーザー GT80Aの波長は193nm（ArF）、平均出力は60〜90Wです。繰り返し周波数は6,750Hz、特長はスペックルコントラストをGT65A比で36%低減です。
Q.ArFエキシマレーザー GT80Aとエキシマレーザー COMPex 110はどっちがいい？
半導体の液浸露光の光源ならArFエキシマレーザー GT80A、成膜・剥離の研究と試作ならコヒレント・ジャパンのエキシマレーザー COMPex 110です。ArFエキシマレーザー GT80Aの波長は193nm（ArF）、平均出力は60〜90Wです。コヒレント・ジャパンのエキシマレーザー COMPex 110の波長は193nm、248nm、308nm、平均出力は最大30W（KrF）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.ArFエキシマレーザー GT80AとQスイッチ固体レーザー Talon UV45はどっちがいい？
半導体の液浸露光の光源ならArFエキシマレーザー GT80A、UVでの穴あけ・スクライブならスペクトラ・フィジックスのQスイッチ固体レーザー Talon UV45です。ArFエキシマレーザー GT80Aの波長は193nm（ArF）、平均出力は60〜90Wです。スペクトラ・フィジックスのQスイッチ固体レーザー Talon UV45の波長は355nm、パルス幅は35ns未満（150kHz）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.ArFエキシマレーザー GT80Aのほかにギガフォトンのパルスレーザーはある？
あります。ギガフォトンのパルスレーザーには、ArFエキシマレーザー GT80AのほかにKrFエキシマレーザー G300K（波長は248nm）があります。
Q.ArFエキシマレーザー GT80Aはどこのメーカー？
ArFエキシマレーザー GT80Aはギガフォトン株式会社の製品です。半導体リソグラフィ用などのエキシマレーザと極端紫外線光源（EUV）を開発・製造・販売する。

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