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パルスレーザーエキシマレーザー

KrFエキシマレーザー G300K

ギガフォトン株式会社

4000Hz・300Wを出す、ギガフォトンの加工用KrFエキシマレーザーです。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
エキシマレーザー
向いている所
UVでの微細アブレーション加工
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

KrFエキシマレーザー G300Kは、パルスレーザーのメーカー6社比較の方式「エキシマレーザー」の3製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 3製品同じ方式
  • 1製品公開価格あり
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KrFエキシマレーザー G300K​の強みと方式

半導体露光用の光源をもとにした、加工用のKrFエキシマレーザーです。4000Hzで300Wを出し、75mJのパルスで微細アブレーション加工を進めます。稼働率は99%以上で、量産ラインで止まりにくい作りです。

向いている所UVでの微細アブレーション加工

方式：エキシマレーザー

希ガスとハロゲンの混合ガスを放電で光らせ、紫外のパルスを出すガスレーザーです。ArFやKrFなどガスの組み合わせで波長が決まります。半導体の露光の光源のほか、成膜・剥離・微細アブレーション加工に使います。

KrFエキシマレーザー G300K​の仕様

方式
エキシマレーザー
波長
248nm（KrF）
パルス幅
—公式資料で確認できず
平均出力
75W・300W
繰り返し周波数
1000Hz・4000Hz
パルスエネルギー
75mJ
ビーム品質
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
大きさ
—公式資料で確認できず
冷却
—公式資料で確認できず
特長
稼働率99%以上

1000Hz・75Wの型と4000Hz・300Wの型がある

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

KrFエキシマレーザー G300Kギガフォトン株式会社エキシマレーザー COMPex 110コヒレント・ジャパン株式会社Qスイッチ固体レーザー Talon UV45スペクトラ・フィジックス株式会社
方式エキシマレーザーエキシマレーザーナノ秒・サブナノ秒の固体レーザー
波長248nm（KrF）193nm、248nm、308nm355nm
パルス幅—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず35ns未満（150kHz）
平均出力75W・300W最大30W（KrF）45W以上（150kHz）
繰り返し周波数1000Hz・4000Hz最大100Hz0〜500kHz
パルスエネルギー75mJ最大400mJ（KrF）300µJ以上（150kHz）
ビーム品質—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずTEM00、M²1.2未満
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず711×229×127mm（ヘッド）
冷却—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず水冷（冷却水20°C）
特長稼働率99%以上単相電源で装置に組み込みやすい系列12モデルで出射位置と光軸が同じ

パルスレーザーの9製品を比較表で見る

KrFエキシマレーザー G300K​のよくある質問

Q.KrFエキシマレーザー G300Kはどんな人に向いている？
KrFエキシマレーザー G300Kは、UVでの微細アブレーション加工に使う人向けです。KrFエキシマレーザー G300Kは、半導体露光用の光源をもとにした、加工用のKrFエキシマレーザーです。
Q.KrFエキシマレーザー G300Kの強みは？
KrFエキシマレーザー G300Kは、4000Hzで300Wを出し、75mJのパルスで微細アブレーション加工を進めます。稼働率は99%以上で、量産ラインで止まりにくい作りです。
Q.KrFエキシマレーザー G300Kはどんな方式？
KrFエキシマレーザー G300Kの方式はエキシマレーザーです。希ガスとハロゲンの混合ガスを放電で光らせ、紫外のパルスを出すガスレーザーです。
Q.KrFエキシマレーザー G300Kの主な仕様は？
KrFエキシマレーザー G300Kの波長は248nm（KrF）、平均出力は75W・300Wです。繰り返し周波数は1000Hz・4000Hz、パルスエネルギーは75mJです。
Q.KrFエキシマレーザー G300Kとエキシマレーザー COMPex 110はどっちがいい？
UVでの微細アブレーション加工ならKrFエキシマレーザー G300K、成膜・剥離の研究と試作ならコヒレント・ジャパンのエキシマレーザー COMPex 110です。KrFエキシマレーザー G300Kの波長は248nm（KrF）、平均出力は75W・300Wです。コヒレント・ジャパンのエキシマレーザー COMPex 110の波長は193nm、248nm、308nm、平均出力は最大30W（KrF）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.KrFエキシマレーザー G300Kの特長は？
KrFエキシマレーザー G300Kの特長は稼働率99%以上です。コヒレント・ジャパンのエキシマレーザー COMPex 110の特長は単相電源で装置に組み込みやすいです。
Q.KrFエキシマレーザー G300KとQスイッチ固体レーザー Talon UV45はどっちがいい？
UVでの微細アブレーション加工ならKrFエキシマレーザー G300K、UVでの穴あけ・スクライブならスペクトラ・フィジックスのQスイッチ固体レーザー Talon UV45です。KrFエキシマレーザー G300Kの波長は248nm（KrF）、平均出力は75W・300Wです。スペクトラ・フィジックスのQスイッチ固体レーザー Talon UV45の波長は355nm、パルス幅は35ns未満（150kHz）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.KrFエキシマレーザー G300Kのほかにギガフォトンのパルスレーザーはある？
あります。ギガフォトンのパルスレーザーには、KrFエキシマレーザー G300KのほかにArFエキシマレーザー GT80A（波長は193nm）があります。
Q.KrFエキシマレーザー G300Kはどこのメーカー？
KrFエキシマレーザー G300Kはギガフォトン株式会社の製品です。半導体リソグラフィ用などのエキシマレーザと極端紫外線光源（EUV）を開発・製造・販売する。

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